Рекристаллизованная лодочка из карбида кремния для полупроводниковой промышленности

Краткое описание:

Рекристаллизованная лодочка из карбида кремния VET Energy — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает суперхорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой, эрозионной стойкостью, что делает его идеальным решением для обработки пластин.


Подробности продукта

Теги продукта

Свойства рекристаллизованного карбида кремния

Рекристаллизованный карбид кремния (R-SiC) — это высокопроизводительный материал, по твердости уступающий только алмазу, который образуется при высокой температуре выше 2000℃. Он сохраняет многие превосходные свойства SiC, такие как прочность при высоких температурах, высокая коррозионная стойкость, отличная стойкость к окислению, хорошая стойкость к тепловому удару и т. д.

● Отличные механические свойства. Рекристаллизованный карбид кремния имеет более высокую прочность и жесткость, чем углеродное волокно, высокую ударопрочность, может играть хорошую роль в экстремальных температурных условиях, может играть лучшую роль противовеса в различных ситуациях. Кроме того, он также обладает хорошей гибкостью и не так легко повреждается при растяжении и изгибе, что значительно улучшает его производительность.

● Высокая коррозионная стойкость. Рекристаллизованный карбид кремния обладает высокой коррозионной стойкостью к различным средам, может предотвратить эрозию различных агрессивных сред, может сохранять свои механические свойства в течение длительного времени, имеет сильную адгезию, благодаря чему имеет более длительный срок службы. Кроме того, он также обладает хорошей термической стабильностью, может адаптироваться к определенному диапазону изменений температуры, улучшает эффект его применения.

● Спекание не дает усадки. Поскольку процесс спекания не дает усадки, никакие остаточные напряжения не приведут к деформации или растрескиванию изделия, и можно изготавливать детали сложной формы и высокой точности.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳 и 硅物理特性

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

使用温度/ Рабочая температура (°С)

1600°C (с кислородом), 1700°C (восстановительная среда)

SiC含量/ Содержание SiC

> 99,96%

自由Си含量/ Бесплатный контент Si

< 0,1%

体积密度/Насыпная плотность

2,60-2,70 г/см33

气孔率/ Кажущаяся пористость

< 16%

抗压强度/ Прочность на сжатие

> 600МПа

常温抗弯强度/Прочность на изгиб в холодном состоянии

80-90 МПа (20°С)

高温抗弯强度Прочность на изгиб в горячем состоянии

90-100 МПа (1400°С)

热膨胀系数/ Тепловое расширение при 1500°C

4.70 10-6/°С

导热系数/Теплопроводность при 1200°C

23Вт/м•К

杨氏模量/ Модуль упругости

240 ГПа

抗热震性/ Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

VET Energy — настоящий производитель индивидуальных графитовых и карбидкремниевых изделий с покрытием CVD, может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, может предоставить вам более профессиональные решения по материалам.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для производства более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее подверженной отслоению.

Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!