-
ଆଧୁନିକ LPCVD ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ SiC କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର୍ ପ୍ୟାଡେଲ୍ କାହିଁକି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ?
ଯେତେବେଳେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଛୋଟ ଡିଭାଇସ୍ ଜ୍ୟାମିତି, ଉଚ୍ଚ ୱେଫର ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ଏବଂ ବର୍ଦ୍ଧିତ କଠୋର ପ୍ରଦୂଷଣ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ମାନଦଣ୍ଡ ଆଡ଼କୁ ବିକଶିତ ହେଉଛି, ତାପଜ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଅଭୂତପୂର୍ବ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜର ସମ୍ମୁଖୀନ ହେଉଛି। LPCVD, ତାପଜ ଅକ୍ସିଡେସନ, ଡୋପାଣ୍ଟ ପ୍ରସାରଣ, ... ଭଳି ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ।ଅଧିକ ପଢ଼ନ୍ତୁ -
SiC ପ୍ରସାରଣ ଟ୍ୟୁବ୍ କ'ଣ? କାର୍ଯ୍ୟ, ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରୟୋଗ
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ, ଅକ୍ସିଡେକ୍ସନ, ପ୍ରସାରଣ, ଆନିଲିଂ ଏବଂ LPCVD ଜମା ଭଳି ୱେଫର ନିର୍ମାଣ ପଦକ୍ଷେପ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ତାପଜ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଜରୁରୀ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତଃ 800°C ଏବଂ 1200°C ମଧ୍ୟରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରୁଥିବା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ସିଷ୍ଟମ ଭିତରେ ସମ୍ପାଦିତ ହୁଏ, ଯେଉଁଠାରେ ତାପମାତ୍ରା...ଅଧିକ ପଢ଼ନ୍ତୁ -
ପୋରସ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କ’ଣ? ଗୁଣ, ପ୍ରୟୋଗ ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଲାଭ
ପରିଚୟ: ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉତ୍ପାଦନରେ ଛିଦ୍ରଯୁକ୍ତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କାହିଁକି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ? ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉତ୍ପାଦନ ଉନ୍ନତ ନୋଡ୍ ଏବଂ ଯୌଗିକ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ (ଯେପରିକି SiC) ଆଡକୁ ଗତି କରୁଥିବାରୁ, ସାମଗ୍ରୀ ଆବଶ୍ୟକତା କ୍ରମଶଃ କଠୋର ହୋଇଗଲାଣି। ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ସ୍ଥିରତା, ଅତି-ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା, ଏବଂ ସଠିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଏଫ୍...ଅଧିକ ପଢ଼ନ୍ତୁ -
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଗ୍ରାଫାଇଟର ପ୍ରୟୋଗ କ’ଣ?
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଅତ୍ୟନ୍ତ ସଠିକତା ଏବଂ ଅତ୍ୟନ୍ତ ପରିବେଶର ସନ୍ଧିସ୍ଥଳରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ଏପିଟାକ୍ସି, ସ୍ଫଟିକ ବୃଦ୍ଧି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଆନିଲିଂ ଭଳି ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ ନିୟମିତ ଭାବରେ 1000°C ଅତିକ୍ରମ କରେ, ଯେଉଁଠାରେ ସାମାନ୍ୟ ତାପଜ ପରିବର୍ତ୍ତନ ମଧ୍ୟ ଫିଲ୍ମ ଘନତାରେ ମାପଯୋଗ୍ୟ ପରିବର୍ତ୍ତନରେ ପରିଣତ ହୋଇପାରେ...ଅଧିକ ପଢ଼ନ୍ତୁ -
ଇନ୍ଧନ କୋଷରେ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବାଇପୋଲାର ପ୍ଲେଟ୍ କିପରି କାମ କରେ?
I. ଶିଳ୍ପ ବୃଦ୍ଧିରେ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବାଇପୋଲାର୍ ପ୍ଲେଟ୍ର କେନ୍ଦ୍ରୀୟ ଭୂମିକା "ଦ୍ୱୈତ କାର୍ବନ" ଲକ୍ଷ୍ୟ ଏବଂ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଅର୍ଥନୀତିର ଦ୍ରୁତ ବିକାଶର ପୃଷ୍ଠଭୂମି ବିରୁଦ୍ଧରେ, ଇନ୍ଧନ କୋଷ (ବିଶେଷକରି PEM ଇନ୍ଧନ କୋଷ) ପ୍ରଦର୍ଶନ ପର୍ଯ୍ୟାୟରୁ ବଡ଼ ପରିମାଣର ପ୍ରୟୋଗକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେଉଛି। ଯାତ୍ରୀଙ୍କଠାରୁ...ଅଧିକ ପଢ଼ନ୍ତୁ -
ଇନ୍ଧନ କୋଷ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ ଗ୍ରାଫାଇଟର ପ୍ରୟୋଗ କ’ଣ?
ସର୍ବଦା ବିକଶିତ ହେଉଥିବା ବୈଦ୍ୟୁତିକ ରାସାୟନିକ ଶକ୍ତି ପ୍ରଣାଳୀରେ, ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଫେଲ୍ ଏକ ବହୁମୁଖୀ କାର୍ବନ-ଆଧାରିତ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ଠିଆ ହୁଏ, ଯାହାର ଅନନ୍ୟ ଗଠନାତ୍ମକ, ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଗୁଣ ରହିଛି। ଯଦିଓ ସମସ୍ତ ଇନ୍ଧନ କୋଷ ସ୍ଥାପତ୍ୟ ସାର୍ବଜନୀନ ଭାବରେ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଫେଲ୍ଟ ବ୍ୟବହାର କରେ ନାହିଁ, ଏହାର ଭୂମିକା - ବିଶେଷକରି ଉନ୍ନତ ଇନ୍ଧନ କୋଷରେ ...ଅଧିକ ପଢ଼ନ୍ତୁ -
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଫିକ୍ସଚର୍ସ: ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନିର୍ମାଣରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପାଦାନ
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଅନେକ ପ୍ରମୁଖ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଉପାଦାନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରନ୍ତି। ଯଦିଓ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଫିକ୍ସଚରଗୁଡ଼ିକ ୱେଫର୍ କିମ୍ବା ଟାର୍ଗେଟ ପରି ଏତେ ଧ୍ୟାନ ପାଆନ୍ତି ନାହିଁ, ସେମାନେ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏପିଟାକ୍ସିଆ...ରେ ନିରନ୍ତର ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରନ୍ତି।ଅଧିକ ପଢ଼ନ୍ତୁ -
ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏଚିଂ ପାଇଁ ଏଚିଂ ପାଇଁ ଏକ CVD ଆବରଣ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ କାହିଁକି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ?
ପ୍ଲାଜମା ସୀମା ସ୍ଥିର କରି ଏବଂ ୱେଫରରେ ସମାନ ଆୟନ ବଣ୍ଟନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରି ଆଧୁନିକ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଏଚ୍ଜିଂରେ CVD ଆବରଣ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ୍ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ। ଏହି ପ୍ରବନ୍ଧଟି ବ୍ୟାଖ୍ୟା କରେ ଯେ ଏଚ୍ ସମାନତା, CD ନିୟନ୍ତ୍ରଣ, ପ୍ରଦୂଷଣ... ଉପରେ ସେମାନଙ୍କର ପ୍ରଭାବକୁ ଆଲୋକିତ କରି, ଉନ୍ନତ ନୋଡ୍ ପାଇଁ ଏଗୁଡ଼ିକ କାହିଁକି ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ।ଅଧିକ ପଢ଼ନ୍ତୁ -
ଏକକ ସ୍ଫଟିକ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ଫର୍ଣ୍ଣେସର ମୂଳ: ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ତାପଜ କ୍ଷେତ୍ରର ରହସ୍ୟ ଉନ୍ମୋଚନ
ଏକକ ସ୍ଫଟିକ ବୃଦ୍ଧି ଫର୍ଣ୍ଣେସର ମୂଳ ହେଉଛି ସ୍ଫଟିକ ଉତ୍ପାଦନରେ ପ୍ରମୁଖ ଉପକରଣ, ଏବଂ ଏହାର ତାପଜ କ୍ଷେତ୍ର ଡିଜାଇନ୍ ସିଧାସଳଖ ସ୍ଫଟିକର ବିଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପକାଏ। ଫର୍ଣ୍ଣେସର କେନ୍ଦ୍ରୀୟ ଉପାଦାନ ଭାବରେ, ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ତାପଜ କ୍ଷେତ୍ର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ପରିବାହିତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଉଚ୍ଚ-...ଅଧିକ ପଢ଼ନ୍ତୁ