Ýarymgeçirijiler senagatynyň grafit materiallaryna bolan talaplary aýratyn ýokarydyr, grafitiň inçe bölejikleriniň ululygy ýokary takyklyga, ýokary temperatura garşylygyna, ýokary berkligine, az ýitgisine we beýleki artykmaçlyklara eýedir, mysal üçin: sinterlenen grafit önümleri galyplanýar.Ýarymgeçirijiler senagatynda ulanylýan grafit enjamlarynyň (şol sanda gyzdyryjylar we olaryň bişirilen şriftleri) gaýtalanýan gyzdyrma we sowadyş proseslerine çydamly bolmagy zerur bolany üçin, grafit enjamlarynyň hyzmat möhletini uzaltmak üçin, adatça ulanylýan grafit materiallarynyň durnukly iş görkezijisine we ýylylyga çydamly täsir funksiýasyna eýe bolmagy talap edilýär.
01 Ýarymgeçiriji kristallaryň ösmegi üçin grafit aksesuarlary
Ýarymgeçiriji kristallary ösdürmek üçin ulanylýan ähli prosesler ýokary temperatura we poslama gurşawynda işleýär. Kristal ösdüriji peçiň gyzgyn zolagy adatça gyzdyryjy, tigel, izolýasiýa silindri, ýol görkeziji silindr, elektrod, tigel saklaýjy, elektrod gaýkasy we ş.m. ýaly gyzgynlyga çydamly we poslama çydamly ýokary arassa grafit bölekleri bilen enjamlaşdyrylýar.
Biz kristall önümçilik enjamlarynyň ähli grafit böleklerini öndürip bileris, olar aýratynlykda ýa-da toplumlarda ýa-da müşderiniň talaplaryna laýyklykda dürli ölçegdäki ýöriteleşdirilen grafit böleklerini öndürip bileris. Önümleriň ölçeglerini ýerinde ölçäp bolýar we taýýar önümleriň kül mukdary az bolup biler.5ppm-den köp.
02 Ýarymgeçiriji epitaksiýa üçin grafit aksesuarlary
Epitaksial proses, substrat bilen birmeňzeş tor gurluşy bolan monokristal material gatlagynyň monokristal substratda ösmegini aňladýar. Epitaksial prosesde plastinka grafit diskine ýüklenýär. Grafit diskiniň öndürijiligi we hili plastinkanyň epitaksial gatlagynyň hilinde möhüm rol oýnaýar. Epitaksial önümçilik ulgamynda köp sanly ultra ýokary arassalykly grafit we SIC örtükli ýokary arassalykly grafit esasy gerek.
Kompaniýamyzyň ýarymgeçiriji epitaksiýa üçin grafit binýady giň ulanylyş çägine eýedir, senagatda giňden ulanylýan enjamlaryň köpüsine gabat gelip bilýär we ýokary arassalyga, birmeňzeş örtüge, ajaýyp hyzmat möhletine, şeýle hem ýokary himiki garşylyga we termal durnuklylyga eýedir.
03 Ion implantasiýa üçin grafit aksesuarlary
Ion implantasiýa bor, fosfor we mysýak plazma şöhlesini belli bir energiýa çenli çaltlandyrmak we soňra ony plastinka materialynyň ýüz gatlagyna inýeksiýa etmek arkaly ýüz gatlagynyň material häsiýetlerini üýtgetmek prosesini aňladýar. Ion implantasiýa enjamynyň bölekleri ajaýyp ýylylyga çydamlylygy, ýylylyk geçirijiligi, ion şöhlesinden az poslama we az garyndylyk mukdary bolan ýokary arassa materiallardan ýasalmalydyr. Ýokary arassa grafit ulanylyş talaplaryna laýyk gelýär we ion implantasiýa enjamlarynyň uçuş turbasy, dürli ýaryklar, elektrodlar, elektrod örtükleri, geçirijiler, şöhle terminatorlary we ş.m. üçin ulanylyp bilner.
Biz dürli ion implantasiýa maşynlary üçin diňe bir grafit gorag örtügini üpjün etmek bilen çäklenmän, eýsem dürli spesifikasiýalardaky ýokary korroziýa garşylygyna eýe bolan ýokary arassa grafit elektrodlaryny we ion çeşmelerini hem üpjün edip bileris. Degişli modeller: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM we beýleki enjamlar. Mundan başga-da, biz gabat gelýän keramiki, wolfram, molibden, alýumin önümlerini we örtülen bölekleri hem üpjün edip bileris.
04 Grafit izolýasiýa materiallary we beýlekiler
Ýarymgeçirijiler öndürýän enjamlarda ulanylýan ýylylyk izolýasiýa materiallaryna grafit gaty keçe, ýumşak keçe, grafit folga, grafit kagyzy we grafit halaty girýär.
Biziň ähli çig mallarymyz import edilen grafit bolup, ony müşderiniň talaplarynyň anyk ölçegine görä kesip ýa-da tutuşlygyna satyp bolýar.
Uglerod-uglerod tabagy gün energiýasy bilen işleýän monokristal kremniý we polikristal kremniý öýjükleriniň önümçilik prosesinde plýonka örtügi üçin daşaýjy hökmünde ulanylýar. Iş prinsipi: kremniý çipini CFC tabagyna salyp, plýonka örtügini işläp çykarmak üçin peç turbasyna ibermeli.
