Éilíonn monarú gach táirge leathsheoltóra na céadta próiseas. Roinnimid an próiseas monaraíochta iomlán ina ocht gcéim:vaiféalpróiseáil-ocsaídiú-fótailitagrafaíocht-eitseáil-taisceadh scannáin tanaí-fás eipitaxial-idirleathadh-ionchlannú ian.
Chun cabhrú leat leathsheoltóirí agus próisis ghaolmhara a thuiscint agus a aithint, cuirfimid ailt WeChat i ngach eagrán chun gach ceann de na céimeanna thuas a thabhairt isteach ceann ar cheann.
San alt roimhe seo, luadh gur chun cosaint a thabhairt donvaiféalas eisíontais éagsúla, rinneadh scannán ocsaíde -- próiseas ocsaídiúcháin. Inniu pléifimid an "próiseas fótailiatagrafaíochta" ina ngrianghrafadh an ciorcad dearaidh leathsheoltóra ar an vaiféar leis an scannán ocsaíde déanta.
Próiseas fótailithografaíochta
1. Cad is próiseas fótailithografaíochta ann
Is éard atá i gceist le fótailitagrafaíocht ná na ciorcaid agus na limistéir fheidhmiúla a theastaíonn le haghaidh táirgeadh sceallóga a dhéanamh.
Úsáidtear an solas a astaítear ón meaisín fótailitagrafaíochta chun an scannán tanaí atá brataithe le fótafhriotaíocht a nochtadh trí masc le patrún. Athróidh an fhótafhriotaíocht a airíonna tar éis dó an solas a fheiceáil, ionas go ndéantar an patrún ar an masc a chóipeáil chuig an scannán tanaí, ionas go mbeidh feidhm léaráid chiorcaid leictreonaigh ag an scannán tanaí. Seo ról na fótailitagrafaíochta, cosúil le pictiúir a thógáil le ceamara. Priontáiltear na grianghraif a thógann an ceamara ar an scannán, agus ní ghrianghraif a ghreanann an fhótailitagrafaíocht, ach léaráidí ciorcaid agus comhpháirteanna leictreonacha eile.
Is teicneolaíocht micrea-mheaisínithe beacht í fótailithagrafaíocht
Is próiseas é fótailigrafaíocht thraidisiúnta a úsáideann solas ultraivialait le tonnfhad 2000 go 4500 angstrom mar iompróir faisnéise íomhá, agus a úsáideann fótafhriotaíocht mar mheán idirmheánach (taifeadadh íomhá) chun claochlú, aistriú agus próiseáil grafaicí a bhaint amach, agus ar deireadh tarchuireann sé an fhaisnéis íomhá chuig an sliseanna (sliseanna sileacain den chuid is mó) nó an ciseal tréleictreach.
Is féidir a rá gurb í fótailithagrafaíocht bunús na dtionscal nua-aimseartha leathsheoltóra, micrileictreonaice agus faisnéise, agus go gcinnfidh fótailithagrafaíocht go díreach leibhéal forbartha na dteicneolaíochtaí seo.
Le breis agus 60 bliain anuas ó aireagán rathúil na gciorcad comhtháite i 1959, tá leithead líne a ghrafaicí laghdaithe faoi thart ar cheithre ord méide, agus tá feabhas tagtha ar chomhtháthú na gciorcad faoi níos mó ná sé ord méide. Is í forbairt na fótailitagrafaíochta is mó is cúis le dul chun cinn tapa na dteicneolaíochtaí seo.
(Riachtanais maidir le teicneolaíocht fótailithografaíochta ag céimeanna éagsúla forbartha déantúsaíochta ciorcad comhtháite)
2. Prionsabail bhunúsacha na fótailithografaíochta
De ghnáth, tagraíonn ábhair fhótalitografaíochta do fhótafhriotaíocht, ar a dtugtar fótafriotaíocht freisin, agus is iad na hábhair fheidhmiúla is tábhachtaí i bhfótalitografaíocht. Tá tréithe imoibriúcháin solais (lena n-áirítear solas infheicthe, solas ultraivialait, bhíoma leictreon, srl.) ag an gcineál ábhair seo. Athraíonn a intuaslagthacht go suntasach tar éis imoibriú fótocheimiceach.
Ina measc, méadaíonn intuaslagthacht an fhótafhriotaíochta dearfaí sa fhorbróir, agus bíonn an patrún a fhaightear mar an gcéanna leis an masc; is é an fhótafhriotaíocht dhiúltach an taobh eile den scéal, is é sin, laghdaíonn an intuaslagthacht nó éiríonn sí dothuaslagtha fiú tar éis a nochtadh don fhorbróir, agus bíonn an patrún a fhaightear os coinne an masc. Tá réimsí feidhme an dá chineál fótafriotaíochta difriúil. Úsáidtear fótafriotaíochtaí dearfacha níos coitianta, agus is ionann iad agus níos mó ná 80% den iomlán.
Is léaráid sceitseach den phróiseas fótailithografaíochta an méid thuas
(1) Gliú:
Is é sin le rá, scannán fótafhriotaíochta a chruthú le tiús aonfhoirmeach, greamaitheacht láidir agus gan aon lochtanna ar an scealp sileacain. Chun an greamaitheacht idir an scannán fótafhriotaíochta agus an scealp sileacain a fheabhsú, is minic a bhíonn sé riachtanach dromchla an scealp sileacain a mhodhnú ar dtús le substaintí ar nós heicseaméitildisilazán (HMDS) agus trímheitilsilildé-eitileamín (TMSDEA). Ansin, ullmhaítear an scannán fótafhriotaíochta trí sciath sníomha.
(2) Réamhbhácáil:
Tar éis sciath sníomha, tá méid áirithe tuaslagóra fós sa scannán fótafhriotaíochta. Tar éis bácála ag teocht níos airde, is féidir an tuaslagóir a bhaint chomh beag agus is féidir. Tar éis réamhbhácála, laghdaítear cion an fhótafhriotaíochta go dtí thart ar 5%.
(3) Nochtadh:
Is é sin le rá, nochtar an fhótafhriotaíocht don solas. Ag an am seo, tarlaíonn fóta-imoibriú, agus tarlaíonn an difríocht intuaslagthachta idir an chuid soilsithe agus an chuid neamhshoilsithe.
(4) Forbairt & cruadhú:
Tumtar an táirge sa fhorbróir. Ag an am seo, tuaslagfaidh an limistéar nochta den fhótafhriotaíocht dhearfach agus an limistéar neamhnochtaithe den fhótafhriotaíocht dhiúltach sa fhorbairt. Cruthaíonn sé seo patrún tríthoiseach. Tar éis na forbartha, teastaíonn próiseas cóireála ardteochta ón sliseanna chun scannán crua a dhéanamh, rud a fheidhmíonn go príomha chun greamaitheacht an fhótafhriotaíochta leis an tsubstráit a fheabhsú tuilleadh.
(5) Greanadh:
Déantar an t-ábhar faoin bhfótafhriotaíocht a eitseáil. Áirítear leis eitseáil fhliuch leachtach agus eitseáil thirim gásach. Mar shampla, le haghaidh eitseáil fhliuch sileacain, úsáidtear tuaslagán uiscí aigéadach d'aigéad hidrofluarach; le haghaidh eitseáil fhliuch copair, úsáidtear tuaslagán aigéadach láidir amhail aigéad nítreach agus aigéad sulfarach, agus is minic a úsáideann eitseáil thirim plasma nó léasa ian ardfhuinnimh chun damáiste a dhéanamh do dhromchla an ábhair agus é a eitseáil.
(6) Díghumáil:
Ar deireadh, ní mór an fhótafhriotaíocht a bhaint de dhromchla an lionsa. Tugtar díghumáil ar an gcéim seo.
Is í an tsábháilteacht an cheist is tábhachtaí i ngach táirgeadh leathsheoltóra. Is iad seo a leanas na príomhgháis fótailitagrafaíochta contúirteacha agus díobhálacha sa phróiseas litagrafaíochta sliseanna:
1. Sárocsaíd hidrigine
Is ocsaídeoir láidir é sárocsaíd hidrigine (H2O2). Is féidir le teagmháil dhíreach athlasadh craicinn agus súl agus dónna a chur faoi deara.
2. Xiléin
Is tuaslagóir agus forbróir é xiléin a úsáidtear i litagrafaíocht dhiúltach. Tá sé inadhainte agus níl ach teocht íseal aige de 27.3℃ (thart ar theocht an tseomra). Tá sé pléascach nuair a bhíonn an tiúchan san aer 1%-7%. Is féidir le teagmháil arís agus arís eile le xiléin athlasadh craicinn a chur faoi deara. Tá gal xiléine milis, cosúil le boladh greamaitheach eitleáin; is féidir le nochtadh do xiléin athlasadh na súl, na sróine agus na scornach a chur faoi deara. Is féidir le hionanálú an gháis tinneas cinn, meadhrán, cailliúint goile agus tuirse a chur faoi deara.
3. Heicseaméitildisilazán (HMDS)
Is minic a úsáidtear heicseaméitildisilazán (HMDS) mar shraith bhunáite chun greamaitheacht fhótafhriotaíochta ar dhromchla an táirge a mhéadú. Tá sé inadhainte agus tá splancphointe 6.7°C aige. Tá sé pléascach nuair a bhíonn an tiúchan san aer idir 0.8%-16%. Imoibríonn HMDS go láidir le huisce, alcól agus aigéid mhianracha chun amóinia a scaoileadh.
4. Hiodrocsaíd teitreameitilaimóiniam
Úsáidtear hiodrocsaíd teitreamheitil-amóiniam (TMAH) go forleathan mar fhorbróir le haghaidh litagrafaíocht dhearfach. Tá sé tocsaineach agus creimneach. Is féidir leis a bheith marfach má shlogtar é nó má bhíonn sé i dteagmháil dhíreach leis an gcraiceann. Is féidir le teagmháil le deannach nó ceo TMAH athlasadh a chur faoi deara sna súile, sa chraiceann, sa srón agus sa scornach. Beidh bás mar thoradh ar ionanálú tiúchan ard de TMAH.
5. Clóirín agus fluairín
Úsáidtear clóirín (Cl2) agus fluairín (F2) araon i léasair eicsiméire mar fhoinsí solais ultraivialait dhomhain agus ultraivialait mhór (EUV). Tá an dá ghás tocsaineach, tá cuma ghlas éadrom orthu, agus tá boladh láidir greannach orthu. Beidh bás mar thoradh ar ionanálú tiúchan ard den ghás seo. Féadfaidh gás fluairín imoibriú le huisce chun gás fluairíde hidrigine a tháirgeadh. Is aigéad láidir é gás fluairíde hidrigine a ghreannaíonn an craiceann, na súile agus an conair riospráide agus d'fhéadfadh sé comharthaí cosúil le dónna agus deacracht análaithe a chur faoi deara. Is féidir le tiúchain arda fluairíde nimhiú a chur faoi deara i gcorp an duine, rud a fhágann comharthaí cosúil le tinneas cinn, urlacan, buinneach, agus cóma.
6. Argón
Is gás támh é argón (Ar) nach ndéanann dochar díreach don chorp daonna de ghnáth. Faoi ghnáththosca, bíonn thart ar 0.93% argón san aer a análann daoine, agus níl aon éifeacht shoiléir ag an tiúchan seo ar chorp an duine. Mar sin féin, i gcásanna áirithe, féadfaidh argón dochar a dhéanamh don chorp daonna.
Seo roinnt cásanna féideartha: I spás teoranta, d’fhéadfadh tiúchan an argóin méadú, rud a laghdódh tiúchan an ocsaigine san aer agus a chuirfeadh hipocsa faoi deara. D’fhéadfadh sé seo comharthaí cosúil le meadhrán, tuirse agus giorra anála a chur faoi deara. Ina theannta sin, is gás támh é argóin, ach d’fhéadfadh sé pléascadh faoi theocht ard nó brú ard.
7. Neon
Is gás cobhsaí, gan dath agus gan bholadh é neon (Ne) nach bhfuil páirteach sa phróiseas riospráide daonna. Ní bhíonn baint ag an ngás neon leis an bpróiseas riospráide daonna, mar sin beidh hipocsa mar thoradh ar análú tiúchan ard de ghás neon. Má bhíonn tú i riocht hipocsa ar feadh i bhfad, féadfaidh tú comharthaí cosúil le tinneas cinn, masmas agus urlacan a fháil. Ina theannta sin, féadfaidh gás neon imoibriú le substaintí eile faoi theocht ard nó brú ard chun tine nó pléascadh a chur faoi deara.
8. Gás xenóin
Is gás cobhsaí, gan dath agus gan bholadh é gás xeanóin (Xe) nach nglacann páirt i bpróiseas riospráide an duine, mar sin beidh hipocsa mar thoradh ar análú tiúchan ard de ghás xeanóin. Má bhíonn tú i riocht hipocsa ar feadh i bhfad, d’fhéadfadh comharthaí cosúil le tinneas cinn, masmas agus urlacan a bheith agat. Ina theannta sin, féadfaidh gás neoin imoibriú le substaintí eile faoi theocht ard nó brú ard chun tine nó pléascadh a chur faoi deara.
9. Gás crioptóin
Is gás cobhsaí, gan dath agus gan bholadh é gás crioptóin (Kr) nach nglacann páirt i bpróiseas riospráide an duine, mar sin beidh hipocsa mar thoradh ar análú tiúchan ard de ghás crioptóin. Má tá tú i riocht hipocsa ar feadh i bhfad, féadfaidh comharthaí cosúil le tinneas cinn, masmas agus urlacan a bheith agat. Ina theannta sin, féadfaidh gás xeanóin imoibriú le substaintí eile faoi theocht ard nó brú ard chun tine nó pléascadh a chur faoi deara. Is féidir le hanálú i dtimpeallacht ina bhfuil easpa ocsaigine hipocsa a chur faoi deara. Má tá tú i riocht hipocsa ar feadh i bhfad, féadfaidh comharthaí cosúil le tinneas cinn, masmas agus urlacan a bheith agat. Ina theannta sin, féadfaidh gás crioptóin imoibriú le substaintí eile faoi theocht ard nó brú ard chun tine nó pléascadh a chur faoi deara.
Réitigh braite gáis ghuaiseacha don tionscal leathsheoltóra
Baineann táirgeadh, monarú agus próiseáil gás inadhainte, pléascach, tocsaineach agus díobhálach leis an tionscal leathsheoltóra. Mar úsáideoir gás i ngléasraí déantúsaíochta leathsheoltóra, ba cheart do gach ball foirne sonraí sábháilteachta gás guaiseach éagsúil a thuiscint roimh úsáid, agus ba cheart dóibh a bheith ar an eolas faoi conas déileáil leis na nósanna imeachta éigeandála nuair a sceitheann na gáis seo.
I dtáirgeadh, i monarú agus i stóráil thionscal na leathsheoltóirí, chun cailliúint beatha agus maoine de dheasca sceitheadh na ngás guaiseach seo a sheachaint, is gá ionstraimí braite gáis a shuiteáil chun an gás sprice a bhrath.
Tá brathadóirí gáis anois ina n-uirlisí monatóireachta comhshaoil riachtanacha i dtionscal leathsheoltóra an lae inniu, agus is iad na huirlisí monatóireachta is dírí freisin.
Tá aird tugtha ag Riken Keiki i gcónaí ar fhorbairt shábháilte an tionscail déantúsaíochta leathsheoltóra, agus é mar aidhm aige timpeallacht oibre shábháilte a chruthú do dhaoine, agus tá sé tiomanta do braiteoirí gáis atá oiriúnach don tionscal leathsheoltóra a fhorbairt, réitigh réasúnta a sholáthar do fhadhbanna éagsúla a bhíonn ag úsáideoirí, agus feidhmeanna táirgí a uasghrádú i gcónaí agus córais a bharrfheabhsú.
Am an phoist: 16 Iúil 2024