PECVD Graphite Boat mo le la

VET MalosiagaO le va'a graphite PECVD mo sela o le la, o se mea'ai fa'aaoga mo le PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) faagasologa o sela sola. O le vaʻa graphite e faia i le maualuga o le mama isostatic graphite ma le porosity o lalo ifo o le 15% ma le roughness luga o Ra≤1.6μm. O lo'o i ai mea sili ona lelei e pei o le maualuga o le vevela, fa'afefete, ma le mautu. E sili ona lelei le mautu ma le fa'avevelaina o le vevela e fa'amautinoa ai le tu'ufa'atasia o ata tifaga ma fa'aleleia le lelei o le maa. E mafai ona tuʻuina atu se vaʻa faʻamautu i totonu o se siosiomaga PECVD maualuga ma maualuga maualuga e faʻamautinoa ai le tuʻufaʻatasia ma le maualuga o ata tifaga sola.