යම් ඇසුරුම්කරණ ක්රියාවලියකදී, විවිධ තාප ප්රසාරණ සංගුණක සහිත ඇසුරුම් ද්රව්ය භාවිතා කරනු ලැබේ. ඇසුරුම්කරණ ක්රියාවලියේදී, වේෆරය ඇසුරුම් උපස්ථරය මත තබා, පසුව ඇසුරුම්කරණය සම්පූර්ණ කිරීම සඳහා උණුසුම සහ සිසිලන පියවර සිදු කරනු ලැබේ. කෙසේ වෙතත්, ඇසුරුම් ද්රව්යයේ තාප ප්රසාරණ සංගුණකය සහ වේෆරය අතර නොගැලපීම හේතුවෙන්, තාප ආතතිය වේෆරය විකෘති වීමට හේතු වේ. සංස්කාරක සමඟ පැමිණ බලන්න~
වේෆර් වෝර්පේජ් යනු කුමක්ද??
වේෆර්warpage යනු ඇසුරුම් ක්රියාවලියේදී වේෆරය නැමීම හෝ ඇඹරීමයි.වේෆර්ඇසුරුම්කරණ ක්රියාවලියේදී warpage එක පෙළගැස්වීමේ අපගමනය, වෙල්ඩින් ගැටළු සහ උපාංග ක්රියාකාරිත්වය පිරිහීමට හේතු විය හැක.
අඩු කළ ඇසුරුම් නිරවද්යතාවය:වේෆර්warpage ඇසුරුම් ක්රියාවලියේදී පෙළගැස්මේ අපගමනය ඇති කළ හැකිය. ඇසුරුම් ක්රියාවලියේදී වේෆරය විකෘති වූ විට, චිපය සහ ඇසුරුම් කරන ලද උපාංගය අතර පෙළගැස්මට බලපෑම් ඇති විය හැකි අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස සම්බන්ධක අල්ෙපෙනති හෝ පෑස්සුම් සන්ධි නිවැරදිව පෙළගස්වා ගැනීමට නොහැකි වේ. මෙය ඇසුරුම්කරණ නිරවද්යතාවය අඩු කරන අතර අස්ථායී හෝ විශ්වාස කළ නොහැකි උපාංග ක්රියාකාරිත්වයට හේතු විය හැක.
යාන්ත්රික ආතතිය වැඩි වීම:වේෆර්warpage මඟින් අමතර යාන්ත්රික ආතතියක් ඇති කරයි. වේෆරයේම විරූපණය හේතුවෙන්, ඇසුරුම් ක්රියාවලියේදී යොදන යාන්ත්රික ආතතිය වැඩි විය හැක. මෙය වේෆරය තුළ ආතති සාන්ද්රණය ඇති කිරීමට, උපාංගයේ ද්රව්ය හා ව්යුහයට අහිතකර ලෙස බලපෑ හැකි අතර අභ්යන්තර වේෆර හානි හෝ උපාංග අසාර්ථක වීමට පවා හේතු විය හැක.
කාර්ය සාධනය පිරිහීම:වේෆර් විකෘති කිරීම උපාංගයේ ක්රියාකාරිත්වය පිරිහීමට හේතු විය හැක. වේෆරයේ සංරචක සහ පරිපථ සැකැස්ම පැතලි මතුපිටක් මත පදනම්ව නිර්මාණය කර ඇත. වේෆර් විකෘති වුවහොත්, එය උපාංග අතර විදුලි සම්බන්ධතාවය, සංඥා සම්ප්රේෂණය සහ තාප කළමනාකරණයට බලපෑ හැකිය. මෙය උපාංගයේ විදුලි ක්රියාකාරිත්වය, වේගය, බල පරිභෝජනය හෝ විශ්වසනීයත්වය පිළිබඳ ගැටළු ඇති කළ හැකිය.
වෙල්ඩින් ගැටළු:වේෆර් විකෘති වීම වෙල්ඩින් ගැටළු ඇති කළ හැකිය. වෙල්ඩින් ක්රියාවලියේදී, වේෆරය නැමී හෝ ඇඹරී ඇත්නම්, වෙල්ඩින් ක්රියාවලියේදී බලය බෙදා හැරීම අසමාන විය හැකි අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස පෑස්සුම් සන්ධිවල ගුණාත්මකභාවය දුර්වල වීම හෝ පෑස්සුම් සන්ධිය කැඩී යාම පවා සිදුවිය හැකිය. මෙය පැකේජයේ විශ්වසනීයත්වයට අහිතකර ලෙස බලපානු ඇත.
වේෆර් විකෘති වීමට හේතු
හේතු විය හැකි සාධක කිහිපයක් පහත දැක්වේවේෆර්යුධ පිටුව:
1.තාප ආතතිය:ඇසුරුම්කරණ ක්රියාවලියේදී, උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් හේතුවෙන්, වේෆරයේ ඇති විවිධ ද්රව්යවල නොගැලපෙන තාප ප්රසාරණ සංගුණක ඇති අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස වේෆර් විකෘති වීමට හේතු වේ.
2.ද්රව්ය අසමානතාවය:වේෆර් නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී, ද්රව්යවල අසමාන ව්යාප්තිය ද වේෆර් විකෘති වීමට හේතු විය හැක. උදාහරණයක් ලෙස, වේෆරයේ විවිධ ප්රදේශවල විවිධ ද්රව්ය ඝනත්වයන් හෝ ඝනකම් වේෆරය විකෘති කිරීමට හේතු වේ.
3.ක්රියාවලි පරාමිතීන්:ඇසුරුම්කරණ ක්රියාවලියේදී උෂ්ණත්වය, ආර්ද්රතාවය, වායු පීඩනය යනාදිය වැනි සමහර ක්රියාවලි පරාමිතීන් නුසුදුසු ලෙස පාලනය කිරීම ද වේෆර් විකෘති වීමට හේතු විය හැක.
විසඳුමක්
වේෆර් විකෘති වීම පාලනය කිරීමට පියවර කිහිපයක්:
ක්රියාවලි ප්රශස්තිකරණය:ඇසුරුම්කරණ ක්රියාවලි පරාමිතීන් ප්රශස්ත කිරීම මගින් වේෆර් විකෘති වීමේ අවදානම අඩු කරන්න. ඇසුරුම්කරණ ක්රියාවලියේදී උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්රතාවය, උණුසුම සහ සිසිලන අනුපාත සහ වායු පීඩනය වැනි පරාමිතීන් පාලනය කිරීම මෙයට ඇතුළත් වේ. ක්රියාවලි පරාමිතීන් සාධාරණ ලෙස තෝරා ගැනීමෙන් තාප ආතතියේ බලපෑම අඩු කළ හැකි අතර වේෆර් විකෘති වීමේ හැකියාව අඩු කළ හැකිය.
ඇසුරුම් ද්රව්ය තේරීම:වේෆර් විකෘති වීමේ අවදානම අඩු කිරීම සඳහා සුදුසු ඇසුරුම් ද්රව්ය තෝරන්න. තාප ආතතිය නිසා ඇතිවන වේෆර් විරූපණය අඩු කිරීම සඳහා ඇසුරුම් ද්රව්යයේ තාප ප්රසාරණ සංගුණකය වේෆර් එකට සමාන විය යුතුය. ඒ සමඟම, වේෆර් විකෘති කිරීමේ ගැටළුව ඵලදායී ලෙස සමනය කළ හැකි බව සහතික කිරීම සඳහා ඇසුරුම් ද්රව්යයේ යාන්ත්රික ගුණාංග සහ ස්ථායිතාව ද සලකා බැලිය යුතුය.
වේෆර් නිර්මාණය සහ නිෂ්පාදන ප්රශස්තිකරණය:වේෆරය සැලසුම් කිරීමේදී සහ නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී, වේෆර් විකෘති වීමේ අවදානම අඩු කිරීම සඳහා යම් යම් පියවර ගත හැකිය. මෙයට ද්රව්යයේ ඒකාකාර ව්යාප්තිය ප්රශස්ත කිරීම, වේෆරයේ ඝණකම සහ මතුපිට සමතලා බව පාලනය කිරීම යනාදිය ඇතුළත් වේ. වේෆරයේ නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය නිවැරදිව පාලනය කිරීමෙන්, වේෆරයම විරූපණය වීමේ අවදානම අඩු කළ හැකිය.
තාප කළමනාකරණ පියවර:ඇසුරුම්කරණ ක්රියාවලියේදී, වේෆර් විකෘති වීමේ අවදානම අඩු කිරීම සඳහා තාප කළමනාකරණ පියවර ගනු ලැබේ. මෙයට හොඳ උෂ්ණත්ව ඒකාකාරිත්වයක් සහිත තාපන සහ සිසිලන උපකරණ භාවිතා කිරීම, උෂ්ණත්ව අනුක්රමණ සහ උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් අනුපාත පාලනය කිරීම සහ සුදුසු සිසිලන ක්රම භාවිතා කිරීම ඇතුළත් වේ. ඵලදායී තාප කළමනාකරණය මඟින් වේෆර් මත තාප ආතතියේ බලපෑම අඩු කළ හැකි අතර වේෆර් විකෘති වීමේ හැකියාව අඩු කළ හැකිය.
හඳුනාගැනීමේ සහ ගැලපුම් පියවර:ඇසුරුම්කරණ ක්රියාවලියේදී, වේෆර් යුධ පිටුව නිතිපතා හඳුනාගෙන සකස් කිරීම ඉතා වැදගත් වේ. දෘශ්ය මිනුම් පද්ධති හෝ යාන්ත්රික පරීක්ෂණ උපාංග වැනි ඉහළ නිරවද්යතා හඳුනාගැනීමේ උපකරණ භාවිතා කිරීමෙන්, වේෆර් යුධ පිටු ගැටළු කලින් හඳුනාගත හැකි අතර ඊට අනුරූප ගැලපුම් පියවර ගත හැකිය. මෙයට ඇසුරුම් පරාමිතීන් නැවත සකස් කිරීම, ඇසුරුම් ද්රව්ය වෙනස් කිරීම හෝ වේෆර් නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය සකස් කිරීම ඇතුළත් විය හැකිය.
වේෆර් වෝර්පේජ් ගැටළුව විසඳීම සංකීර්ණ කාර්යයක් බවත්, බහු සාධක පිළිබඳ පුළුල් සලකා බැලීමක් සහ නැවත නැවත ප්රශස්තිකරණය සහ ගැලපීම අවශ්ය විය හැකි බවත් සැලකිල්ලට ගත යුතුය. සැබෑ යෙදුම් වලදී, ඇසුරුම් ක්රියාවලීන්, වේෆර් ද්රව්ය සහ උපකරණ වැනි සාධක මත පදනම්ව නිශ්චිත විසඳුම් වෙනස් විය හැකිය. එබැවින්, නිශ්චිත තත්ත්වය අනුව, වේෆර් වෝර්පේජ් ගැටළුව විසඳීම සඳහා සුදුසු පියවර තෝරාගෙන ගත හැකිය.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-16-2024