VET EnergiPECVD-grafittbåten for solceller er en kjerneforbruksvare designet for PECVD-prosessen (plasmaforsterket kjemisk dampavsetning) i solceller. Grafittbåten er laget av isostatisk grafitt med høy renhet med en porøsitet på mindre enn 15 % og en overflateruhet på Ra≤1,6 μm. Den har utmerkede egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet og dimensjonsstabilitet. Utmerket dimensjonsstabilitet og termisk ledningsevne sikrer jevn filmavsetning og forbedrer batterieffektiviteten. Den kan gi en stabil bærer i et PECVD-miljø med høy temperatur og høyt trykk for å sikre jevn avsetning og høy kvalitet på solcellefilmer.
Grafittmateriale fra SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Indeks | Teststandard | Verdi | Enhet |
| Gjennomsnittlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | mikrometer |
| Bulktetthet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm²3 |
| Åpen porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
| Middels porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | mikrometer |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hardhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifikk elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bøyestyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Trykkfasthet | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Termisk ekspansjon (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Varmeledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er spesielt utviklet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter prosessering av store G12-wafere. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.
| Punkt | Type | Nummer waferbærer |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grepittbåt | 144 |
| 156-19 grepittbåt | 216 | |
| 156-21 grepittbåt | 240 | |
| 156-23 grafittbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grefittbåt | 196 |
| 125-19 grefittbåt | 252 | |
| 125-21 grafittbåt | 280 |
