เรือผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

คุณสมบัติของซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่

ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ผ่านกระบวนการตกผลึกใหม่ (R-SiC) เป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงที่มีความแข็งเป็นอันดับสองรองจากเพชร ซึ่งเกิดขึ้นที่อุณหภูมิสูงกว่า 2000℃ โดยยังคงคุณสมบัติที่ดีเยี่ยมหลายประการของ SiC ไว้ เช่น ความแข็งแรงที่อุณหภูมิสูง ความต้านทานการกัดกร่อนสูง ความต้านทานการออกซิเดชันที่ดีเยี่ยม ความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันที่ดี และอื่นๆ

● คุณสมบัติเชิงกลที่ยอดเยี่ยม ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ผ่านกระบวนการตกผลึกใหม่มีความแข็งแรงและความแข็งแกร่งสูงกว่าคาร์บอนไฟเบอร์ ทนต่อแรงกระแทกสูง สามารถทำงานได้ดีในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและต่ำมาก และสามารถสร้างสมดุลที่ดีกว่าในสถานการณ์ต่างๆ นอกจากนี้ยังมีความยืดหยุ่นที่ดีและไม่เสียหายง่ายจากการยืดและดัดงอ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพได้อย่างมาก

● ความต้านทานการกัดกร่อนสูง ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ผ่านกระบวนการตกผลึกใหม่มีความต้านทานการกัดกร่อนสูงต่อสารกัดกร่อนหลายชนิด สามารถป้องกันการสึกกร่อนจากสารกัดกร่อนต่างๆ รักษาคุณสมบัติทางกลได้เป็นเวลานาน มีการยึดเกาะที่แข็งแรง ทำให้มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น นอกจากนี้ยังมีความเสถียรทางความร้อนที่ดี สามารถปรับตัวให้เข้ากับการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิในช่วงที่กำหนด ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการใช้งาน

● การเผาผนึกไม่ทำให้เกิดการหดตัว เนื่องจากกระบวนการเผาผนึกไม่ทำให้เกิดการหดตัว จึงไม่มีความเครียดตกค้างที่จะทำให้ผลิตภัณฑ์เสียรูปหรือแตกร้าว และสามารถผลิตชิ้นส่วนที่มีรูปทรงซับซ้อนและมีความแม่นยำสูงได้