VET EnergieDas PECVD-Graphitschiffchen für Solarzellen ist ein Kernverbrauchsmaterial für den PECVD-Prozess (plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung) von Solarzellen. Das Graphitschiffchen besteht aus hochreinem isostatischem Graphit mit einer Porosität von weniger als 15 % und einer Oberflächenrauheit von Ra ≤ 1,6 μm. Es verfügt über hervorragende Eigenschaften wie hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Dimensionsstabilität. Die hervorragende Dimensionsstabilität und Wärmeleitfähigkeit gewährleisten eine gleichmäßige Filmabscheidung und verbessern die Batterieeffizienz. Es bietet einen stabilen Träger in einer PECVD-Umgebung mit hohen Temperaturen und Drücken, um eine gleichmäßige Abscheidung und hohe Qualität der Solarzellenfilme zu gewährleisten.
Graphitwerkstoff von SGL:
| Typischer Parameter: R6510 | |||
| Index | Prüfnorm | Wert | Einheit |
| Durchschnittliche Korngröße | ISO 13320 | 10 | μm |
| Schüttdichte | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Offene Porosität | DIN66133 | 10 | % |
| Mittlere Porengröße | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilität | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwellhärte HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spezifischer elektrischer Widerstand | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Biegefestigkeit | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Druckfestigkeit | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Elastizitätsmodul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Wärmeausdehnung (20–200 °C) | DIN 51909 | 4,2 x 10-6 | K-1 |
| Wärmeleitfähigkeit (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Es wurde speziell für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großer G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign erhöht den Durchsatz deutlich und ermöglicht höhere Erträge und niedrigere Produktionskosten.
| Artikel | Typ | Nummer Waferträger |
| PEVCD Grephite Boot - Die 156er Serie | 156-13 Grephitboot | 144 |
| 156-19 Grephitboot | 216 | |
| 156-21 Grephite-Boot | 240 | |
| 156-23 Graphitboot | 308 | |
| PEVCD Grephite Boot - Die 125er Serie | 125-15 Grephite-Boot | 196 |
| 125-19 Grephite-Boot | 252 | |
| 125-21 Graphitboot | 280 |







