Aiseā e Taua ai Va'a SiC Ceramic Wafer mo le Semiconductor Diffusion ma Oxidation Furnaces

A o faʻaauau pea ona alualu i luma faiga o gaosiga o semiconductor agai i le tele o lapopoʻa o wafer, faʻatapulaʻaina o paketi faʻavevela, ma maualalo le faʻapalepale i mea sese, o meafaitino e faʻaaogaina i totonu o masini faʻagasolo vevela maualuga ua faʻateleina le taua. I totonu o nei mea taua ma vaega faʻatulagaina, o vaʻa wafer seramika silicon carbide (SiC) ua tulaʻi mai o se tasi o tekinolosi sili ona taua i faiga faʻaonaponei o le diffusion ma le oxidation oven.

I siosiomaga fa'aonaponei o le gaosiga o semiconductor, latou te a'afia sa'o ai le tutusa o le vevela, le gaosiga o vaega, le tufatufaina atu o le mamafa o le wafer, le mautu o le faagasologa, ma iu ai ina, maua mai le masini.

Ae maise lava i le gaosiga o le wafer 300mm, le gaosiga o semiconductor eletise, ma le gaosiga o semiconductor tupulaga lona tolu, o loʻo vave ona suia e vaʻa wafer seramika silicon carbide ia faiga masani e feaveaʻi ai mea e faʻavae i le kuata ona o latou uiga sili ona lelei i le vevela ma le faʻainisinia.

O le ā le va'a wafer seramika silicon carbide?

O le va'a wafer seramika e faia i le silicon carbide o se fausaga e feavea'i ai wafer e maualuga le vevela e faia i keramika fa'apitoa e fa'avae i le silicon carbide. O lona fa'amoemoega autū o le lagolagoina ma le saogalemu lea o le tele o wafer semiconductor e ala i faiga ogaumu fa'atulagaina po'o le fa'alava i le taimi o galuega fa'avevela.

O se va'a wafer masani e iai ni avanoa wafer e tele ua mamanuina ma le sa'o e fa'atumauina ai le va o wafer e matua'i pulea lelei i le taimi o le fa'agasologa. E fa'atatau i le fa'aoga, e mafai fo'i ona aofia ai i le fausaga ni pou lagolago, lima o le cantilever, ni foliga e fa'aleleia ai le ea, ma ni vaega fa'amalosi mama ua mamanuina e fa'aitiitia ai le mamafa o le vevela.

I totonu o faiga o ogaumu semiconductor, e aoga lelei va'a wafer e fai ma feso'ota'iga i le va o wafers ma le siosiomaga fa'avevela. A'o fa'aauau pea ona fa'aitiitia le lapo'a o masini agai i vaega fa'atekonolosi fa'aonaponei, e o'o lava i mea le mautu fa'aitiiti i totonu o le fausaga lagolago o le wafer e mafai ona a'afia ai le toe faia o le fa'agasologa ma le fa'atinoga o mea sese.

O se tasi lea o māfuaʻaga ua faʻateleina ai ona faʻaaogaina e le au gaosi ogaumu faʻaonaponei vaega o le silicon carbide ceramic e maualuga le mama nai lo le faiga masani o le fused quartz.

O le Matafaioisi Faiga o le Fa'asalalauina ma le Oxidation Furnace

O le fa'asalalauina ma le fa'a'okeseneina o lo'o tumau pea i totonu o faiga fa'avevela sili ona taua i le gaosiga o semiconductor. O nei faiga e fa'aaogaina lautele mo le fa'agaoioiga o le dopant, tuputupu a'e o le oxide fa'avevela, fa'amafanafana, fa'asalalauina o le drive-in, ma le fausiaina o dielectric.

O le vevela masani o le fa'agaioiga e amata mai le tusa ma le 900°C i le 1200°C e fuafua i le kemisi o le fa'agasologa ma mana'oga o masini. I nisi o fa'aoga fa'aonaponei o le semiconductor eletise po'o le masini SiC, e ono sili atu le ta'amilosaga fa'avevela i le 1300°C.

I lalo o nei tuutuuga, e tatau i le va'a wafer ona faatumauina le mautu o le fua i luga o taamilosaga fa'avevela umi a'o fa'aitiitia le fa'aleagaina ma fa'asaoina le va tutusa o wafer.

Ua leva ona fa'aaogaina va'a masani o le quartz wafer i ogaumu fa'asalalau ona o lo latou mama maualuga ma le taugofie. Peita'i, o mea quartz e maualalo le fa'avevela o le conductivity — e masani lava pe tusa ma le 1.4 W/m·K i le vevela o le potu.

I le faʻatusatusaga, o keramika silicon carbide e masani ona faʻaalia ai le taua o le conductivity thermal e amata mai le 120 ~ 200 W/m·K e fuafua i le ituaiga ma le microstructure.

O lenei eseesega tele e faʻaleleia atili ai le tutusa o le vevela i le ogaumu atoa.

O le maualuga o le faʻavevela e mafai ai:

● Fa'avevela tutusa o le wafer

● Fa'aitiitia o le fesuia'iga o le vevela

● Fa'aleleia atili le mafiafia o le apameme i le apameme

● Fa'aitiitia le fa'aputuga o le atuatuvale i le vevela

● Fa'aitiitia aafiaga o pito i le taimi o le fa'a'okesaita po'o le fa'asalalauina

I le gaosiga fa'atekonolosi ..., lea e fa'aauau pea ona fa'aitiitia ai fa'amalama o faiga, o nei fa'aleleiga e a'afia sa'o ai le tutusa o le ata tifaga ma le fa'aauauina o le fa'atinoga o le eletise.

E maua fo'i e va'a wafer SiC le malosi fa'amekanika e sili atu le maualuga pe a fa'atusatusa i fausaga kuata. Ua fa'ateleina le taua o lenei mea i faiga ogaumu fa'atulagaina e fa'agaoioia ai vaega tetele o wafers e 300 mm, lea e mafai ona taua tele ai le umi o le va'a ma le mamafa fa'amekanika.

O le fa'aitiitia o le fa'aleagaina e fesoasoani e fa'asaoina le va sa'o o le va o le wafer ma le amio mautu o le tafe o le kasa i le taimi atoa o le ta'amilosaga fa'avevela.

Meatotino Fa'aletino Autū o Va'a Wafer Ceramic Silicon Carbide

O le faʻatupulaʻia o le lauiloa o vaʻa wafer silicon carbide e mafua ona o le tuʻufaʻatasiga tulaga ese o meatotino vevela, masini, ma vailaʻau o keramika silicon carbide.

Uiga Fa'aletino Autū

O nei meatotino e mafai ai e fausaga seramika silicon carbide ona faatumauina le mautu o le fua i lalo o le taamilosaga umi o le vevela, ae o vaega masani o le quartz e ono amata ona faamaluluina pe faaleagaina.

O le malosi tele o le silicon carbide e faʻaitiitia ai foʻi le gatete ma le le mautu faʻamekanika i le taimi o le utaina ma le laʻuina o wafers i totonu o le ogaumu.

Itū'aiga Tetele o Meafaitino mo Va'a Wafer Silicon Carbide

O va'a wafer silicon carbide fa'aonaponei e gaosia e fa'aaoga ai le tele o tekinolosi eseese o meafaitino, e ta'itasi ma fa'alelei mo siosiomaga fa'apitoa o fa'agasologa ma mana'oga tau taugofie.

O le recrystallized silicon carbide (RSiC) e faʻaaogaina lautele i totonu o ogaumu vevela maualuga ona o lona mama lelei ma le mautu i le vevela. O le faagasologa o le gaosiga mo le RSiC e le manaʻomia ai le faʻaopoopoina o le tele o mea fesoasoani sintering, lea e fesoasoani e faʻaitiitia ai le lamatiaga o le faʻaleagaina i totonu o siosiomaga semiconductor.

O le silicon carbide ua fa'apipi'iina i le reaction-sintered (RBSC po'o le RBSiC) e ofoina atu le malosi fa'amekanika maualuga ma tau maualalo o gaosiga. Peita'i, o le silicon saoloto o totoe i totonu o le fausaga e ono fa'aitiitia ai lona tete'e atu i le 'ele i nisi o siosiomaga fa'agasologa 'ele.

Mo fa'aoga fa'atekonolosi fa'atekonolosi, o lo'o fa'ateleina le taatele o faiga fa'atekonolosi ua ufiufiina i le CVD silicon carbide. I nei fausaga, o le mea e ufiufi ai le graphite e tu'uina atu ai le lagolago mama fa'amekanika, a'o le ufiufi maualuga o le chemical vapor deposition (CVD) silicon carbide e fausia ai le fa'agasologa o le fa'agasologa.

O vali CVD silicon carbide e matua maualalo lava le saoasaoa o le gaosia o vaega ma e matua mama lava, ma e matua tosina atu ai i latou mo le gaosiga o semiconductor fa'atekonolosi ma le eletise. Peita'i, e tatau ona pulea ma le fa'aeteete le tulaga lelei o vali ma le le fetaui o le fa'alauteleina o le vevela ina ia puipuia ai le māvaevae po'o le vaeluaina i le taimi o le toe fa'aauau pea o le fa'avevela.

Lu'itau Masani o le Fa'agasologa

E ui i le lelei o le faatinoga o vaa wafer ceramic silicon carbide, ae o loo feagai pea ma le tele o luitau faainisinia i siosiomaga moni o gaosiga o semiconductor.

O le fa'aleagaina o vaega laiti o lo'o tumau pea o se tasi o fa'afitauli sili ona taua. A'o fa'aitiitia le lapo'a o masini, o lo'o fa'ateleina fo'i le ogaoga o le leiloa o le fua e mafua mai i vaega laiti. E o'o lava i otaota e laiti ifo i le lapo'a e mafua mai i ni māvaevae laiti, fa'aleagaina o le ufiufi, po'o le fa'aleagaina o le fogaeleele e mafai ona mafua ai ni fa'aletonu matuia i luga o wafers fa'aonaponei.

O le māvaevae o le vevela o se isi luʻitau ua leva ona iai. E ui o le silicon carbide e iai le mautu lelei i le vevela, ae o loʻo tumau pea o se mea seramika e fai si malepelepe. O le vave faʻavevela poʻo le le tutusa o le vevela i le lotoifale e mafai ona oʻo atu ai i māvaevae i tulimanu fausaga, alavai o le wafer, poʻo le fefaʻatauaʻiga o le beam.

O le umi o le taamilosaga o le vevela e mafai foi ona oʻo atu ai i le faasolosolo malie o le faʻaleagaina poʻo le tolotolo, aemaise lava i vaʻa wafer tetele e faʻaaogaina i faiga ogaumu faʻatulagaina. E oʻo lava i nai suiga laiti i le geometric e mafai ona suia ai le va o wafer ma le tutusa o le tafe o le kesi, ma aʻafia ai le puleaina o le mafiafia o le oxide ma le tutusa o le tufatufaina atu o le dopant.

O le fa'aitiitia o le ufiufi CVD o se isi mataupu taua tele o le fa'atuatuaina i totonu o faiga SiC ua ufiufi. Talu ai ona o le graphite substrate ma le ufiufi SiC e fa'aalia ai amioga eseese o le fa'alauteleina o le vevela, o le toe faia soo o le ta'amilosaga o le vevela maualuga e iu lava ina o'o atu ai i le fa'aputuina o le atuatuvale i le va.

Faaiuga

I totonu o faiga o le semiconductor diffusion ma le oxidation oven, o va'a wafer ceramic silicon carbide e taua tele i le tausia o le mautu o le vevela, puleaina o le fa'aleagaina, ma le fa'amautinoaina o le tutusa o le fa'agasologa i lalo o tulaga fa'agaoioia e matua faigata lava. O lo latou maualuga o le conductivity o le vevela, lelei tele o le malosi fa'amekanika, tete'e maualuga i le vevela, ma le mautu o vaila'au e fa'ateleina ai lo latou taua i le gaosiga fa'atekonolosi fa'atekonolosi.

A o faʻaauau pea ona alualu i luma tekinolosi o faiga faʻavae semiconductor, ma faʻateleina le lavelave, ma faʻateleina le faigata o manaʻoga mo le puleaina o mea sese, o le a faʻaauau pea ona faʻatupulaʻia le taua o faiga faʻaonaponei o le ave o le wafer seramika. I totonu o fale gaosi oloa faʻaonaponei, o le tele o luʻitau e fesoʻotaʻi ma le puleaina o vaega, tutusa o le vevela, ma le faʻatuatuaina e mafai ona toe suʻeina i tua i le fegalegaleaiga i le va o le amioga o le taamilosaga o le vevela, le mautu o meafaitino, ma le mamanu o le faiga o le ave o le wafer.

O le mea lea, o vaʻa wafer seramika silicon carbide o loʻo vave ona suia mai masini ogaumu fesoasoani i vaega taua mo le gaosiga o semiconductor o le isi tupulaga.