Khuôn thuyền composite carbon-carbon phủ SiC CVD CFC

Mô tả ngắn gọn:

Khuôn/thuyền CFC phủ SiC của VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Sản phẩm có khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt tuyệt vời, độ tinh khiết cao, khả năng chống ăn mòn, trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

 


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Mô tả sản phẩm

Cacbon / vật liệu composite cacbon(sau đây gọi là "C/C hoặc CFC"Vật liệu composite (carbon) là một loại vật liệu có cấu trúc cơ bản là carbon và được gia cường bằng sợi carbon và các sản phẩm của nó (vật liệu tiền chế từ sợi carbon). Nó có cả tính chất quán tính của carbon và độ bền cao của sợi carbon. Vật liệu này có các đặc tính cơ học tốt, khả năng chịu nhiệt, chống ăn mòn, giảm ma sát và đặc tính dẫn nhiệt và dẫn điện tốt.

CVD-SiCLớp phủ có đặc điểm cấu trúc đồng nhất, vật liệu đặc chắc, chịu nhiệt độ cao, chống oxy hóa, độ tinh khiết cao, chống axit, kiềm và thuốc thử hữu cơ, với các tính chất vật lý và hóa học ổn định.

Các tính năng chính:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao:Khả năng chống oxy hóa vẫn rất tốt ngay cả khi nhiệt độ cao tới 1600°C.
2. Độ tinh khiết cao: được sản xuất bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
3. Khả năng chống mài mòn: độ cứng cao, bề mặt đặc chắc, hạt mịn.
4. Khả năng chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và các chất phản ứng hữu cơ.

Bệnh tim mạch SiC薄膜基本物理性能

Các tính chất vật lý cơ bản của SiC CVDlớp phủ

性质 / Tài sản

典型数值 / Giá trị điển hình

晶体结构 / Cấu trúc tinh thể

FCC giai đoạn β 多晶,主要为(111)取向

密度 / Mật độ

3,21 g/cm³

硬度 / Độ cứng

2500 维氏硬度(tải 500g)

晶粒大小 / Kích thước hạt

2~10μm

纯度 / Độ tinh khiết hóa học

99,99995%

热容 / Công suất nhiệt

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa

2700℃

抗弯强度 / Độ bền uốn

415 MPa RT 4 điểm

杨氏模量 / Mô đun của Young

Uốn cong 4 điểm, 430 GPa, 1300℃

导热系数 / Độ dẫn nhiệt

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với các lớp phủ khác nhau như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ cacbon thủy tinh, lớp phủ cacbon nhiệt phân, v.v., có thể cung cấp nhiều linh kiện tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.

Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu chất lượng cao hơn, và đã phát triển một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, giúp tăng cường độ bám dính giữa lớp phủ và chất nền, đồng thời giảm nguy cơ bong tróc.

Rất hân hạnh được đón tiếp quý khách đến thăm nhà máy của chúng tôi, hãy cùng trao đổi thêm nhé!

 

 

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Trò chuyện trực tuyến qua WhatsApp!