Wafer warpage, zvekuita?

Mune imwe nzira yekurongedza, zvinhu zvekurongedza zvine ma coefficients akasiyana ekuwedzera kwekupisa zvinoshandiswa. Munguva yekurongedza, wafer inoiswa pamusoro pe substrate yekurongedza, uye matanho ekupisa nekutonhodza anoitwa kuti kurongedza kupedziswe. Zvisinei, nekuda kwekusawirirana pakati pe coefficient yekuwedzera kwekupisa kwezvinhu zvekurongedza newafer, kushushikana kwekupisa kunoita kuti wafer itenderere. Uyai muone nemupepeti ~

Chii chinonzi wafer warpage?

Waferwarpage inoreva kukotama kana kumonyoroka kwewafer panguva yekurongedza.WaferKuchinja kwepeji kunogona kukonzera kutsauka pakuenderana, matambudziko ekunamira uye kudzikira kwekushanda kwemudziyo panguva yekurongedza.

Kurongeka kwekurongedza kwakaderera:WaferKukombama kunogona kukonzera kutsauka pakurongeka panguva yekurongedza. Kana wafer ikachinja panguva yekurongedza, kurongeka pakati pechip nechishandiso chakarongedzwa kunogona kukanganiswa, zvichikonzera kutadza kurongeka nemazvo mapini ekubatanidza kana majoini esolder. Izvi zvinoderedza kururama kwekurongedza uye zvinogona kukonzera kusagadzikana kana kusavimbika kwekushanda kwemudziyo.

Kuwedzera kwekushushikana kwemakemikari:WaferWarpage inounza kushushikana kwemuchina. Nekuda kwekushanduka kwewafer pachayo, kushushikana kwemuchina kunoshandiswa panguva yekurongedza kunogona kuwedzera. Izvi zvinogona kukonzera kushushikana mukati mewafer, kukanganisa zvinhu nemaumbirwo emudziyo, uye kutokonzera kukuvara kwemukati mewafer kana kutadza kushanda kwemudziyo. 

Kudzikira kwekushanda:Kupwanya kwewafer kunogona kukonzera kudzikira kwekushanda kwemudziyo. Zvikamu uye marongerwo edunhu pawafer zvakagadzirwa zvichibva panzvimbo yakati sandara. Kana wafer ikapwanyika, zvinogona kukanganisa kubatana kwemagetsi, kutapurirana kwemasaini uye manejimendi ekupisa pakati pemidziyo. Izvi zvinogona kukonzera matambudziko mukushanda kwemagetsi, kumhanya, kushandiswa kwesimba kana kuvimbika kwemudziyo.

Matambudziko ekunamira:Kupwanya kwewafer kunogona kukonzera matambudziko ekuwelda. Munguva yekuwelda, kana wafer yakakombama kana kumonyoroka, kugoverwa kwesimba panguva yekuwelda kunogona kunge kusina kuenzana, zvichikonzera kusashanda zvakanaka kwemajoini ekuwelda kana kutotyoka kwejoini rekuwelda. Izvi zvichakanganisa kuvimbika kwepakeji.

Zvikonzero zvekugadziriswa kwewafer

Zvinotevera ndezvimwe zvezvinhu zvinogona kukonzerachifukidziropeji rehondo:

1.Kushushikana kwekupisa:Munguva yekurongedza, nekuda kwekuchinja kwekushisa, zvinhu zvakasiyana-siyana zviri pawafer zvichave nekuwedzera kwekushisa kusingaenderane, zvichikonzera wafer warpage.

2.Kusafanana kwezvinhu:Munguva yekugadzira wafer, kupararira kusina kuenzana kwezvinhu zvinogona kukonzerawo warpage yewafer. Semuenzaniso, kuwanda kwezvinhu zvakasiyana kana ukobvu munzvimbo dzakasiyana dzewafer kuchaita kuti wafer iome.

3.Maitiro ekugadzirisa:Kusadzora zvakanaka mamwe ma process parameters mu process yekurongedza, akadai se tembiricha, hunyoro, kumanikidzwa kwemhepo, nezvimwewo, zvinogonawo kukonzera wafer warpage.

Mhinduro

Mamwe matanho ekudzora warpage yewafer:

Kugadzirisa maitiro:Deredza njodzi yekukanganiswa kwewafer nekuvandudza maparamita ekugadzirisa mapakeji. Izvi zvinosanganisira kudzora maparamita akadai sekupisa nehunyoro, mwero wekupisa nekutonhodza, uye kumanikidzwa kwemhepo panguva yekurongedza. Kusarudza zvine musoro maparamita ekugadzirisa kunogona kuderedza kukanganiswa kwekupisa uye kuderedza mukana wekuputika kwewafer.

Kusarudzwa kwezvinhu zvekurongedza:Sarudza zvinhu zvekurongedza zvakakodzera kuderedza njodzi yekuputira wafer. Kuwanda kwekuwedzera kwekushisa kwezvinhu zvekurongedza kunofanirwa kuenzana nekwewafer kuderedza kuputsika kwewafer kunokonzerwa nekushushikana kwekupisa. Panguva imwe chete, hunhu hwemakanika uye kugadzikana kwezvinhu zvekurongedza zvinofanirwawo kutariswa kuti kuve nechokwadi chekuti dambudziko rewafer rinogona kuderedzwa zvinobudirira.

Kugadzira mawafer nekugadzirisa magadzirirwo awo:Munguva yekugadzira nekugadzira wafer, mamwe matanho anogona kutorwa kuderedza njodzi yekudonha kwewafer. Izvi zvinosanganisira kugadzirisa kupararira kwakafanana kwezvinhu, kudzora ukobvu uye kusatsetseka kwewafer pamusoro, nezvimwewo. Nekudzora nemazvo maitiro ekugadzira wafer, njodzi yekushanduka kwewafer pachayo inogona kuderedzwa.

Matanho ekutarisira kupisa:Munguva yekurongedza, matanho ekutarisira kupisa anotorwa kuderedza njodzi yekudonha kwewafer. Izvi zvinosanganisira kushandisa michina yekudziyisa nekutonhodza ine tembiricha yakafanana, kudzora kupisa uye kuchinja kwekushisa, uye kutora nzira dzakakodzera dzekutonhodza. Kudzora kupisa kwakanaka kunogona kuderedza kukanganiswa kwekupisa pawafer uye kuderedza mukana wekuputika kwewafer.

Matanho ekuona nekugadzirisa:Munguva yekurongedza, zvakakosha kuti ugare uchiongorora uye uchigadzirisa warpage yewafer. Nekushandisa michina yekuona yakanyatsogadzirwa, senge masisitimu ekuyera kana michina yekuongorora michina, matambudziko ewafer warp anogona kuonekwa nekukurumidza uye matanho ekugadzirisa anoenderana nawo anogona kutorwa. Izvi zvinogona kusanganisira kugadzirisa patsva maparamita ekurongedza, kuchinja zvinhu zvekurongedza, kana kugadzirisa maitiro ekugadzira wafer.

Zvinofanira kucherechedzwa kuti kugadzirisa dambudziko re wafer warpage ibasa rakaoma uye rinogona kuda kutariswa kwakazara kwezvinhu zvakawanda uye kugadziriswa kwakawanda. Mukushandiswa chaiko, mhinduro dzakatarwa dzinogona kusiyana zvichienderana nezvinhu zvakaita semagadzirirwo ekurongedza, zvinhu zve wafer, uye michina. Saka, zvichienderana nemamiriro ezvinhu chaiwo, matanho akakodzera anogona kusarudzwa uye kutorwa kugadzirisa dambudziko re wafer warpage.