Stampo per barca in composito carbonio-carbonio rivestito in CVD SiC CFC

Breve descrizione:

Lo stampo/barca in CFC rivestito in SiC di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Presenta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.


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Descrizione del prodotto

Compositi di carbonio/carbonio(di seguito denominato "C/C o CFC") è un tipo di materiale composito a base di carbonio e rinforzato con fibra di carbonio e suoi prodotti (preformati in fibra di carbonio). Possiede sia l'inerzia del carbonio che l'elevata resistenza della fibra di carbonio. Presenta buone proprietà meccaniche, resistenza al calore, resistenza alla corrosione, smorzamento dell'attrito e conduttività termica ed elettrica.

CVD-SiCIl rivestimento presenta le seguenti caratteristiche: struttura uniforme, materiale compatto, resistenza alle alte temperature, resistenza all'ossidazione, elevata purezza, resistenza agli acidi e agli alcali e reagente organico, con proprietà fisiche e chimiche stabili.

Caratteristiche principali:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura:la resistenza all'ossidazione è ancora molto buona anche a temperature elevate, fino a 1600 °C.
2. Elevata purezza: ottenuto mediante deposizione chimica da vapore in condizioni di clorazione ad alta temperatura.
3. Resistenza all'erosione: elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
4. Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.

malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

性质 / Proprietà

典型数值 / Valore tipico

晶体结构 / Struttura cristallina

Fase β FCC 多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)

晶粒大小 / Granulometria

2~10μm

纯度 / Purezza chimica

99,99995%

热容 / Capacità termica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura di sublimazione

2700℃

抗弯强度 / Resistenza alla flessione

415 MPa RT 4 punti

杨氏模量 / Modulo di Young

430 Gpa 4pt curva, 1300℃

导热系数 / Conducibilità termica

300W·m-1·K-1

Dilatazione termica / Dilatazione termica (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con diversi rivestimenti come rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., in grado di fornire vari componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornirvi le soluzioni più professionali in materia di materiali.

Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali ancora più avanzati e abbiamo elaborato una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più salda e meno soggetta a distacco.

Vi invitiamo calorosamente a visitare la nostra fabbrica, per approfondire la questione!

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