VET 에너지태양전지용 PECVD 흑연 보트는 태양전지의 PECVD(플라즈마 강화 화학 기상 증착) 공정을 위해 설계된 핵심 소모품입니다. 이 흑연 보트는 기공률이 15% 미만이고 표면 거칠기가 Ra≤1.6μm인 고순도 등방성 흑연으로 제작되었습니다. 고온 내성, 내식성, 치수 안정성 등 우수한 특성을 가지고 있습니다. 뛰어난 치수 안정성과 열전도도는 균일한 박막 증착을 보장하고 배터리 효율을 향상시킵니다. 고온 고압 PECVD 환경에서 안정적인 캐리어를 제공하여 균일한 증착과 고품질 태양전지 박막을 보장합니다.
SGL의 흑연 소재:
| 일반적인 매개변수: R6510 | |||
| 색인 | 시험표준 | 값 | 단위 |
| 평균 입자 크기 | ISO 13320 | 10 | μm |
| 체적 밀도 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 개방형 다공성 | DIN66133 | 10 | % |
| 중간 크기의 기공 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 침투성 | DIN 51935 | 0.06 | 센티미터²/초 |
| 록웰 경도 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 비전기 저항률 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 굽힘 강도 | DIN IEC 60413/501 | 60 | 엠파 |
| 압축 강도 | DIN 51910 | 130 | 엠파 |
| 영률 | DIN 51915 | 11.5×10³ | 엠파 |
| 열팽창(20~200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| 열전도도(20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
고효율 태양 전지 제조를 위해 특별히 설계되었으며, G12 대형 웨이퍼 공정을 지원합니다. 최적화된 캐리어 설계는 처리량을 크게 향상시켜 수율을 높이고 생산 비용을 절감합니다.
| 목 | 유형 | 웨이퍼 캐리어 번호 |
| PEVCD 그레파이트 보트 - 156 시리즈 | 156-13 그레파이트 보트 | 144 |
| 156-19 그레파이트 보트 | 216 | |
| 156-21 그레파이트 보트 | 240 | |
| 156-23 그래파이트 보트 | 308 | |
| PEVCD 그레파이트 보트 - 125 시리즈 | 125-15 그레파이트 보트 | 196 |
| 125-19 그레파이트 보트 | 252 | |
| 125-21 그래프트 보트 | 280 |
