Ваферын warpage, юу хийх вэ?

Тодорхой сав баглаа боодлын процесст өөр өөр дулааны тэлэлтийн коэффициент бүхий сав баглаа боодлын материалыг ашигладаг. Сав баглаа боодлын процессын явцад вафлийг сав баглаа боодлын суурь дээр байрлуулж, дараа нь сав баглаа боодлыг бүрэн болгохын тулд халаах, хөргөх алхмуудыг гүйцэтгэдэг. Гэсэн хэдий ч сав баглаа боодлын материал болон вафлийн дулааны тэлэлтийн коэффициент хоорондоо зөрүүтэй тул дулааны стресс нь вафлийг муруйхад хүргэдэг. Редактортой хамт ирээд үзээрэй~

Ваферын warpage гэж юу вэ?

Вафлигажуудал гэдэг нь савлах явцад вафлийг нугалах эсвэл мушгихыг хэлнэ.ВафлиСавлах явцад гажуудал үүсэх нь тэгшлэх хазайлт, гагнуурын асуудал, төхөөрөмжийн гүйцэтгэл муудахад хүргэж болзошгүй.

Сав баглаа боодлын нарийвчлал буурсан:ВафлиСавлах явцад гажуудал үүсэх нь шугамын хазайлт үүсгэж болзошгүй. Савлах явцад вафли хэв гажилтанд ороход чип болон савласан төхөөрөмжийн хоорондох шугаман байдалд нөлөөлж, холбогч зүү эсвэл гагнуурын холболтыг нарийн тохируулах боломжгүй болгож болзошгүй. Энэ нь савлах нарийвчлалыг бууруулж, төхөөрөмжийн тогтворгүй эсвэл найдваргүй ажиллагаанд хүргэж болзошгүй.

Механик стресс нэмэгдэх:ВафлиВарпейж нь нэмэлт механик стресс үүсгэдэг. Ваферийн өөрийнх нь хэв гажилтаас болж савлах явцад үүсэх механик стресс нэмэгдэж болзошгүй. Энэ нь вафер доторх стрессийн концентрацийг үүсгэж, төхөөрөмжийн материал болон бүтцэд сөргөөр нөлөөлж, тэр ч байтугай ваферийн дотоод гэмтэл эсвэл төхөөрөмжийн эвдрэлд хүргэж болзошгүй. 

Гүйцэтгэлийн бууралт:Ваферын гажуудал нь төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг муутгаж болзошгүй. Ваферын эд ангиуд болон хэлхээний зохион байгуулалтыг хавтгай гадаргуу дээр үндэслэн бүтээсэн. Хэрэв вафер гажуудвал төхөөрөмжүүдийн хоорондох цахилгаан холболт, дохио дамжуулалт болон дулааны менежментэд нөлөөлж болзошгүй. Энэ нь төхөөрөмжийн цахилгаан гүйцэтгэл, хурд, эрчим хүчний хэрэглээ эсвэл найдвартай байдалд асуудал үүсгэж болзошгүй.

Гагнуурын асуудлууд:Ваферийн муруйлт нь гагнуурын асуудал үүсгэж болзошгүй. Гагнуурын явцад вафер нугарсан эсвэл мушгирсан бол гагнуурын явцад хүчний тархалт жигд бус байж болох бөгөөд энэ нь гагнуурын холболтын чанар муудах эсвэл гагнуурын холболтын эвдрэлд хүргэж болзошгүй юм. Энэ нь савлагааны найдвартай байдалд сөргөөр нөлөөлнө.

Вафлийн хэв гажилтын шалтгаанууд

Дараахь шалтгаан болж болох зарим хүчин зүйлүүд байнавафлиwarpage:

1.Дулааны стресс:Сав баглаа боодлын явцад температурын өөрчлөлтөөс шалтгаалан вафли дээрх өөр өөр материалууд нь дулааны тэлэлтийн коэффициентүүд тогтворгүй байх бөгөөд энэ нь вафли гажуудалд хүргэдэг.

2.Материалын жигд бус байдал:Вафли үйлдвэрлэх явцад материалын жигд бус хуваарилалт нь вафлины хэв гажилтыг үүсгэж болзошгүй. Жишээлбэл, вафлины өөр өөр хэсэгт өөр өөр нягтрал эсвэл зузаантай материал нь вафлиг деформацид оруулдаг.

3.Процессийн параметрүүд:Сав баглаа боодлын процессын зарим параметрүүдийг, тухайлбал температур, чийгшил, агаарын даралт гэх мэтийг буруу хянах нь вафлийн хэв гажилтыг үүсгэж болзошгүй.

Шийдэл

Ваарны гажуудлыг хянах зарим арга хэмжээ:

Процессийн оновчлол:Сав баглаа боодлын процессын параметрүүдийг оновчтой болгосноор вафлийн хэв гажилтын эрсдэлийг бууруулна. Үүнд сав баглаа боодлын процессын явцад температур, чийгшил, халаалт, хөргөлтийн хурд, агаарын даралт зэрэг параметрүүдийг хянах зэрэг орно. Процессын параметрүүдийг зохистой сонгох нь дулааны стрессийн нөлөөллийг бууруулж, вафлийн хэв гажилтын магадлалыг бууруулж чадна.

Сав баглаа боодлын материалын сонголт:Ваферийн муруйлтын эрсдлийг бууруулахын тулд тохирох сав баглаа боодлын материалыг сонгоно уу. Дулааны стрессээс үүдэлтэй ваферийн деформацийг бууруулахын тулд сав баглаа боодлын материалын дулааны тэлэлтийн коэффициент нь ваферийнхтэй тохирч байх ёстой. Үүний зэрэгцээ, ваферийн муруйлтын асуудлыг үр дүнтэй шийдвэрлэхийн тулд сав баглаа боодлын материалын механик шинж чанар, тогтвортой байдлыг анхаарч үзэх хэрэгтэй.

Ваферын дизайн ба үйлдвэрлэлийн оновчлол:Вафлийн зураг төсөл боловсруулах, үйлдвэрлэх явцад вафийн хэв гажилтын эрсдлийг бууруулахын тулд зарим арга хэмжээг авч болно. Үүнд материалын жигд тархалтыг оновчтой болгох, вафийн зузаан, гадаргуугийн тэгш байдлыг хянах гэх мэт орно. Вафийн үйлдвэрлэлийн процессыг нарийн хянаснаар вафийн өөрийнх нь хэв гажилтын эрсдлийг бууруулж болно.

Дулааны менежментийн арга хэмжээ:Сав баглаа боодлын процессын явцад вафлийн хэв гажилтын эрсдлийг бууруулахын тулд дулааны менежментийн арга хэмжээ авдаг. Үүнд температурын жигд байдал сайтай халаалт, хөргөлтийн тоног төхөөрөмж ашиглах, температурын градиент болон температурын өөрчлөлтийн хурдыг хянах, зохих хөргөлтийн аргыг хэрэглэх зэрэг орно. Дулааны үр дүнтэй менежмент нь вафийн дулааны стрессийн нөлөөллийг бууруулж, вафийн хэв гажилтын магадлалыг бууруулж чадна.

Илрүүлэлт ба тохируулгын арга хэмжээ:Сав баглаа боодлын процессын явцад вафлийн гажуудлыг тогтмол илрүүлж, тохируулах нь маш чухал юм. Оптик хэмжилтийн систем эсвэл механик туршилтын төхөөрөмж гэх мэт өндөр нарийвчлалтай илрүүлэх төхөөрөмжийг ашигласнаар вафлийн гажуудлын асуудлыг эрт илрүүлж, зохих тохируулгын арга хэмжээг авах боломжтой. Үүнд сав баглаа боодлын параметрүүдийг дахин тохируулах, сав баглаа боодлын материалыг өөрчлөх эсвэл вафлийн үйлдвэрлэлийн процессыг тохируулах зэрэг орно.

Ваферийн муруйлтын асуудлыг шийдвэрлэх нь нарийн төвөгтэй ажил бөгөөд олон хүчин зүйлийг цогцоор нь авч үзэх, давтан оновчлол, тохируулга хийхийг шаардаж болохыг тэмдэглэх нь зүйтэй. Бодит хэрэглээнд тодорхой шийдлүүд нь сав баглаа боодлын үйл явц, ваферийн материал, тоног төхөөрөмж зэрэг хүчин зүйлээс хамааран өөр өөр байж болно. Тиймээс тодорхой нөхцөл байдлаас хамааран ваферийн муруйлтын асуудлыг шийдвэрлэх зохих арга хэмжээг сонгож, авч болно.