Rekristallisiertes Siliziumkarbid-Kristallboot für die Halbleiterindustrie

Kurze Beschreibung:

Das rekristallisierte Siliziumkarbid-Kristallschiffchen von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine konstante und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Es zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist somit die perfekte Lösung für die Waferverarbeitung.


Produktdetail

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Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid (R-SiC) ist ein Hochleistungswerkstoff mit der höchsten Härte nach Diamant. Es entsteht bei Temperaturen über 2000 °C. Es behält viele hervorragende Eigenschaften von SiC, wie z. B. hohe Temperaturfestigkeit, hohe Korrosionsbeständigkeit, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, gute Thermoschockbeständigkeit usw.

● Hervorragende mechanische Eigenschaften. Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine höhere Festigkeit und Steifigkeit als Kohlefaser, ist schlagzäh und bietet auch bei extremen Temperaturen eine gute Leistung. Es bietet in verschiedenen Situationen ein besseres Gegengewicht. Darüber hinaus ist es flexibel und lässt sich durch Dehnen und Biegen nicht so leicht beschädigen, was seine Leistung deutlich verbessert.

Hohe Korrosionsbeständigkeit. Rekristallisiertes Siliziumkarbid weist eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber verschiedenen Medien auf, verhindert Erosion durch verschiedene korrosive Medien, behält seine mechanischen Eigenschaften lange bei und verfügt über eine starke Haftung, wodurch eine längere Lebensdauer erreicht wird. Darüber hinaus weist es eine gute thermische Stabilität auf, passt sich an einen bestimmten Temperaturbereich an und verbessert so die Anwendungswirkung.

● Sintern schrumpft nicht. Da beim Sinterprozess kein Schrumpfen auftritt, entstehen keine Eigenspannungen, die zu Verformungen oder Rissen im Produkt führen. So können Teile mit komplexen Formen und hoher Präzision hergestellt werden.

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重结晶碳化硅物理特性

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

性质 / Eigentum

典型数值 / Typischer Wert

使用温度/ Arbeitstemperatur (°C)

1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)

SiC含量/ SiC-Gehalt

> 99,96 %

自由Si含量/ Kostenloser Si-Inhalt

< 0,1 %

体积密度/Schüttdichte

2,60–2,70 g/cm3

气孔率/ Scheinbare Porosität

< 16 %

抗压强度/ Druckfestigkeit

> 600MPa

常温抗弯强度/Kaltbiegefestigkeit

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Warmbiegefestigkeit

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Wärmeausdehnung bei 1500 °C

4,70 10-6/°C

导热系数/Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C

23W/m²K

杨氏模量/ Elastizitätsmodul

240 GPa

抗热震性/ Thermoschockbeständigkeit

Sehr gut

VET Energy ist der Hersteller maßgeschneiderter Graphit- und Siliziumkarbidprodukte mit CVD-Beschichtung und liefert verschiedene kundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und bietet Ihnen professionelle Materiallösungen.

Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Prozesse, um noch fortschrittlichere Materialien bereitzustellen, und haben eine exklusive patentierte Technologie entwickelt, die die Bindung zwischen der Beschichtung und dem Substrat fester und weniger anfällig für Ablösungen machen kann.

Wir heißen Sie herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen. Lassen Sie uns das weiter besprechen!

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