Agbara VETỌkọ̀ ojú omi PECVD graphite fún àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn jẹ́ ohun èlò pàtàkì tí a ṣe fún ìlànà PECVD (ìdásílẹ̀ ìgbóná kemikali tí a mú dara sí plasma) ti àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn. A ṣe ọkọ̀ ojú omi graphite náà láti inú graphite isostatic tí ó mọ́ tónítóní pẹ̀lú ihò tí kò tó 15% àti ìfọ́ ojú ilẹ̀ Ra≤1.6μm. Ó ní àwọn ànímọ́ tó dára bíi resistance ooru gíga, resistance ipata, àti iduroṣinṣin iwọn. Iduroṣinṣin iwọn tó dára àti conductivity ooru ń rí i dájú pé fíìmù kan náà wà níbẹ̀, ó sì ń mú kí agbára bátìrì sunwọ̀n sí i. Ó lè pèsè ohun èlò tí ó dúró ṣinṣin nínú àyíká PECVD tí ó ní ìwọ̀n otutu gíga àti ìfúnpá gíga láti rí i dájú pé fíìmù sẹ́ẹ̀lì oòrùn náà wà níbẹ̀ dáadáa, kí ó sì ní ìdàgbàsókè gíga.
Ohun èlò graphite láti SGL:
| Àmì tí ó wọ́pọ̀: R6510 | |||
| Àtọ́ka | Iwọn idanwo | Iye | Ẹyọ kan |
| Iwọn ọkà apapọ | ISO 13320 | 10 | μm |
| Ìwọ̀n púpọ̀ | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Àwọn ihò tí ó ṣí sílẹ̀ | DIN66133 | 10 | % |
| Ìwọ̀n ihò àárín | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Àìníláàyè | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Líle líle Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Idaabobo itanna pataki | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Agbára ìrọ̀rùn | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPA |
| Agbára ìfúnpọ̀ | DIN 51910 | 130 | MPA |
| Mọ́dúlùsì ọ̀dọ́ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPA |
| Ìfẹ̀sí gbígbóná (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Igbona elekitiriki (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
A ṣe apẹrẹ rẹ̀ ní pàtó fún ṣíṣe àwọn sẹ́ẹ̀lì oorun tó lágbára, tó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ṣíṣe iṣẹ́ wafer ńlá G12. Apẹẹrẹ ẹ̀rọ tí a ṣe àtúnṣe mú kí iṣẹ́ náà pọ̀ sí i, èyí sì ń jẹ́ kí iye owó iṣẹ́ náà pọ̀ sí i, ó sì ń dín iye owó iṣẹ́ náà kù.
| Ohun kan | Irú | Olùgbé nọ́mbà wafer |
| Ọkọ̀ ojú omi PEVCD Grephite - Àwọn ìpele 156 | Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-13 | 144 |
| Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-19 | 216 | |
| Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-21 | 240 | |
| Ọkọ̀ ojú omi graphite 156-23 | 308 | |
| Ọkọ̀ ojú omi PEVCD Grephite - Àwọn jara 125 | Ọkọ̀ ojú omi grephite 125-15 | 196 |
| Ọkọ̀ ojú omi grephite 125-19 | 252 | |
| Ọkọ̀ ojú omi 125-21 gífítì | 280 |
-
Iwọn otutu ti o ga julọ ti o npọ si ara-ẹni ti o n fa fifẹ ara-ẹni ...
-
Iwe graphite adayeba ni o ni agbara gbona condu ...
-
Ohun èlò ìṣọ̀kan C/C tàbí ohun èlò ìṣọ̀kan erogba-carbon
-
Ìwé Grafiti Ìwé Grafiti Àkọsílẹ Grafiti se...
-
Ọpá graphite oníwọ̀n otutu tó ga tó sì dúró ṣinṣin.
-
Aṣa ina fifa impregnated graphite beari ...

