എന്താണ് TaC കോട്ടിംഗ്?

അതിവേഗം വികസിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുന്ന സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ, പ്രകടനം, ഈട്, കാര്യക്ഷമത എന്നിവ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്ന വസ്തുക്കൾ നിർണായകമാണ്. ഗ്രാഫൈറ്റ് ഘടകങ്ങളിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന ഒരു നൂതന സംരക്ഷണ പാളിയായ ടാന്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗാണ് അത്തരമൊരു നൂതന കണ്ടുപിടുത്തം. ഈ ബ്ലോഗ് TaC കോട്ടിംഗിന്റെ നിർവചനം, സാങ്കേതിക ഗുണങ്ങൾ, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിലെ അതിന്റെ പരിവർത്തനാത്മക പ്രയോഗങ്ങൾ എന്നിവ പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യുന്നു.

Ⅰ. TaC കോട്ടിംഗ് എന്താണ്?

ഗ്രാഫൈറ്റ് പ്രതലങ്ങളിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്ന ടാന്റലം കാർബൈഡ് (ടാന്റലത്തിന്റെയും കാർബണിന്റെയും സംയുക്തം) കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള സെറാമിക് പാളിയാണ് TaC കോട്ടിംഗ്. കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (CVD) അല്ലെങ്കിൽ ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (PVD) സാങ്കേതിക വിദ്യകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് കോട്ടിംഗ് സാധാരണയായി പ്രയോഗിക്കുന്നത്, ഇത് ഗ്രാഫൈറ്റിനെ അങ്ങേയറ്റത്തെ സാഹചര്യങ്ങളിൽ നിന്ന് സംരക്ഷിക്കുന്ന സാന്ദ്രമായ, അൾട്രാ-പ്യുവർ തടസ്സം സൃഷ്ടിക്കുന്നു.

TaC കോട്ടിംഗിന്റെ പ്രധാന ഗുണങ്ങൾ

●ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത: 2200°C-ൽ കൂടുതലുള്ള താപനിലയെ ചെറുക്കുന്നു, 1600°C-ന് മുകളിൽ വിഘടിപ്പിക്കുന്ന സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) പോലുള്ള പരമ്പരാഗത വസ്തുക്കളെ മറികടക്കുന്നു.

●രാസ പ്രതിരോധം: അർദ്ധചാലക സംസ്കരണ പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് നിർണായകമായ ഹൈഡ്രജൻ (H₂), അമോണിയ (NH₃), സിലിക്കൺ നീരാവി, ഉരുകിയ ലോഹങ്ങൾ എന്നിവയിൽ നിന്നുള്ള നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്നു.

●അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി: 5 ppm-ൽ താഴെയുള്ള മാലിന്യ അളവ്, പരൽ വളർച്ചാ പ്രക്രിയകളിൽ മലിനീകരണ സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു.

●താപ, മെക്കാനിക്കൽ ഈട്: ഗ്രാഫൈറ്റിനോട് ശക്തമായ പറ്റിപ്പിടിക്കൽ, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം (6.3×10⁻⁶/K), കാഠിന്യം (~2000 HK) എന്നിവ താപ ചക്രത്തിൽ ദീർഘായുസ്സ് ഉറപ്പാക്കുന്നു.

Ⅱ. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിലെ TaC കോട്ടിംഗ്: പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ

നൂതന സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC), ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് (GaN) ഉപകരണങ്ങൾക്ക്, TaC- പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്തതാണ്. അവയുടെ നിർണായക ഉപയോഗ കേസുകൾ ചുവടെയുണ്ട്:

1. SiC സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത്

പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, ഇലക്ട്രിക് വാഹനങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്ക് SiC വേഫറുകൾ അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്. TaC- കോട്ടിംഗ് ഉള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ക്രൂസിബിളുകളും സസെപ്റ്ററുകളും ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ട്രാൻസ്പോർട്ട് (PVT), ഹൈ-ടെമ്പറേച്ചർ CVD (HT-CVD) സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ഇവ ഉപയോഗിക്കുന്നു:

● മലിനീകരണം തടയുക: TaC യുടെ കുറഞ്ഞ അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കം (ഉദാഹരണത്തിന്, ബോറോൺ <0.01 ppm vs. ഗ്രാഫൈറ്റിൽ 1 ppm) SiC ക്രിസ്റ്റലുകളിലെ വൈകല്യങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നു, വേഫർ പ്രതിരോധശേഷി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു (4.5 ohm-cm vs. 0.1 ohm-cm പൂശാത്ത ഗ്രാഫൈറ്റിന്).

● താപ മാനേജ്മെന്റ് മെച്ചപ്പെടുത്തുക: ഏകീകൃത ഉദ്‌വമനം (1000°C-ൽ 0.3) സ്ഥിരതയുള്ള താപ വിതരണം ഉറപ്പാക്കുന്നു, ക്രിസ്റ്റൽ ഗുണനിലവാരം ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നു.

2. എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ച (GaN/SiC)

ലോഹ-ഓർഗാനിക് സിവിഡി (എംഒസിവിഡി) റിയാക്ടറുകളിൽ, വേഫർ കാരിയറുകൾ, ഇൻജക്ടറുകൾ പോലുള്ള TaC- പൂശിയ ഘടകങ്ങൾ:

●വാതക പ്രതിപ്രവർത്തനങ്ങൾ തടയുക: 1400°C-ൽ അമോണിയയും ഹൈഡ്രജനും ഉപയോഗിച്ചുള്ള കൊത്തുപണിയെ പ്രതിരോധിക്കുകയും റിയാക്ടറിന്റെ സമഗ്രത നിലനിർത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.

●വിളവ് മെച്ചപ്പെടുത്തുക: ഗ്രാഫൈറ്റിൽ നിന്നുള്ള കണിക ചൊരിയൽ കുറയ്ക്കുന്നതിലൂടെ, CVD TaC കോട്ടിംഗ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളികളിലെ വൈകല്യങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നു, ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള LED-കൾക്കും RF ഉപകരണങ്ങൾക്കും ഇത് വളരെ പ്രധാനമാണ്.

3. മറ്റ് സെമികണ്ടക്ടർ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ

●ഉയർന്ന താപനില റിയാക്ടറുകൾ: ഹൈഡ്രജൻ സമ്പുഷ്ടമായ പരിതസ്ഥിതികളിൽ TaC യുടെ സ്ഥിരതയിൽ നിന്ന് GaN ഉൽ‌പാദനത്തിലെ സസെപ്റ്ററുകളും ഹീറ്ററുകളും പ്രയോജനപ്പെടുന്നു.

●വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ: വളയങ്ങൾ, മൂടികൾ തുടങ്ങിയ പൂശിയ ഘടകങ്ങൾ വേഫർ കൈമാറ്റ സമയത്ത് ലോഹ മലിനീകരണം കുറയ്ക്കുന്നു.

Ⅲ. എന്തുകൊണ്ടാണ് TaC കോട്ടിംഗ് ഇതരമാർഗങ്ങളെക്കാൾ മികച്ച പ്രകടനം കാഴ്ചവയ്ക്കുന്നത്?

പരമ്പരാഗത വസ്തുക്കളുമായുള്ള ഒരു താരതമ്യം TaC യുടെ മികവ് എടുത്തുകാണിക്കുന്നു:

വ്യവസായ താരതമ്യങ്ങളിൽ നിന്ന് എടുത്ത ഡാറ്റ

IV. എന്തുകൊണ്ട് VET തിരഞ്ഞെടുക്കണം?

സാങ്കേതിക ഗവേഷണ വികസനത്തിൽ തുടർച്ചയായ നിക്ഷേപത്തിന് ശേഷം,മൃഗവൈദ്യൻടാന്റലം കാർബൈഡ് (TaC) പൂശിയ ഭാഗങ്ങൾ, ഉദാഹരണത്തിന്TaC കോട്ടിംഗ് ഉള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ഗൈഡ് റിംഗ്, CVD TaC കോട്ടഡ് പ്ലേറ്റ് സസെപ്റ്റർ, എപ്പിറ്റാക്സി ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ള TaC കോട്ടഡ് സസെപ്റ്റർ,ടാന്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ പോറസ് ഗ്രാഫൈറ്റ് മെറ്റീരിയൽഒപ്പംTaC കോട്ടിംഗുള്ള വേഫർ സസെപ്റ്റർ, യൂറോപ്യൻ, അമേരിക്കൻ വിപണികളിൽ വളരെ ജനപ്രിയമാണ്. നിങ്ങളുടെ ദീർഘകാല പങ്കാളിയാകാൻ VET ആത്മാർത്ഥമായി ആഗ്രഹിക്കുന്നു.