Hilgirê Grafîtê ji bo pêvajoya PECVD

Danasîna Kurt:

Enerjiya VETQeyika Grafîtê ya PECVD ji bo Panela Rojê pêkhateyeke pêşketî ye ku bi taybetî ji bo hilberîna panelên rojê yên performansa bilind hatiye sêwirandin. Ev qeyika grafîtê ku di pêvajoyên Depozîsyona Buxara Kîmyewî ya Bi Plazmaya Zêdekirî (PECVD) de tê bikar anîn, destwerdana materyalê ya çêtirîn û danîna yekreng a fîlmên tenik li ser şaneyên rojê misoger dike. Ji bo rastbûn û domdariyê hatiye çêkirin, ew guhêrbariya germî ya bilind, berxwedana korozyonê ya bilind, û qirêjiya herî kêm peyda dike, ku ji bo hilberîna panelên rojê yên bi kalîte û bikêrhatî girîng in.

Ji me re e-nameyek bişînin Dakêşin wek PDF

Hûrguliyên Berhemê

Etîketên Berheman

Enerjiya VETHilgirê grafîtê yê pêvajoya PECVD madeyek bikaranînê ya bi kalîte ye ku ji bo pêvajoya PECVD (depokirina buxara kîmyewî ya bi plazmaya zêdekirî) hatiye çêkirin. Ev hilgirê grafîtê ji materyalê grafîtê yê paqijiya bilind û densiteya bilind hatiye çêkirin, bi berxwedana germahiya bilind, berxwedana korozyonê, aramiya boyûtî û taybetmendiyên din ên hêja, dikare platformek hilgirê stabîl ji bo pêvajoya PECVD peyda bike, da ku yekrengî û rûtbûna depokirina fîlma tenik misoger bike.

Hilgirên grafîtê ji bo pêvajoya PECVD xwedî taybetmendiyên jêrîn in:

▪ Paqijiya bilind: rêjeya qirêjiyê pir kêm e, ji qirêjbûna fîlmê dûr dikeve û kalîteya fîlmê misoger dike.

▪ Densiteya bilind: densiteya bilind, hêza mekanîkî ya bilind, dikare li hember germahiya bilind û zexta bilind a jîngeha PECVD bisekine.

▪ Aramiya pîvanî ya baş: guherîna pîvanî ya piçûk di germahiya bilind de, aramiya pêvajoyê misoger dike.

▪ Germahiya zêde: germê bi bandor vediguhezîne da ku pêşî li germbûna zêde ya waferê bigire.

▪ Berxwedana xurt a li hember korozyonê: dikare li hember erozyonê ji hêla gelek gazên korozîf û plazmayê ve bisekine.

▪ Xizmeta xwerû: hilgirên grafîtê yên bi mezinahî û şeklên cûda dikarin li gorî hewcedariyên xerîdar werin xweşkirin.

Materyalê grafîtê ji SGL:

Parametreya tîpîk: R6510
Naverok	Standarda ceribandinê	Giranî	Yekbûn
Mezinahiya navînî ya genim	ISO 13320	10	μm
Tîrbûna girseyî	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porozîteya vekirî	DIN66133	10	%
Mezinahiya porên navîn	DIN66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Hişkbûna Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Berxwedana elektrîkê ya taybetî	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hêza xwarbûnê	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Hêza zextê	DIN 51910	130	MPa
Modula Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Berfirehbûna germî (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Germahiya guhêrbar (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ew bi taybetî ji bo çêkirina şaneyên rojê yên bi karîgeriya bilind hatiye sêwirandin, ku piştgirî dide pêvajoya waferên mezin ên G12. Sêwirana hilgirê çêtirînkirî bi girîngî hilberînê zêde dike, rêjeyên berhemdariyê yên bilindtir û lêçûnên hilberînê yên kêmtir dike.

Şanî	Awa	Hilgirê waferê yê hejmarî
Qeyika Grephite ya PEVCD - Rêzeya 156	qeyika grefît a 156-13	144
	qeyika grefît a 156-19	216
	qeyika grefît a 156-21	240
	Qeyika grafîtê 156-23	308
Qeyika Grephite ya PEVCD - Seriya 125	Qeyika grefît a 125-15	196
	Qeyika grefît a 125-19	252
	qeyika grafît a 125-21	280