Kwarts Wafer Gaýygyýarymgeçiriji önümçiliginde, fotowoltaik öýjük önümçiliginde we ösen materiallary öwrenmekde we işläp düzmekde esasy daşaýjy gural bolup, ýokary temperatura proseslerinde waferleriň durnukly geçirilmegi we ýerleşdirilmegi üçin niýetlenendir. Bu önüm ajaýyp temperatura garşylygy, himiki durnuklylygy we örän pes metal hapalanma häsiýetlerine eýe bolan, diffuziýa peçleri, oksidlenme peçleri, PECVD/LPCVD we beýleki enjamlar üçin amatly, wafer örtüginde, ion implantasiýasynda, ýokary temperatura bilen ýumşatmakda we beýleki esasy proseslerde giňden ulanylýar.
VET Energy-niň kwars gaýygynyň esasy artykmaçlyklary:
- Ultra ýokary arassalykly material
Arassalyk ≥99.99%: Garyndylaryň mukdary (Na, K, Fe we ş.m.) <5ppm, plastinalaryň hapalanmagynyň öňüni alýar we çipleriň çykmagyny kepillendirýär.
Çöküntiniň we adsorbsiýanyň pes bolmagy: bölejikleriň ýelmeşmegini we gaz galyndysyny azaltmak üçin ýüzi örän jylaňlandyrylan (Ra≤0.4μm). - Ýokary temperatura durnuklylygy
Temperatura çägi: Uzak möhletli iş temperaturasy 1100℃, gysga möhletli iň ýokary temperatura 1300℃, deformasiýa ýok, kristal çökündisi ýok.
Pes termal giňelme koeffisiýenti (5.5x10-7/℃), ajaýyp termal şok garşylygy, temperaturanyň çalt ýokarlanmagyna we peselmegine uýgunlaşýar (meselem, RTP çalt ýumşatma). - Takyk gurluş dizaýny
Ýuwagyň takyklygy ± 0.1 mm: 2”-den 12”-e çenli waferleri gabat getirmek, aralyk deňligi ýalňyşlygy <0.05 mm, waferleriň hiç hili üýtgeşikliginiň ýokdugyny üpjün etmek.
Ýokary ýük göterijilik: Bir gaýykda iň köp 50 wafli (12 dýuým wafliler hökmünde) ýük göterýär, bu bolsa inçe waflileriň (≥100 um) durnukly geçirilmegini goldaýar. - Himiki inertlik
Korroziýa garşylygy: Kislota (HF-den başga), şeker we organiki erginleriň korroziýasyna garşylykly, CMP arassalamak prosesi bilen utgaşykly.
Gazyň germetikligi ajaýyp: Syzyk tizligi <5x10-10 Pam3/s, wakuum we gorag gaz gurşawlary üçin amatly. - Uzak ömür we abatlaýyş
Ömrüň dowamlylygy ≥ 5000 sikl (kadaly iş şertleri), ýüzi gaýta-gaýta arassalap we ulanyp bolýar, bu bolsa umumy çykdajylary azaldýar.
Modul dizaýn: bölekleýin çalşyrmagy goldaýar (meselem, ýeke gaýyk dişi), iş wagtynyň azalmagyny üpjün edýär.
Müşderiniň talaplaryna laýyklykda, biz hem açyk, hem-de mat örtükli ýüzleri hödürleýäris:
“Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd” kompaniýasy ýokary derejeli öňdebaryjy materiallaryň, şol sanda grafit, kremniý karbidi, keramika, SiC örtügi, TaC örtügi, aýna ýaly uglerod örtügi, pirolitik uglerod örtügi ýaly ýüzleý işleme ýaly materiallar we tehnologiýalaryň önümçiligine we satuwyna gönükdirilen ýokary tehnologiýaly kärhana bolup, bu önümler fotowoltaik, ýarymgeçiriji, täze energiýa, metallurgiýa we ş.m. pudaklarda giňden ulanylýar.
Biziň tehniki toparymyz ýerli öňdebaryjy ylmy-barlag edaralaryndan gelip çykýar we önümiň netijeliligini we hilini üpjün etmek üçin köp sanly patentlenen tehnologiýalary işläp düzdi, şeýle hem müşderilere professional material çözgütlerini hödürläp biler.
