Ike VETỤgbọ mmiri graphite PECVD maka mkpụrụ ndụ anyanwụ bụ ihe a na-eri n'ime ya nke e mere maka usoro PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) nke mkpụrụ ndụ anyanwụ. E ji graphite dị ọcha nke ukwuu mee ụgbọ mmiri graphite ahụ, nke nwere porosity nke na-erughị 15% na oke elu nke Ra≤1.6μm. O nwere ihe ndị dị mma dịka iguzogide okpomọkụ dị elu, iguzogide nchara, na nkwụsi ike nha. Nkwụsi ike nha dị mma na njikwa okpomọkụ na-eme ka ihe nkiri ahụ dị otu ma melite arụmọrụ batrị. Ọ nwere ike inye ihe na-ebu ibu kwụsiri ike na gburugburu PECVD dị elu na nrụgide dị elu iji hụ na ihe nkiri sel anyanwụ dị otu ma dị mma.
Ihe e ji graphite mee site na SGL:
| Nha nkịtị: R6510 | |||
| Ndepụta Ndekọ | Ụkpụrụ nnwale | Uru | Ngalaba |
| Nkezi nha ọka | ISO 13320 | 10 | μm |
| Njupụta dị ukwuu | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Oghere mepere emepe | DIN66133 | 10 | % |
| Nha oghere dị ọkara | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Ịgafe | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Ike siri ike nke Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Nguzogide eletriki kpọmkwem | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Ike flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Ike mkpakọ | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulu nke Young | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| Mgbasawanye okpomọkụ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Ọkụ conductivity (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
E mere ya kpọmkwem maka imepụta sel anyanwụ dị elu, na-akwado nhazi wafer G12 buru ibu. Nhazi ụgbọ ibu kachasị mma na-eme ka mmepụta ya dịkwuo elu nke ukwuu, na-eme ka ọnụego mmepụta dị elu ma na-ebelata ọnụ ahịa mmepụta.
| ihe | Ụdị | Onye na-ebu nọmba wafer |
| Ụgbọ mmiri PEVCD Grephite - Usoro 156 | Ụgbọ mmiri grephite nke 156-13 | 144 |
| Ụgbọ mmiri grephite nke 156-19 | 216 | |
| Ụgbọ mmiri grephite nke 156-21 | 240 | |
| Ụgbọ mmiri graphite 156-23 | 308 | |
| Ụgbọ mmiri Grephite nke PEVCD - Usoro 125 | Ụgbọ mmiri grephite 125-15 | 196 |
| Ụgbọ mmiri grephite nke 125-19 | 252 | |
| Ụgbọ mmiri grephite 125-21 | 280 |
-
Okpomọkụ dị elu na-agbasa onwe ya na-emechi onwe ya gr ...
-
Akwụkwọ graphite eke nwere ike ime ka okpomọkụ dị ike...
-
Ihe mejupụtara C/C ma ọ bụ ihe mejupụtara Carbon-Kabọn
-
Mpempe akwụkwọ eserese Graphite mpempe akwụkwọ Graphite...
-
Okpomọkụ na-eguzogide graphite mkpanaka Elu pu ...
-
Omenala eletriki mgbapụta e tinyere graphite beari ...

