នៅក្នុងដំណើរការវេចខ្ចប់ជាក់លាក់មួយ សម្ភារៈវេចខ្ចប់ដែលមានមេគុណពង្រីកកម្ដៅខុសៗគ្នាត្រូវបានប្រើប្រាស់។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការវេចខ្ចប់ បន្ទះ wafer ត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមវេចខ្ចប់ ហើយបន្ទាប់មកជំហានកំដៅ និងត្រជាក់ត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីបញ្ចប់ការវេចខ្ចប់។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ដោយសារតែភាពមិនស៊ីគ្នារវាងមេគុណពង្រីកកម្ដៅនៃសម្ភារៈវេចខ្ចប់ និងបន្ទះ wafer ភាពតានតឹងកម្ដៅបណ្តាលឱ្យបន្ទះ wafer រួញ។ មកមើលជាមួយអ្នកកែសម្រួល~
តើការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយ wafer ជាអ្វី??
នំវ៉ាហ្វើរពាក្យថា warpage សំដៅទៅលើការពត់ ឬរមួលនៃបន្ទះ wafer ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការវេចខ្ចប់។នំវ៉ាហ្វើរការកោងអាចបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតនៃការតម្រឹម បញ្ហាផ្សារ និងការថយចុះប្រសិទ្ធភាពឧបករណ៍ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការវេចខ្ចប់។
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការវេចខ្ចប់ត្រូវបានកាត់បន្ថយ៖នំវ៉ាហ្វើរការរួញកោងអាចបណ្តាលឱ្យមានការតម្រឹមខុសប្រក្រតីក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការវេចខ្ចប់។ នៅពេលដែលបន្ទះ ...
ភាពតានតឹងមេកានិចកើនឡើង៖នំវ៉ាហ្វើរការរួញកោងបង្កើតភាពតានតឹងមេកានិចបន្ថែម។ ដោយសារតែការខូចទ្រង់ទ្រាយនៃបន្ទះ ...
ការថយចុះប្រសិទ្ធភាព៖ការរួញកោងនៃបន្ទះសៀគ្វីអាចបណ្តាលឱ្យដំណើរការឧបករណ៍ថយចុះ។ គ្រឿងផ្សំ និងប្លង់សៀគ្វីនៅលើបន្ទះសៀគ្វីត្រូវបានរចនាឡើងដោយផ្អែកលើផ្ទៃរាបស្មើ។ ប្រសិនបើបន្ទះសៀគ្វីរួញកោង វាអាចប៉ះពាល់ដល់ការតភ្ជាប់អគ្គិសនី ការបញ្ជូនសញ្ញា និងការគ្រប់គ្រងកម្ដៅរវាងឧបករណ៍។ នេះអាចបង្កបញ្ហាដល់ដំណើរការអគ្គិសនី ល្បឿន ការប្រើប្រាស់ថាមពល ឬភាពជឿជាក់របស់ឧបករណ៍។
បញ្ហាផ្សារដែក៖ការរួញកោងនៃបន្ទះបន្ទះអាចបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហាផ្សារ។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផ្សារ ប្រសិនបើបន្ទះបន្ទះបន្ទះត្រូវបានពត់ឬរមួល ការចែកចាយកម្លាំងក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផ្សារអាចមិនស្មើគ្នា ដែលបណ្តាលឱ្យគុណភាពនៃសន្លាក់ផ្សារមិនល្អ ឬសូម្បីតែការបាក់សន្លាក់ផ្សារ។ នេះនឹងមានផលប៉ះពាល់អវិជ្ជមានដល់ភាពជឿជាក់នៃកញ្ចប់។
មូលហេតុនៃការរួញនៃវ៉ាហ្វឺរ
ខាងក្រោមនេះជាកត្តាមួយចំនួនដែលអាចបណ្តាលឱ្យមាននំវ៉ាហ្វើរការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយ៖
1.ភាពតានតឹងកម្ដៅ៖ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការវេចខ្ចប់ ដោយសារតែការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព សម្ភារៈផ្សេងៗគ្នានៅលើបន្ទះសៀគ្វីនឹងមានមេគុណពង្រីកកម្ដៅមិនស៊ីសង្វាក់គ្នា ដែលបណ្តាលឱ្យបន្ទះសៀគ្វីកោង។
2.ភាពមិនស្មើគ្នានៃសម្ភារៈ៖ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផលិតបន្ទះសៀគ្វី ការចែកចាយសម្ភារៈមិនស្មើគ្នាក៏អាចបណ្តាលឱ្យបន្ទះសៀគ្វីខូចទ្រង់ទ្រាយផងដែរ។ ឧទាហរណ៍ ដង់ស៊ីតេសម្ភារៈ ឬកម្រាស់ខុសៗគ្នានៅក្នុងតំបន់ផ្សេងៗគ្នានៃបន្ទះសៀគ្វីនឹងបណ្តាលឱ្យបន្ទះសៀគ្វីខូចទ្រង់ទ្រាយ។
3.ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ៖ការគ្រប់គ្រងមិនត្រឹមត្រូវនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការមួយចំនួននៅក្នុងដំណើរការវេចខ្ចប់ ដូចជាសីតុណ្ហភាព សំណើម សម្ពាធខ្យល់ជាដើម ក៏អាចបណ្តាលឱ្យបន្ទះ wafer ខូចទ្រង់ទ្រាយផងដែរ។
ដំណោះស្រាយ
វិធានការមួយចំនួនដើម្បីគ្រប់គ្រងការរួញនៃ wafer៖
ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ៖កាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការរួញបន្ទះសៀគ្វីដោយធ្វើឱ្យប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការវេចខ្ចប់ប្រសើរឡើង។ នេះរួមបញ្ចូលទាំងការគ្រប់គ្រងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដូចជាសីតុណ្ហភាព និងសំណើម អត្រាកំដៅ និងត្រជាក់ និងសម្ពាធខ្យល់ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការវេចខ្ចប់។ ការជ្រើសរើសប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការសមហេតុផលអាចកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃភាពតានតឹងកម្ដៅ និងកាត់បន្ថយលទ្ធភាពនៃការរួញបន្ទះសៀគ្វី។
ការជ្រើសរើសសម្ភារៈវេចខ្ចប់៖ជ្រើសរើសសម្ភារៈវេចខ្ចប់សមស្រប ដើម្បីកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការរួញរបស់បន្ទះសៀគ្វី។ មេគុណពង្រីកកម្ដៅនៃសម្ភារៈវេចខ្ចប់គួរតែត្រូវគ្នានឹងមេគុណពង្រីកកម្ដៅនៃបន្ទះសៀគ្វី ដើម្បីកាត់បន្ថយការខូចទ្រង់ទ្រាយដែលបណ្តាលមកពីភាពតានតឹងកម្ដៅ។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងស្ថេរភាពនៃសម្ភារៈវេចខ្ចប់ក៏ត្រូវពិចារណាផងដែរ ដើម្បីធានាថាបញ្ហារួញរបស់បន្ទះសៀគ្វីអាចត្រូវបានកាត់បន្ថយប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។
ការរចនា និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការផលិតបន្ទះសៀគ្វី៖ក្នុងអំឡុងពេលនៃដំណើរការរចនា និងផលិតបន្ទះសៀគ្វី វិធានការមួយចំនួនអាចត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយបន្ទះសៀគ្វី។ នេះរួមបញ្ចូលទាំងការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវការចែកចាយឯកសណ្ឋាននៃសម្ភារៈ ការគ្រប់គ្រងកម្រាស់ និងភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វីជាដើម។ តាមរយៈការគ្រប់គ្រងដំណើរការផលិតបន្ទះសៀគ្វីយ៉ាងច្បាស់លាស់ ហានិភ័យនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយនៃបន្ទះសៀគ្វីខ្លួនឯងអាចត្រូវបានកាត់បន្ថយ។
វិធានការគ្រប់គ្រងកម្ដៅ៖ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការវេចខ្ចប់ វិធានការគ្រប់គ្រងកម្ដៅត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយនៃបន្ទះសៀគ្វី។ នេះរួមបញ្ចូលទាំងការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍កំដៅ និងត្រជាក់ដែលមានឯកសណ្ឋានសីតុណ្ហភាពល្អ ការគ្រប់គ្រងជម្រាលសីតុណ្ហភាព និងអត្រាប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព និងការប្រើប្រាស់វិធីសាស្ត្រត្រជាក់សមស្រប។ ការគ្រប់គ្រងកម្ដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពអាចកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃភាពតានតឹងកម្ដៅលើបន្ទះសៀគ្វី និងកាត់បន្ថយលទ្ធភាពនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយនៃបន្ទះសៀគ្វី។
វិធានការរកឃើញ និងកែតម្រូវ៖ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការវេចខ្ចប់ វាមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ក្នុងការរកឃើញ និងកែតម្រូវការរួញរបស់បន្ទះសៀគ្វីជាទៀងទាត់។ តាមរយៈការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍រកឃើញដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដូចជាប្រព័ន្ធវាស់ស្ទង់អុបទិក ឬឧបករណ៍ធ្វើតេស្តមេកានិច បញ្ហារួញរបស់បន្ទះសៀគ្វីអាចត្រូវបានរកឃើញតាំងពីដំបូង ហើយវិធានការកែតម្រូវដែលត្រូវគ្នាអាចត្រូវបានអនុវត្ត។ នេះអាចរួមបញ្ចូលការកែតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រវេចខ្ចប់ឡើងវិញ ការផ្លាស់ប្តូរសម្ភារៈវេចខ្ចប់ ឬការកែតម្រូវដំណើរការផលិតបន្ទះសៀគ្វី។
គួរកត់សម្គាល់ថាការដោះស្រាយបញ្ហានៃការរួញនៃបន្ទះសៀគ្វីគឺជាកិច្ចការដ៏ស្មុគស្មាញមួយ ហើយអាចតម្រូវឱ្យមានការពិចារណាយ៉ាងទូលំទូលាយលើកត្តាច្រើន និងការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង និងការកែតម្រូវម្តងហើយម្តងទៀត។ នៅក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែង ដំណោះស្រាយជាក់លាក់អាចប្រែប្រួលអាស្រ័យលើកត្តាដូចជាដំណើរការវេចខ្ចប់ សម្ភារៈបន្ទះសៀគ្វី និងឧបករណ៍។ ដូច្នេះ អាស្រ័យលើស្ថានភាពជាក់លាក់ វិធានការសមស្របអាចត្រូវបានជ្រើសរើស និងអនុវត្តដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហានៃការរួញនៃបន្ទះសៀគ្វី។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៦ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៤