ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫିର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା

ପ୍ରତ୍ୟେକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦର ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଶହ ଶହ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକ। ଆମେ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ଆଠଟି ପଦକ୍ଷେପରେ ବିଭକ୍ତ କରୁ:ୱାଫରପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ-ଅକ୍ସିଡେସନ-ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି-ଏଚିଂ-ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା-ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ ବୃଦ୍ଧି-ପ୍ରସାରଣ-ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ।
ଆପଣଙ୍କୁ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏବଂ ସମ୍ବନ୍ଧିତ ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକୁ ବୁଝିବା ଏବଂ ଚିହ୍ନିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରିବା ପାଇଁ, ଆମେ ପ୍ରତ୍ୟେକ ସଂଖ୍ୟାରେ WeChat ଆର୍ଟିକିଲଗୁଡ଼ିକୁ ଉପରୋକ୍ତ ପ୍ରତ୍ୟେକ ପଦକ୍ଷେପକୁ ଗୋଟିଏ ଗୋଟିଏ କରି ପରିଚିତ କରାଇବାକୁ ପ୍ରେରଣା ଦେବୁ।
ପୂର୍ବ ଲେଖାରେ, ଏହା ଉଲ୍ଲେଖ କରାଯାଇଥିଲା ଯେ ସୁରକ୍ଷା ପାଇଁୱାଫରବିଭିନ୍ନ ଅଶୁଦ୍ଧତାରୁ, ଏକ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଫିଲ୍ମ ତିଆରି ହୋଇଥିଲା - ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା। ଆଜି ଆମେ ଅକ୍ସିଡେଣ୍ଟ୍ ଡିଜାଇନ୍ ସର୍କିଟ୍ ସହିତ ୱେଫରରେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଡିଜାଇନ୍ ସର୍କିଟ୍ ଫଟୋଗ୍ରାଫ୍ କରିବାର "ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟା" ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରିବୁ।

 

ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟା

 

୧. ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟା କ’ଣ?

ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ସର୍କିଟ୍ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡ଼ିକୁ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି କରିବା।
ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଗତ ଆଲୋକକୁ ଏକ ପ୍ୟାଟର୍ନ ସହିତ ଏକ ମାସ୍କ ମାଧ୍ୟମରେ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ଆବୃତ ପତଳା ଫିଲ୍ମକୁ ପ୍ରକାଶ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ। ଆଲୋକ ଦେଖିବା ପରେ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ଏହାର ଗୁଣ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବ, ଯାହା ଦ୍ୱାରା ମାସ୍କରେ ଥିବା ପ୍ୟାଟର୍ନକୁ ପତଳା ଫିଲ୍ମରେ କପି କରାଯିବ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ପତଳା ଫିଲ୍ମଟି ଏକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସର୍କିଟ୍ ଡାଇଗ୍ରାମର କାର୍ଯ୍ୟ କରିବ। ଏହା କ୍ୟାମେରା ସାହାଯ୍ୟରେ ଫଟୋ ଉଠାଇବା ସହିତ ସମାନ, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫିର ଭୂମିକା। କ୍ୟାମେରା ଦ୍ୱାରା ଉଠାଯାଇଥିବା ଫଟୋଗୁଡ଼ିକ ଫିଲ୍ମରେ ମୁଦ୍ରିତ ହୋଇଥାଏ, ଯେତେବେଳେ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଫଟୋଗୁଡ଼ିକୁ ଖୋଦନ କରେ ନାହିଁ, ବରଂ ସର୍କିଟ୍ ଡାଇଗ୍ରାମ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରକାଶ କରେ।

ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଏକ ସଠିକ ମାଇକ୍ରୋ-ଯନ୍ତ୍ରପାତିର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା

ପାରମ୍ପରିକ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଯାହା 2000 ରୁ 4500 ଆଙ୍ଗଷ୍ଟ୍ରମ୍ ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ ବିଶିଷ୍ଟ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଆଲୋକକୁ ପ୍ରତିଛବି ସୂଚନା ବାହକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରେ ଏବଂ ଗ୍ରାଫିକ୍ସର ରୂପାନ୍ତର, ସ୍ଥାନାନ୍ତର ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ମଧ୍ୟବର୍ତ୍ତୀ (ପ୍ରତିଛବି ରେକର୍ଡିଂ) ମାଧ୍ୟମ ଭାବରେ ଫଟୋରେଜିଷ୍ଟକୁ ବ୍ୟବହାର କରେ ଏବଂ ଶେଷରେ ଚିପ୍ (ମୁଖ୍ୟତଃ ସିଲିକନ୍ ଚିପ୍) କିମ୍ବା ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରକୁ ପ୍ରତିଛବି ସୂଚନା ପଠାଏ।
ଏହା କୁହାଯାଇପାରେ ଯେ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ହେଉଛି ଆଧୁନିକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ, ମାଇକ୍ରୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଏବଂ ସୂଚନା ଶିଳ୍ପର ମୂଳଦୁଆ, ଏବଂ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସିଧାସଳଖ ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାର ବିକାଶ ସ୍ତର ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ।
୧୯୫୯ ମସିହାରେ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟର ସଫଳ ଉଦ୍ଭାବନ ପରଠାରୁ ୬୦ ବର୍ଷରୁ ଅଧିକ ସମୟ ମଧ୍ୟରେ, ଏହାର ଗ୍ରାଫିକ୍ସର ରେଖା ପ୍ରସ୍ଥ ପ୍ରାୟ ଚାରି ପରିମାଣ ହ୍ରାସ ପାଇଛି, ଏବଂ ସର୍କିଟ ଏକୀକରଣକୁ ଛଅ ପରିମାଣରୁ ଅଧିକ ପରିମାଣରେ ଉନ୍ନତ କରାଯାଇଛି। ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାର ଦ୍ରୁତ ଅଗ୍ରଗତି ମୁଖ୍ୟତଃ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫିର ବିକାଶକୁ ଦାୟୀ କରାଯାଇଛି।

(ସମଗ୍ର ସର୍କିଟ୍ ନିର୍ମାଣର ବିକାଶର ବିଭିନ୍ନ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା)

 

୨. ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫିର ମୌଳିକ ନୀତି

ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସାମଗ୍ରୀ ସାଧାରଣତଃ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟଗୁଡ଼ିକୁ ବୁଝାଏ, ଯାହାକୁ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ମଧ୍ୟ କୁହାଯାଏ, ଯାହା ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫିରେ ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ସାମଗ୍ରୀ। ଏହି ପ୍ରକାରର ସାମଗ୍ରୀରେ ଆଲୋକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ (ଦୃଶ୍ୟମାନ ଆଲୋକ, ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଆଲୋକ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ବିମ୍, ଇତ୍ୟାଦି) ରହିଛି। ଫଟୋରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପରେ, ଏହାର ଦ୍ରବଣୀୟତା ଯଥେଷ୍ଟ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ।
ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ, ଡେଭଲପରଙ୍କଠାରେ ସକାରାତ୍ମକ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟର ଦ୍ରବଣୀୟତା ବୃଦ୍ଧି ପାଏ, ଏବଂ ପ୍ରାପ୍ତ ପ୍ୟାଟର୍ଣ୍ଣ ମାସ୍କ ସହିତ ସମାନ; ନକାରାତ୍ମକ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ଏହାର ବିପରୀତ, ଅର୍ଥାତ୍, ଡେଭଲପରଙ୍କ ସମ୍ମୁଖକୁ ଆସିବା ପରେ ଦ୍ରବଣୀୟତା ହ୍ରାସ ପାଏ କିମ୍ବା ଅଦ୍ରବଣୀୟ ମଧ୍ୟ ହୋଇଯାଏ, ଏବଂ ପ୍ରାପ୍ତ ପ୍ୟାଟର୍ଣ୍ଣ ମାସ୍କର ବିପରୀତ। ଦୁଇ ପ୍ରକାରର ଫଟୋରେସିଷ୍ଟର ପ୍ରୟୋଗ କ୍ଷେତ୍ର ଭିନ୍ନ। ସକାରାତ୍ମକ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟଗୁଡ଼ିକ ଅଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯାହା ମୋଟର 80% ରୁ ଅଧିକ ଅଟେ।

ଉପରୋକ୍ତ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଏକ ଯୋଜନାବଦ୍ଧ ଚିତ୍ର ଅଟେ।

 

(୧) ଗ୍ଲୁଇଂ:

ଅର୍ଥାତ୍, ଏକ ସମାନ ଘନତା, ଦୃଢ଼ ଆବଦ୍ଧତା ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରରେ କୌଣସି ତ୍ରୁଟି ନ ଥିବା ଏକ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ଫିଲ୍ମ ଗଠନ କରିବା। ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ମଧ୍ୟରେ ଆବଦ୍ଧତା ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ, ପ୍ରଥମେ ହେକ୍ସାମେଥାଇଲଡିସିଲାଜେନ୍ (HMDS) ଏବଂ ଟ୍ରାଇମେଥାଇଲସିଲିଡାଇଥାଇଲାମାଇନ୍ (TMSDEA) ଭଳି ପଦାର୍ଥ ସହିତ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ। ତା'ପରେ, ସ୍ପିନ୍ ଆବରଣ ଦ୍ୱାରା ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଏ।

(୨) ପୂର୍ବରୁ ବେକିଂ:

ସ୍ପିନ୍ ଆବରଣ ପରେ, ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ଫିଲ୍ମରେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପରିମାଣର ଦ୍ରାବକ ରହିଥାଏ। ଅଧିକ ତାପମାତ୍ରାରେ ବେକିଂ କରିବା ପରେ, ଦ୍ରାବକକୁ ଯଥାସମ୍ଭବ କମ ବାହାର କରାଯାଇପାରିବ। ପ୍ରି-ବେକିଂ ପରେ, ଫଟୋରେସିଷ୍ଟର ପରିମାଣ ପ୍ରାୟ 5% କୁ ହ୍ରାସ ପାଇଥାଏ।

(3) ପ୍ରକାଶନ:

ଅର୍ଥାତ୍, ଫଟୋରେଜିଷ୍ଟ ଆଲୋକର ସାମ୍ନା କରେ। ଏହି ସମୟରେ, ଏକ ଫଟୋ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଘଟେ, ଏବଂ ଆଲୋକିତ ଅଂଶ ଏବଂ ଅଣ-ଆଲୋକିତ ଅଂଶ ମଧ୍ୟରେ ଦ୍ରବଣୀୟତା ପାର୍ଥକ୍ୟ ଘଟେ।

(୪) ବିକାଶ ଏବଂ କଠିନତା:

ଉତ୍ପାଦଟି ଡେଭଲପରଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ ବୁଡ଼ି ଯାଇଥାଏ। ଏହି ସମୟରେ, ସକାରାତ୍ମକ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟର ଖୋଲା କ୍ଷେତ୍ର ଏବଂ ନକାରାତ୍ମକ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟର ଖୋଲା ନ ଥିବା ଅଞ୍ଚଳ ବିକାଶରେ ଦ୍ରବୀଭୂତ ହୋଇଯିବ। ଏହା ଏକ ତ୍ରି-ପରିମାଣୀୟ ପ୍ୟାଟର୍ନ ଉପସ୍ଥାପନ କରେ। ବିକାଶ ପରେ, ଚିପ୍‌କୁ ଏକ କଠିନ ଫିଲ୍ମ ହେବା ପାଇଁ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଚିକିତ୍ସା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକ, ଯାହା ମୁଖ୍ୟତଃ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟର ଆବଦ୍ଧତାକୁ ଆହୁରି ବୃଦ୍ଧି କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।

(5) ଖୋଦନ:

ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ତଳେ ଥିବା ସାମଗ୍ରୀକୁ ଖୋଳାଯାଇଥାଏ। ଏଥିରେ ତରଳ ଓଦା ଖୋଳା ଏବଂ ଗ୍ୟାସୀୟ ଶୁଷ୍କ ଖୋଳା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ସିଲିକନର ଓଦା ଖୋଳା ପାଇଁ, ହାଇଡ୍ରୋଫ୍ଲୋରିକ୍ ​​ଏସିଡର ଏକ ଏସିଡିକ୍ ଜଳୀୟ ଦ୍ରବଣ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ; ତମ୍ବାର ଓଦା ଖୋଳା ପାଇଁ, ନାଇଟ୍ରିକ୍ ଏସିଡ୍ ଏବଂ ସଲଫ୍ୟୁରିକ୍ ଏସିଡ୍ ଭଳି ଏକ ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଏସିଡ୍ ଦ୍ରବଣ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ଯେତେବେଳେ ଶୁଷ୍କ ଖୋଳା ପ୍ରାୟତଃ ପ୍ଲାଜ୍ମା କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଆୟନ୍ ବିମ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠକୁ କ୍ଷତି ପହଞ୍ଚାଏ ଏବଂ ଏହାକୁ ଖୋଳାଯାଏ।

(6) ଡିଗମିଂ:

ଶେଷରେ, ଲେନ୍ସର ପୃଷ୍ଠରୁ ଫଟୋରେଜିଷ୍ଟକୁ ବାହାର କରିବାକୁ ପଡିବ। ଏହି ପଦକ୍ଷେପକୁ ଡିଗମିଂ କୁହାଯାଏ।

ସମସ୍ତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ ସୁରକ୍ଷା ହେଉଛି ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରସଙ୍ଗ। ଚିପ୍ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ମୁଖ୍ୟ ବିପଦପୂର୍ଣ୍ଣ ଏବଂ କ୍ଷତିକାରକ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ନିମ୍ନଲିଖିତ:

 

୧. ହାଇଡ୍ରୋଜେନ ପେରଅକ୍ସାଇଡ୍

ହାଇଡ୍ରୋଜେନ ପେରକ୍ସାଇଡ୍ (H2O2) ଏକ ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଅକ୍ସିଡାଣ୍ଟ। ସିଧାସଳଖ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଲେ ଚର୍ମ ଏବଂ ଆଖି ପ୍ରଦାହ ଏବଂ ପୋଡ଼ାଜଳା ହୋଇପାରେ।

 

୨. ଜାଇଲିନ୍

ଜାଇଲିନ୍ ହେଉଛି ଏକ ଦ୍ରାବକ ଏବଂ ଡେଭଲପର୍ ଯାହା ନକାରାତ୍ମକ ଲିଥୋଗ୍ରାଫିରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହା ଜ୍ୱଳନଶୀଳ ଏବଂ ଏହାର ତାପମାତ୍ରା ମାତ୍ର ୨୭.୩ ℃ (ପ୍ରାୟ କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରା) କମ୍। ବାୟୁରେ ଏହାର ସାନ୍ଦ୍ରତା ୧%-୭% ହେଲେ ଏହା ବିସ୍ଫୋରକ ହୋଇଥାଏ। ଜାଇଲିନ୍ ସହିତ ବାରମ୍ବାର ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଲେ ଚର୍ମ ପ୍ରଦାହ ହୋଇପାରେ। ଜାଇଲିନ୍ ବାଷ୍ପ ମିଠା, ବିମାନ ଟାକର ଗନ୍ଧ ପରି; ଜାଇଲିନ୍ ସହିତ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଲେ ଆଖି, ନାକ ଏବଂ ଗଳା ପ୍ରଦାହ ହୋଇପାରେ। ଗ୍ୟାସ୍ ନିଶ୍ୱାସ ନେବା ଦ୍ୱାରା ମୁଣ୍ଡବିନ୍ଧା, ମୁଣ୍ଡ ବୁଲାଇବା, ଭୋକ ନ ଲାଗିବା ଏବଂ ଥକ୍କା ଲାଗିପାରେ।

 

୩. ହେକ୍ସାମିଥାଇଲଡିସିଲାଜେନ (HMDS)

ଉତ୍ପାଦର ପୃଷ୍ଠରେ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟର ଆବଦ୍ଧତା ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ହେକ୍ସାମିଥାଇଲଡିସିଲାଜେନ (HMDS) ସାଧାରଣତଃ ଏକ ପ୍ରାଇମର ସ୍ତର ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହା ଜ୍ୱଳନଶୀଳ ଏବଂ ଏହାର ଫ୍ଲାସ୍ ପଏଣ୍ଟ 6.7°C। ବାୟୁରେ ଏହାର ସାନ୍ଦ୍ରତା 0.8%-16% ହେଲେ ଏହା ବିସ୍ଫୋରକ ହୋଇଥାଏ। HMDS ଆମୋନିଆ ମୁକ୍ତ କରିବା ପାଇଁ ପାଣି, ଆଲକୋହଲ ଏବଂ ଖଣିଜ ଏସିଡ୍ ସହିତ କଠିନ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରେ।

 

୪. ଟେଟ୍ରାମିଥାଇଲଆମୋନିୟମ ହାଇଡ୍ରୋକ୍ସାଇଡ୍

ଟେଟ୍ରାମିଥାଇଲମୋନିୟମ୍ ହାଇଡ୍ରୋକ୍ସାଇଡ୍ (TMAH) ପଜିଟିଭ୍ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପାଇଁ ଏକ ଡେଭଲପର୍ ଭାବରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହା ବିଷାକ୍ତ ଏବଂ କ୍ଷୟକାରୀ। ଗିଳିଲେ କିମ୍ବା ଚର୍ମ ସହିତ ସିଧାସଳଖ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଲେ ଏହା ଘାତକ ହୋଇପାରେ। TMAH ଧୂଳି କିମ୍ବା କୁହୁଡ଼ି ସହିତ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଲେ ଆଖି, ଚର୍ମ, ନାକ ଏବଂ ଗଳାରେ ପ୍ରଦାହ ହୋଇପାରେ। TMAH ର ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତା ନିଶ୍ୱାସ ନେବା ମୃତ୍ୟୁର କାରଣ ହେବ।

 

୫. କ୍ଲୋରିନ୍ ଏବଂ ଫ୍ଲୋରିନ୍

କ୍ଲୋରିନ୍ (Cl2) ଏବଂ ଫ୍ଲୋରିନ୍ (F2) ଉଭୟକୁ ଏକ୍ସାଇମର୍ ଲେଜରରେ ଗଭୀର ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଏବଂ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ (EUV) ଆଲୋକ ଉତ୍ସ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ। ଉଭୟ ଗ୍ୟାସ୍ ବିଷାକ୍ତ, ହାଲୁକା ସବୁଜ ଦେଖାଯାଏ ଏବଂ ଏକ ତୀବ୍ର ଉତ୍ତେଜନା ସୃଷ୍ଟିକାରୀ ଗନ୍ଧ ଥାଏ। ଏହି ଗ୍ୟାସ୍ ର ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତାକୁ ନିଶ୍ୱାସ ନେବା ଦ୍ଵାରା ମୃତ୍ୟୁ ହୋଇପାରେ। ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ପାଣି ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଏକ ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଏସିଡ୍ ଯାହା ଚର୍ମ, ଆଖି ଏବଂ ଶ୍ୱାସକ୍ରିୟାକୁ ଉତ୍ତେଜିତ କରିଥାଏ ଏବଂ ପୋଡ଼ାଜଳା ଏବଂ ନିଶ୍ୱାସ ନେବାରେ କଷ୍ଟ ଭଳି ଲକ୍ଷଣ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ର ଅଧିକ ସାନ୍ଦ୍ରତା ମାନବ ଶରୀରରେ ବିଷ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ଯାହା ମୁଣ୍ଡବିନ୍ଧା, ବାନ୍ତି, ଡାଇରିଆ ଏବଂ କୋମା ଭଳି ଲକ୍ଷଣ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ।

 

୬. ଆର୍ଗନ୍

ଆର୍ଗନ୍ (Ar) ଏକ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ୍ ଯାହା ସାଧାରଣତଃ ମାନବ ଶରୀରକୁ ସିଧାସଳଖ କ୍ଷତି ପହଞ୍ଚାଏ ନାହିଁ। ସାଧାରଣ ପରିସ୍ଥିତିରେ, ଲୋକମାନେ ନିଶ୍ୱାସ ନେଉଥିବା ବାୟୁରେ ପ୍ରାୟ 0.93% ଆର୍ଗନ୍ ଥାଏ, ଏବଂ ଏହି ସାନ୍ଦ୍ରତା ମାନବ ଶରୀର ଉପରେ କୌଣସି ସ୍ପଷ୍ଟ ପ୍ରଭାବ ପକାଏ ନାହିଁ। ତଥାପି, କିଛି କ୍ଷେତ୍ରରେ, ଆର୍ଗନ୍ ମାନବ ଶରୀରକୁ କ୍ଷତି ପହଞ୍ଚାଇପାରେ।
ଏଠାରେ କିଛି ସମ୍ଭାବ୍ୟ ପରିସ୍ଥିତି ଅଛି: ଏକ ସୀମିତ ସ୍ଥାନରେ, ଆର୍ଗନର ଘନତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇପାରେ, ଯାହା ଫଳରେ ବାୟୁରେ ଅମ୍ଳଜାନ ଘନତା ହ୍ରାସ ପାଇ ହାଇପକ୍ସିଆ ହୋଇପାରେ। ଏହା ମୁଣ୍ଡ ବୁଲାଇବା, ଥକ୍କାପଣ ଏବଂ ଶ୍ୱାସକ୍ରିୟା କଷ୍ଟ ଭଳି ଲକ୍ଷଣ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ଏହା ସହିତ, ଆର୍ଗନ ଏକ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ, କିନ୍ତୁ ଏହା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ ଚାପରେ ବିସ୍ଫୋରଣ ହୋଇପାରେ।

 

୭. ନିଓନ୍

ନିଓନ୍ (Ne) ଏକ ସ୍ଥିର, ରଙ୍ଗହୀନ ଏବଂ ଗନ୍ଧହୀନ ଗ୍ୟାସ୍ ଯାହା ଏଥିରେ ଅଂଶଗ୍ରହଣ କରେ ନାହିଁ। ନିଓନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ମଣିଷର ଶ୍ୱାସକ୍ରିୟା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସାମିଲ ନୁହେଁ, ତେଣୁ ନିଓନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ର ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତାରେ ନିଶ୍ୱାସ ନେବା ଦ୍ୱାରା ହାଇପୋକ୍ସିଆ ହେବ। ଯଦି ଆପଣ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି ହାଇପୋକ୍ସିଆ ଅବସ୍ଥାରେ ଅଛନ୍ତି, ତେବେ ଆପଣ ମୁଣ୍ଡବିନ୍ଧା, ବାନ୍ତି ଏବଂ ବାନ୍ତି ଭଳି ଲକ୍ଷଣ ଅନୁଭବ କରିପାରନ୍ତି। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ନିଓନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ ଚାପରେ ଅନ୍ୟ ପଦାର୍ଥ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ନିଆଁ କିମ୍ବା ବିସ୍ଫୋରଣ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ।

 

୮. ଜେନନ୍ ଗ୍ୟାସ୍

ଜେନନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ (Xe) ଏକ ସ୍ଥିର, ରଙ୍ଗହୀନ ଏବଂ ଗନ୍ଧହୀନ ଗ୍ୟାସ୍ ଯାହା ମଣିଷର ଶ୍ୱାସକ୍ରିୟା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଅଂଶଗ୍ରହଣ କରେ ନାହିଁ, ତେଣୁ ଜେନନ୍ ଗ୍ୟାସର ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତାରେ ଶ୍ୱାସକ୍ରିୟା କରିବା ଦ୍ୱାରା ହାଇପୋକ୍ସିଆ ହେବ। ଯଦି ଆପଣ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି ହାଇପୋକ୍ସିଆ ଅବସ୍ଥାରେ ଅଛନ୍ତି, ତେବେ ଆପଣ ମୁଣ୍ଡବିନ୍ଧା, ବାନ୍ତି ଏବଂ ବାନ୍ତି ଭଳି ଲକ୍ଷଣ ଅନୁଭବ କରିପାରନ୍ତି। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ନିଅନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ ଚାପରେ ଅନ୍ୟ ପଦାର୍ଥ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ନିଆଁ କିମ୍ବା ବିସ୍ଫୋରଣ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ।

 

୯. କ୍ରିପ୍ଟନ୍ ଗ୍ୟାସ୍

କ୍ରିପ୍ଟନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ (Kr) ଏକ ସ୍ଥିର, ରଙ୍ଗହୀନ ଏବଂ ଗନ୍ଧହୀନ ଗ୍ୟାସ୍ ଯାହା ମଣିଷର ଶ୍ୱାସକ୍ରିୟା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଅଂଶଗ୍ରହଣ କରେ ନାହିଁ, ତେଣୁ କ୍ରିପ୍ଟନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ର ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତାରେ ଶ୍ୱାସ ନେବା ଦ୍ୱାରା ହାଇପୋକ୍ସିଆ ହୋଇପାରେ। ଯଦି ଆପଣ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି ହାଇପୋକ୍ସିଆ ଅବସ୍ଥାରେ ଅଛନ୍ତି, ତେବେ ଆପଣ ମୁଣ୍ଡବିନ୍ଧା, ବାନ୍ତି ଏବଂ ବାନ୍ତି ଭଳି ଲକ୍ଷଣ ଅନୁଭବ କରିପାରନ୍ତି। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ଜେନନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ ଚାପରେ ଅନ୍ୟ ପଦାର୍ଥ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ନିଆଁ କିମ୍ବା ବିସ୍ଫୋରଣ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ଅମ୍ଳଜାନ ଅଭାବ ଥିବା ପରିବେଶରେ ଶ୍ୱାସ ନେବା ଦ୍ୱାରା ହାଇପୋକ୍ସିଆ ହୋଇପାରେ। ଯଦି ଆପଣ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି ହାଇପୋକ୍ସିଆ ଅବସ୍ଥାରେ ଅଛନ୍ତି, ତେବେ ଆପଣ ମୁଣ୍ଡବିନ୍ଧା, ବାନ୍ତି ଏବଂ ବାନ୍ତି ଭଳି ଲକ୍ଷଣ ଅନୁଭବ କରିପାରନ୍ତି। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, କ୍ରିପ୍ଟନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ ଚାପରେ ଅନ୍ୟ ପଦାର୍ଥ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ନିଆଁ କିମ୍ବା ବିସ୍ଫୋରଣ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ।

 

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ ପାଇଁ ବିପଦପୂର୍ଣ୍ଣ ଗ୍ୟାସ୍ ଚିହ୍ନଟ ସମାଧାନ

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପରେ ଜ୍ୱଳନଶୀଳ, ବିସ୍ଫୋରକ, ବିଷାକ୍ତ ଏବଂ କ୍ଷତିକାରକ ଗ୍ୟାସର ଉତ୍ପାଦନ, ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ଲାଣ୍ଟଗୁଡ଼ିକରେ ଗ୍ୟାସର ବ୍ୟବହାରକାରୀ ଭାବରେ, ପ୍ରତ୍ୟେକ କର୍ମଚାରୀ ସଦସ୍ୟ ବ୍ୟବହାର ପୂର୍ବରୁ ବିଭିନ୍ନ ବିପଦପୂର୍ଣ୍ଣ ଗ୍ୟାସର ସୁରକ୍ଷା ତଥ୍ୟ ବୁଝିବା ଉଚିତ ଏବଂ ଏହି ଗ୍ୟାସଗୁଡିକ ଲିକ୍ ହେଲେ ଜରୁରୀକାଳୀନ ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକର ମୁକାବିଲା କିପରି କରିବେ ତାହା ଜାଣିବା ଉଚିତ।
ଏହି ବିପଦପୂର୍ଣ୍ଣ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକର ଲିକେଜ୍ ଯୋଗୁଁ ହେଉଥିବା ଜୀବନ ଏବଂ ସମ୍ପତ୍ତିର କ୍ଷତିକୁ ଏଡାଇବା ପାଇଁ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପର ଉତ୍ପାଦନ, ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ସଂରକ୍ଷଣରେ, ଲକ୍ଷ୍ୟ ଗ୍ୟାସ ଚିହ୍ନଟ କରିବା ପାଇଁ ଗ୍ୟାସ ଚିହ୍ନଟ ଯନ୍ତ୍ର ସ୍ଥାପନ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ।

ଆଜିର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପରେ ଗ୍ୟାସ୍ ଡିଟେକ୍ଟରଗୁଡ଼ିକ ଏକ ଜରୁରୀ ପରିବେଶଗତ ପର୍ଯ୍ୟବେକ୍ଷଣ ଉପକରଣ ପାଲଟିଛି, ଏବଂ ଏହା ସବୁଠାରୁ ସିଧାସଳଖ ପର୍ଯ୍ୟବେକ୍ଷଣ ଉପକରଣ ମଧ୍ୟ।
ରିକେନ୍ କେକି ସର୍ବଦା ଲୋକମାନଙ୍କ ପାଇଁ ଏକ ସୁରକ୍ଷିତ କାର୍ଯ୍ୟ ପରିବେଶ ସୃଷ୍ଟି କରିବାର ଲକ୍ଷ୍ୟ ସହିତ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଶିଳ୍ପର ନିରାପଦ ବିକାଶ ପ୍ରତି ଧ୍ୟାନ ଦେଇଛନ୍ତି, ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ବିକାଶ, ବ୍ୟବହାରକାରୀଙ୍କ ଦ୍ୱାରା ସମ୍ମୁଖୀନ ହେଉଥିବା ବିଭିନ୍ନ ସମସ୍ୟାର ଯୁକ୍ତିଯୁକ୍ତ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ କାର୍ଯ୍ୟକୁ ନିରନ୍ତର ଅପଗ୍ରେଡ୍ କରିବା ଏବଂ ସିଷ୍ଟମକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବା ପାଇଁ ନିଜକୁ ଉତ୍ସର୍ଗ କରିଛନ୍ତି।