VET EnerzjyPECVD-grafytboat foar sinnesellen is in kearnferbrûksmateriaal ûntworpen foar it PECVD (plasma-fersterke gemyske dampôfsetting) proses fan sinnesellen. De grafytboat is makke fan heechsuvere isostatyske grafyt mei in porositeit fan minder as 15% en in oerflakteruwheid fan Ra≤1.6μm. It hat poerbêste eigenskippen lykas hege temperatuerresistinsje, korrosjeresistinsje en dimensjonele stabiliteit. Uitstekende dimensjonele stabiliteit en termyske gelieding soargje foar unifoarme filmôfsetting en ferbetterje de batterijeffisjinsje. It kin in stabile drager leverje yn in PECVD-omjouwing mei hege temperatuer en hege druk om unifoarme ôfsetting en hege kwaliteit fan sinnesellenfilms te garandearjen.
Grafytmateriaal fan SGL:
| Typyske parameter: R6510 | |||
| Yndeks | Teststandert | Wearde | Ienheid |
| Gemiddelde nôtgrutte | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdichtheid | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Iepen porositeit | DIN66133 | 10 | % |
| Middelgrutte poaren | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabiliteit | DIN 51935 | 0.06 | sm²/s |
| Rockwell-hurdens HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifike elektryske wjerstân | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bûgingssterkte | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Kompresjesterkte | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young's modulus | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Termyske útwreiding (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Termyske geliedingsfermogen (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje sinnesellenproduksje, en stipet de ferwurking fan grutte G12-wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochfier signifikant, wêrtroch hegere opbringsten en legere produksjekosten mooglik binne.
| Ûnderdiel | Type | Nûmer waferdrager |
| PEVCD Grephite-boat - De 156-searje | 156-13 grepytboat | 144 |
| 156-19 grepytboat | 216 | |
| 156-21 grepytboat | 240 | |
| 156-23 grafytboat | 308 | |
| PEVCD Grephite-boat - De 125-searje | 125-15 grepytboat | 196 |
| 125-19 grepytboat | 252 | |
| 125-21 grafytboat | 280 |
