CVD SiCコーティング炭素複合材CFCボート金型

簡単な説明:

VET Energy社のSiCコーティングCFCボート/モールドは、長期間にわたり安定した信頼性の高い性能を発揮するように設計された高性能製品です。優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐侵食性を備えており、ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。

 


製品詳細

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製品説明

炭素/炭素複合材料(以下「C / C または CFC"炭素繊維強化複合材料(カーボンファイバープリフォーム)は、炭素をベースとし、炭素繊維とその製品で強化された複合材料の一種です。炭素の慣性と炭素繊維の高い強度を併せ持ち、優れた機械的特性、耐熱性、耐腐食性、摩擦減衰性、熱伝導性、電気伝導性を備えています。

CVD-SiCこのコーティングは、均一な構造、緻密な材料​​、耐高温性、耐酸化性、高純度、耐酸性・耐アルカリ性、耐有機試薬性といった特徴を持ち、安定した物理的・化学的性質を有しています。

主な特徴:

1. 高温酸化耐性:1600℃という高温でも、酸化耐性は非常に良好です。
2. 高純度:高温塩素化条件下での化学気相堆積法により製造。
3. 耐侵食性:高硬度、緻密な表面、微細粒子。
4. 耐腐食性:酸、アルカリ、塩、有機試薬。

CVD SiC膜の基本物理性能

CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング

性质 / プロパティ

代表値 / 代表値

結晶構造 / 結晶構造

FCC β 相多結晶、主に(111)取方向

密度 / 密度

3.21 g/cm³

硬度・硬さ

2500维度硬度(500g荷重)

結晶粒大 / 粒サイズ

2~10μm

品質 / 化学純度

99.99995%

熱容量 / 熱容量

640 J・kg-1・K-1

昇华温度 / 昇華温度

2700℃

耐弯强度 / 曲げ強さ

415 MPa RT 4点

杨氏模量 / ヤング率

430 GPa 4点曲げ、1300℃

导熱系数 / 熱伝導率

300W・m-1・K-1

熱膨張胀系数 / 熱膨張(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

VET Energyは、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなど、さまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の真のメーカーであり、半導体および太陽光発電業界向けにさまざまなカスタマイズ部品を提供できます。

当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

当社は、より高度な材料を提供するために、常に先進的なプロセスを開発しており、コーティングと基材との結合をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。

ぜひ当社の工場にお越しください。さらに詳しく話し合いましょう!

 

 

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