Enerjiya VETQeyika grafîtê ya PECVD ji bo şaneyên rojê madeyek bingehîn a xerckirinê ye ku ji bo pêvajoya PECVD (depozîtasyona buxara kîmyewî ya bi plazmayê zêdekirî) ya şaneyên rojê hatiye çêkirin. Qeyika grafîtê ji grafîta îzostatîk a paqijiya bilind bi porozîteya kêmtir ji %15 û hişkiya rûyê Ra≤1.6μm hatiye çêkirin. Taybetmendiyên wê yên hêja hene wekî berxwedana germahiya bilind, berxwedana korozyonê, û aramiya pîvanî. Aramiya pîvanî ya hêja û rêberiya germî depozîtasyona fîlmê ya yekreng misoger dike û karîgeriya bateriyê baştir dike. Ew dikare di hawîrdorek PECVD ya germahiya bilind û zexta bilind de hilgirek stabîl peyda bike da ku depozîtasyona yekreng û kalîteya bilind a fîlmên şaneyên rojê misoger bike.
Materyalê grafîtê ji SGL:
| Parametreya tîpîk: R6510 | |||
| Naverok | Standarda ceribandinê | Giranî | Yekbûn |
| Mezinahiya navînî ya genim | ISO 13320 | 10 | μm |
| Tîrbûna girseyî | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Porozîteya vekirî | DIN66133 | 10 | % |
| Mezinahiya porên navîn | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Hişkbûna Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Berxwedana elektrîkê ya taybetî | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Hêza xwarbûnê | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Hêza zextê | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modula Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Berfirehbûna germî (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Germahiya guhêrbar (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ew bi taybetî ji bo çêkirina şaneyên rojê yên bi karîgeriya bilind hatiye sêwirandin, ku piştgirî dide pêvajoya waferên mezin ên G12. Sêwirana hilgirê çêtirînkirî bi girîngî hilberînê zêde dike, rêjeyên berhemdariyê yên bilindtir û lêçûnên hilberînê yên kêmtir dike.
| Şanî | Awa | Hilgirê waferê yê hejmarî |
| Qeyika Grephite ya PEVCD - Rêzeya 156 | qeyika grefît a 156-13 | 144 |
| qeyika grefît a 156-19 | 216 | |
| qeyika grefît a 156-21 | 240 | |
| Qeyika grafîtê 156-23 | 308 | |
| Qeyika Grephite ya PEVCD - Seriya 125 | Qeyika grefît a 125-15 | 196 |
| Qeyika grefît a 125-19 | 252 | |
| qeyika grafît a 125-21 | 280 |
-
Grafîta nerm a rastbûn û paqijiya bilind ...
-
Grafîtê Karbonê Grafîtê Felt li ser bingeha Vîskoz Felt...
-
Kaxeza grafîtê ya nerm a paqijiya bilind 0.5mm-1.0mm ...
-
Pompa binavî ya grafîtê ya binavî ya girêdana ro ...
-
Berxwedana germahiya bilind a xwerû ya veterîner û bilind ...
-
Grafîta paqiya bilind maddî block grafît pr ...

