Szilícium-karbid bevonatú grafit hordozó félvezetőhöz, MOCVD szuszceptor

Rövid leírás:

A VET Energy SiC bevonatú szuszceptor egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy hosszú távon is konzisztens és megbízható teljesítményt nyújtson. Szuper jó hőállósággal és hőegyenletességgel, nagy tisztasággal és erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldást kínál wafer feldolgozási alkalmazásokhoz.

Származási hely:Zhejiang, Kína (szárazföld)

Kémiai összetétel:SiC bevonatú grafit

Hajlító szilárdság:470 MPa

Hővezető képesség:300 W/mK

Minőség:Tökéletes

Funkció:CVD-SiC

Alkalmazás:Félvezető / Fotovoltaikus

Sűrűség:3,21 g/cm³

Hőtágulás:4 10-6/K

Hamu: <5 ppm

Minta:Elérhető

HR-kód:6903100000

Küldjön nekünk e-mailt Letöltés PDF-ként

Termék részletei

Termékcímkék

VET Energy SiC bevonatú szuszceptoregy nagy teljesítményű megoldás, amelyet aprólékosan úgy terveztek, hogy megbízható, konzisztens teljesítményt nyújtson hosszabb élettartamon keresztül, megfelelve a félvezetőgyártás szigorú követelményeinek. Kivételes hőállósággal, kiváló hőegyenletességgel és nagy tisztasággal ez a termék ideális MOCVD ostyahordozókhoz és más olyan ostyafeldolgozási alkalmazásokhoz, amelyek stabilitást és pontosságot igényelnek. Robusztus erózióállósága kiváló választássá teszi olyan környezetekben, ahol a tartósság és a kémiai ellenálló képesség elengedhetetlen.

A miénkSiC bevonatú grafit szuszceptorkritikus fontosságú eleme a félvezetőgyártási folyamatnak, kihasználva a VET Energy exkluzív, szabadalmaztatott technológiáját a rendkívül nagy tisztaság, a kiváló bevonat egyenletessége és a figyelemre méltó hőstabilitás elérése érdekében. A bevonat javítja a grafit hordozó anyagának kémiai ellenállását és jelentősen meghosszabbított élettartamát. A VET Energy minőség iránti elkötelezettsége egy olyan SiC-bevonatú szuszceptort eredményezett, amely megfelel a grafit ostyahordozó piac folyamatosan változó igényeinek, magas mércét állítva fel a SiC-bevonatú grafit szuszceptorok számára, amelyeket a következőkben használnak:MOCVD folyamatok.

A SiC bevonatú szuszceptorok főbb jellemzői:

1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás:Akár 1700 ℃-os hőmérsékletet is elvisel, így alkalmas extrém feldolgozási körülményekre.

2. Nagy tisztaság és termikus egyenletesség:Biztosítja az állandó eredményeket, ami létfontosságú a következőkhöz:MOCVD szuszceptorokés egyéb precíziós alkalmazások.

3. Kiváló korrózióállóság:Ellenáll savaknak, lúgoknak, sóknak és különféle szerves reagenseknek.

4. Fokozott felületi keménység:Tömör felület finom részecskékkel, amelyek nagyobb tartósságot és hosszú élettartamot biztosítanak.

5. Meghosszabbított élettartam:Tartós teljesítményre tervezték, a hagyományos szilícium-karbid bevonatú szuszceptorokat felülmúlva zord feldolgozási környezetben.

Vezető gyártóként a VET Energy egyedi grafit- és ... termékekre specializálódott.szilícium-karbid termékekkülönféle bevonási lehetőségekkel, beleértveSiC bevonat, TaC bevonat, üveges szénbevonat, és pirolitikus szénbevonat. Büszkén szolgáljuk ki a félvezető és fotovoltaikus iparágakat, szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorokat szállítva, amelyek megfelelnek a speciális működési igényeknek.

Műszaki csapatunk, amely a vezető hazai kutatóintézetekben szerzett tapasztalattal rendelkezik, elkötelezett az anyagmegoldások fejlesztése iránt a változó igények kielégítése érdekében.SiC-bevonatú grafit szuszceptorpiacon. Szabadalmaztatott eljárásunk révén a VET Energy egy egyedülálló technológiát fejlesztett ki, amely jelentősen javítja a szilícium-karbid bevonat és az aljzat közötti kötésszilárdságot, csökkentve a leválás kockázatát és növelve a hosszú távú megbízhatóságot.

Alkalmazások és előnyök a félvezető-feldolgozásban

ASiC bevonat MOCVD-hezlehetővé teszigrafit szuszceptoralkatrészek integritásának megőrzése magas hőmérsékletű és korrozív környezetben, ami létfontosságú a precíziós félvezetőgyártáshoz. Ezek a SiC-bevonatú grafit alkatrészek különösen értékesek azokban a folyamatokban, amelyek szilícium-karbid bevonatú szuszceptorokat igényelnek a...grafit ostyahordozók, amelyek nagyfokú hőstabilitást, tisztaságot és kémiai erózióval szembeni ellenállást igényelnek.

Fejlett szilícium-karbid bevonatolási technikáinkkal a VET Energy továbbra is támogatja a grafit ostyahordozók piacát testreszabott, nagy teljesítményű termékek szállításával.SiC-bevonatú grafit szuszceptorokamelyek az iparág-specifikus kihívásokra adnak választ, az MOCVD eljárásoktól a félvezetők területén alkalmazott nagy tisztaságú alkalmazásokig.