ພະລັງງານ VETເຮືອ PECVD graphite ສໍາລັບຈຸລັງແສງຕາເວັນແມ່ນເຄື່ອງບໍລິໂພກຫຼັກທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບຂະບວນການ PECVD (plasma ປັບປຸງ vapor deposition ສານເຄມີ) ຂອງຈຸລັງແສງຕາເວັນ. ເຮືອ graphite ແມ່ນເຮັດດ້ວຍ graphite isostatic ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີ porosity ຫນ້ອຍກວ່າ 15% ແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຫນ້າດິນRa≤1.6μm. ມັນມີຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດເຊັ່ນ: ການທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງມິຕິລະພາບ. ສະຖຽນລະພາບມິຕິລະດັບທີ່ດີເລີດແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນຮັບປະກັນການຝາກຮູບເງົາທີ່ເປັນເອກະພາບແລະປັບປຸງປະສິດທິພາບຫມໍ້ໄຟ. ມັນສາມາດສະຫນອງການຂົນສົ່ງທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມ PECVD ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມກົດດັນສູງເພື່ອຮັບປະກັນການຊຶມເຊື້ອທີ່ເປັນເອກະພາບແລະມີຄຸນນະພາບສູງຂອງຮູບເງົາຫ້ອງແສງຕາເວັນ.
ວັດສະດຸ Graphite ຈາກ SGL:
| ພາຣາມິເຕີປົກກະຕິ: R6510 | |||
| ດັດຊະນີ | ມາດຕະຖານການທົດສອບ | ມູນຄ່າ | ໜ່ວຍ |
| ຂະຫນາດເມັດພືດສະເລ່ຍ | ISO 13320 | 10 | ມມ |
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/ຊມ3 |
| ເປີດ porosity | DIN66133 | 10 | % |
| ຂະໜາດຮູຂຸມຂົນປານກາງ | DIN66133 | 1.8 | ມມ |
| ການຊຶມເຊື້ອ | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| ຄວາມແຂງຂອງ Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າສະເພາະ | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩມ |
| ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| ແຮງບີບອັດ | DIN 51910 | ໑໓໐ | MPa |
| ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ(20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ສະຫນັບສະຫນູນການປຸງແຕ່ງ wafer ຂະຫນາດໃຫຍ່ G12. ການອອກແບບຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ດີທີ່ສຸດເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ການເຮັດໃຫ້ອັດຕາຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນແລະຕົ້ນທຶນການຜະລິດຕ່ໍາ.
| ລາຍການ | ປະເພດ | ໝາຍເລກຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer |
| PEVCD Grephite boat - ຊຸດ 156 | ເຮືອ 156-13 grephite | 144 |
| 156-19 ເຮືອ grephite | 216 | |
| ເຮືອ 156-21 grephite | 240 | |
| ເຮືອໄຟ 156-23 | 308 | |
| ເຮືອແພ PEVCD Grephite - ຊຸດ 125 | 125-15 ເຮືອ grephite | 196 |
| 125-19 ເຮືອ grephite | 252 | |
| ເຮືອ 125-21 grphite | 280 |
