VET EnergiaO suporte de grafite para PECVD em células solares é um consumível essencial projetado para o processo de deposição química de vapor assistida por plasma (PECVD) de células solares. O suporte de grafite é feito de grafite isostático de alta pureza com porosidade inferior a 15% e rugosidade superficial de Ra ≤ 1,6 μm. Possui excelentes propriedades, como resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão e estabilidade dimensional. A excelente estabilidade dimensional e condutividade térmica garantem a deposição uniforme do filme e melhoram a eficiência da bateria. Ele pode fornecer um suporte estável em um ambiente de PECVD de alta temperatura e alta pressão para garantir a deposição uniforme e a alta qualidade dos filmes das células solares.
Material de grafite da SGL:
| Parâmetro típico: R6510 | |||
| Índice | Padrão de teste | Valor | Unidade |
| Tamanho médio do grão | ISO 13320 | 10 | μm |
| densidade aparente | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Porosidade aberta | DIN66133 | 10 | % |
| Tamanho de poro médio | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilidade | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Dureza Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Resistividade elétrica específica | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Resistência à flexão | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| resistência à compressão | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Módulo de Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Expansão térmica (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2 x 10-6 | K-1 |
| Condutividade térmica (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Foi projetado especificamente para a fabricação de células solares de alta eficiência, suportando o processamento de wafers de grande porte G12. O design otimizado da estrutura de suporte aumenta significativamente a produtividade, permitindo maiores taxas de rendimento e menores custos de produção.
| Item | Tipo | Número de wafers de suporte |
| Barco PEVCD Grephite - Série 156 | 156-13 barco de grefita | 144 |
| 156-19 barco de grefita | 216 | |
| 156-21 barco de grefita | 240 | |
| Barco de grafite 156-23 | 308 | |
| Barco PEVCD Grephite - Série 125 | 125-15 barco de grefita | 196 |
| 125-19 barco de grefita | 252 | |
| 125-21 barco de grife | 280 |
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