Isku-darka Kaarboon / Kaarboon(halkan waxaa loogu yeeraa ""C/C ama CFC") waa nooc ka mid ah walxaha isku dhafan oo ku salaysan kaarboon waxaana xoojiyay fiilada kaarboon iyo alaabteeda (preform-ka fiilada kaarboon). Waxay leedahay labadaba firfircoonida kaarboonka iyo xoogga sare ee fiilada kaarboonka. Waxay leedahay sifooyin farsamo oo wanaagsan, iska caabinta kulaylka, iska caabinta daxalka, yaraynta is jiidjiidka iyo astaamaha gudbinta kulaylka iyo korontada.
CVD-SiCdahaarka wuxuu leeyahay astaamo qaab-dhismeed isku mid ah, walxo is haysta, iska caabin heerkul sare, iska caabin oksaydh, daahirnimo sare, iska caabin aashito & alkali iyo reagent organic, oo leh sifooyin jireed iyo kiimiko oo deggan.
Astaamaha ugu muhiimsan:
1. Iska caabinta oksaydhka heerkulka sare:Iska caabbinta oksaydhku wali aad bay u fiican tahay marka heerkulku uu gaaro 1600 C.
2. Nadiifnimo sare: waxaa lagu sameeyaa kaydka uumiga kiimikada iyadoo xaalad koloriin heerkul sare leh.
3. Iska caabbinta nabaad-guurka: adkaansho sare, dusha sare oo is haysta, walxo yaryar.
4. Iska caabbinta daxalka: aashitada, alkali, milixda iyo walxaha dabiiciga ah.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifooyinka aasaasiga ah ee jireed ee CVD SiCdahaarka | |
| 性质 / Hanti | 典型数值 / Qiimaha Caadiga ah |
| 晶体结构 / Crystal Structure | FCC β wajiga 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Cufnaanta | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Adag | 2500 维氏硬度（500g oo culeys ah |
| 晶粒大小 / Hadhuudhka SiZe | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Nadiifnimada Kiimikada | 99.99995% |
| 热容 / Awoodda kulaylka | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Heerkulka Sublimation | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Xoog Jilicsan | 415 MPa RT 4-dhibcood |
| 杨氏模量 / Da'yarta Modulus | 430 GPA 4pt laab, 1300℃ |
| 导热系数 / Habdhaqanka kulaylka | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Balaadhinta kulaylka(CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
VET Energy waa soo saaraha dhabta ah ee alaabada graphite iyo silicon carbide ee loo habeeyay oo leh dahaadh kala duwan sida dahaarka SiC, dahaarka TaC, dahaarka kaarboonka galaaska ah, dahaarka kaarboonka pyrolytic, iwm., waxay bixin kartaa qaybo kala duwan oo loogu talagalay warshadaha semiconductor-ka iyo photovoltaic.
Kooxdayada farsamada waxay ka timaadaa hay'adaha cilmi-baarista ee ugu sarreeya gudaha, waxayna ku siin karaan xalal agab xirfadeed oo dheeraad ah.
Waxaan si joogto ah u horumarinnaa habab horumarsan si aan u bixinno agab horumarsan, waxaana ka shaqeynay tignoolajiyad gaar ah oo shati leh, taas oo ka dhigi karta isku xirka u dhexeeya dahaarka iyo substrate-ka mid adag oo aan u nuglaan kala go'a.
Si diirran ayaan kuugu soo dhaweyneynaa inaad booqato warshaddayada, aan yeelano dood dheeraad ah!
