Khuôn thuyền composite carbon-carbon phủ CVD SiC

Mô tả ngắn gọn:

Thuyền/khuôn CFC phủ SiC của VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất nhất quán và đáng tin cậy trong thời gian dài. Nó có khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt cực tốt, độ tinh khiết cao, khả năng chống xói mòn, khiến nó trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Mô tả sản phẩm

Carbon / hợp chất carbon(sau đây gọi là "C / C hoặc CFC") là một loại vật liệu composite có nguồn gốc từ carbon và được gia cố bằng sợi carbon và các sản phẩm của nó (phôi sợi carbon). Nó vừa có tính trơ của carbon vừa có độ bền cao của sợi carbon. Nó có các đặc tính cơ học tốt, khả năng chịu nhiệt, chống ăn mòn, giảm chấn ma sát và các đặc tính dẫn nhiệt và dẫn điện

CVD-SiCLớp phủ có đặc điểm là cấu trúc đồng nhất, vật liệu nhỏ gọn, chịu nhiệt độ cao, chống oxy hóa, độ tinh khiết cao, chống axit & kiềm và thuốc thử hữu cơ, có tính chất vật lý và hóa học ổn định.

Các tính năng chính:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao:khả năng chống oxy hóa vẫn rất tốt khi nhiệt độ lên tới 1600 độ C.
2. Độ tinh khiết cao: được tạo ra bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học trong điều kiện khử trùng bằng clo ở nhiệt độ cao.
3. Khả năng chống xói mòn: độ cứng cao, bề mặt chặt chẽ, hạt mịn.
4. Khả năng chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và các chất phản ứng hữu cơ.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ

性质 / Tài sản

典型数值 / Giá trị điển hình

晶体结构 / Cấu trúc tinh thể

FCC giai đoạn β 多晶,主要为(111)取向

密度 / Mật độ

3,21g/cm³

硬度 / Độ cứng

2500 维氏硬度(tải 500g)

晶粒大小 / Kích thước hạt

2~10μm

纯度 / Độ tinh khiết hóa học

99,99995%

热容 / Công suất nhiệt

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa

2700℃

抗弯强度 / Độ bền uốn

415 MPa RT 4 điểm

杨氏模量 / Mô đun của Young

430 Gpa 4pt uốn cong, 1300℃

导热系数 / Độ dẫn nhiệt

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và silicon carbide tùy chỉnh với nhiều lớp phủ khác nhau như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v., có thể cung cấp nhiều bộ phận tùy chỉnh khác nhau cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.

Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn và đã tạo ra một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt chẽ hơn và ít bị bong tróc hơn.

Chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Trò chuyện trực tuyến trên WhatsApp!