Wafer warpage, yuav ua li cas?

Hauv qee txoj kev ntim khoom, cov ntaub ntawv ntim khoom uas muaj cov coefficients thermal expansion sib txawv raug siv. Thaum lub sijhawm ntim khoom, lub wafer raug muab tso rau ntawm lub substrate ntim khoom, thiab tom qab ntawd cov kauj ruam cua sov thiab txias raug ua kom tiav cov ntim khoom. Txawm li cas los xij, vim yog qhov tsis sib xws ntawm cov coefficient thermal expansion ntawm cov ntaub ntawv ntim khoom thiab lub wafer, kev ntxhov siab thermal ua rau lub wafer warp. Los saib nrog tus editor ~

Dab tsi yog wafer warpage?

Ncuav mog qab zibwarpage hais txog qhov khoov lossis ntswj ntawm lub wafer thaum lub sijhawm ntim khoom.Ncuav mog qab zibqhov warpage yuav ua rau muaj kev sib txawv ntawm kev sib dhos, teeb meem vuam thiab kev ua haujlwm ntawm lub cuab yeej poob qis thaum lub sijhawm ntim khoom.

Txo qhov tseeb ntawm kev ntim khoom:Ncuav mog qab zibQhov kev nkhaus yuav ua rau muaj kev sib txawv thaum lub sijhawm ntim khoom. Thaum lub wafer deforms thaum lub sijhawm ntim khoom, qhov kev sib phim ntawm lub chip thiab lub cuab yeej ntim khoom yuav raug cuam tshuam, ua rau tsis muaj peev xwm sib phim cov pins txuas lossis cov pob qij txha solder. Qhov no txo ​​qhov tseeb ntawm kev ntim khoom thiab yuav ua rau lub cuab yeej ua haujlwm tsis ruaj khov lossis tsis txhim khu kev qha.

Kev ntxhov siab ntau ntxiv:Ncuav mog qab zibKev ua kom lub wafer puas tsuaj ua rau muaj kev ntxhov siab ntxiv. Vim yog qhov kev hloov pauv ntawm lub wafer nws tus kheej, kev ntxhov siab siv thaum lub sijhawm ntim khoom yuav nce ntxiv. Qhov no yuav ua rau muaj kev ntxhov siab ntau ntxiv hauv lub wafer, cuam tshuam tsis zoo rau cov khoom siv thiab cov qauv ntawm lub cuab yeej, thiab txawm tias ua rau lub wafer sab hauv puas tsuaj lossis lub cuab yeej ua tsis tiav. 

Kev ua haujlwm poob qis:Qhov wafer warpage yuav ua rau lub cuab yeej ua haujlwm poob qis. Cov khoom thiab cov qauv hluav taws xob ntawm wafer yog tsim los ntawm qhov chaw tiaj tus. Yog tias wafer warps, nws yuav cuam tshuam rau kev sib txuas hluav taws xob, kev xa xov tooj thiab kev tswj cua sov ntawm cov khoom siv. Qhov no yuav ua rau muaj teeb meem hauv kev ua haujlwm hluav taws xob, kev ceev, kev siv hluav taws xob lossis kev ntseeg siab ntawm lub cuab yeej.

Teeb meem vuam:Qhov wafer warpage yuav ua rau muaj teeb meem vuam. Thaum lub sijhawm vuam, yog tias lub wafer khoov lossis ntswj, qhov faib zog thaum lub sijhawm vuam yuav tsis sib npaug, ua rau cov pob qij txha tsis zoo lossis txawm tias tawg. Qhov no yuav muaj kev cuam tshuam tsis zoo rau kev ntseeg tau ntawm pob khoom.

Ua rau wafer warpage

Cov hauv qab no yog qee yam uas yuav ua rauncuav mog qab zibnplooj zeeg:

1.Kev ntxhov siab thermal:Thaum lub sijhawm ntim khoom, vim muaj kev hloov pauv ntawm qhov kub thiab txias, cov ntaub ntawv sib txawv ntawm lub wafer yuav muaj cov coefficients thermal expansion tsis sib xws, ua rau lub wafer warpage.

2.Kev tsis sib xws ntawm cov khoom siv:Thaum lub sijhawm tsim cov wafer, qhov kev faib tawm tsis sib xws ntawm cov khoom kuj tseem yuav ua rau wafer warpage. Piv txwv li, cov khoom sib txawv lossis cov tuab sib txawv hauv thaj chaw sib txawv ntawm wafer yuav ua rau wafer deform.

3.Cov txheej txheem tsis:Kev tswj tsis zoo ntawm qee cov txheej txheem hauv cov txheej txheem ntim khoom, xws li kub, av noo, cua siab, thiab lwm yam, kuj tseem yuav ua rau wafer warpage.

Kev daws teeb meem

Qee qhov kev ntsuas los tswj cov wafer warpage:

Kev txhim kho cov txheej txheem:Txo qhov kev pheej hmoo ntawm wafer warpage los ntawm kev ua kom zoo dua cov txheej txheem ntim khoom. Qhov no suav nrog kev tswj cov txheej txheem xws li kub thiab av noo, cua sov thiab txias, thiab cua siab thaum lub sijhawm ntim khoom. Kev xaiv cov txheej txheem tsim nyog tuaj yeem txo qhov cuam tshuam ntawm kev ntxhov siab thermal thiab txo qhov ua tau ntawm wafer warpage.

Kev xaiv cov khoom ntim khoom:Xaiv cov ntaub ntawv ntim khoom kom tsim nyog los txo qhov kev pheej hmoo ntawm wafer warpage. Tus coefficient thermal expansion ntawm cov ntaub ntawv ntim khoom yuav tsum phim nrog ntawm wafer los txo cov wafer deformation los ntawm kev ntxhov siab thermal. Tib lub sijhawm, cov khoom siv kho tshuab thiab kev ruaj khov ntawm cov ntaub ntawv ntim khoom kuj yuav tsum tau xav txog kom ntseeg tau tias qhov teeb meem wafer warpage tuaj yeem daws tau zoo.

Wafer tsim thiab kev tsim khoom zoo tshaj plaws:Thaum lub sijhawm tsim thiab tsim cov txheej txheem ntawm wafer, qee qhov kev ntsuas tuaj yeem ua kom txo qhov kev pheej hmoo ntawm wafer warpage. Qhov no suav nrog kev ua kom zoo dua qhov kev faib tawm ntawm cov khoom siv, tswj qhov tuab thiab qhov tiaj tiaj ntawm qhov wafer, thiab lwm yam. Los ntawm kev tswj hwm cov txheej txheem tsim khoom ntawm wafer, qhov kev pheej hmoo ntawm kev hloov pauv ntawm wafer nws tus kheej tuaj yeem txo qis.

Kev ntsuas kev tswj cua sov:Thaum lub sijhawm ntim khoom, yuav tsum muaj kev tswj cua sov kom txo tau qhov kev pheej hmoo ntawm kev tawg ntawm cov wafer. Qhov no suav nrog kev siv cov khoom siv cua sov thiab cua txias uas muaj qhov kub zoo sib xws, tswj kev hloov pauv ntawm qhov kub thiab txias thiab kev hloov pauv ntawm qhov kub, thiab siv cov txheej txheem txias kom tsim nyog. Kev tswj cua sov zoo tuaj yeem txo qhov cuam tshuam ntawm kev ntxhov siab thermal rau cov wafer thiab txo qhov ua tau ntawm kev tawg ntawm cov wafer.

Kev ntsuas kev kuaj pom thiab kev hloov kho:Thaum lub sijhawm ntim khoom, nws yog ib qho tseem ceeb heev uas yuav tsum tau kuaj xyuas thiab kho qhov tawg ntawm cov wafer tsis tu ncua. Los ntawm kev siv cov khoom siv kuaj pom tseeb, xws li cov txheej txheem ntsuas qhov muag lossis cov khoom siv kuaj tshuab, cov teeb meem tawg ntawm cov wafer tuaj yeem pom thaum ntxov thiab cov kev ntsuas kho kom haum tuaj yeem ua tau. Qhov no suav nrog kev rov kho cov txheej txheem ntim khoom, hloov cov ntaub ntawv ntim khoom, lossis kho cov txheej txheem tsim khoom wafer.

Yuav tsum nco ntsoov tias kev daws teeb meem ntawm wafer warpage yog ib txoj haujlwm nyuaj thiab yuav xav tau kev txiav txim siab ntau yam thiab rov ua kom zoo dua thiab kho dua. Hauv cov ntawv thov tiag tiag, cov kev daws teeb meem tshwj xeeb yuav txawv nyob ntawm cov yam xws li cov txheej txheem ntim khoom, cov ntaub ntawv wafer, thiab cov khoom siv. Yog li ntawd, nyob ntawm qhov xwm txheej tshwj xeeb, cov kev ntsuas tsim nyog tuaj yeem xaiv thiab ua los daws qhov teeb meem ntawm wafer warpage.