በከባቢ አየር ግፊት ስር የሲሊኮን ካርቦይድ የቁሳቁስ መዋቅር እና ባህሪያት

ዘመናዊ ሲ፣ ኤን፣ ቢ እና ሌሎች ኦክሳይድ ያልሆኑ ከፍተኛ የቴክኖሎጂ መከላከያ ጥሬ ዕቃዎች፣ በከባቢ አየር ግፊት የተነከረ ሲሊኮን ካርቦይድ ሰፊ፣ ኢኮኖሚያዊ፣ ኤመሪ ወይም የማይቀለበስ አሸዋ ተብሎ ሊጠራ ይችላል። ንፁህ ሲሊኮን ካርቦይድ ቀለም የሌለው ግልጽ ክሪስታል ነው። ታዲያ የሲሊኮን ካርቦይድ የቁሳቁስ መዋቅር እና ባህሪያት ምንድናቸው?

በከባቢ አየር ግፊት ስር የተበተነ ሲሊኮን ካርቦይድ

የከባቢ አየር ግፊት ያለው የሲሊን ካርቦይድ ቁሳቁስ መዋቅር፡

በኢንዱስትሪ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው የከባቢ አየር ግፊት ሲንተሬድ ሲሊከን ካርቦይድ እንደ ቆሻሻው አይነት እና ይዘት ቀላል ቢጫ፣ አረንጓዴ፣ ሰማያዊ እና ጥቁር ሲሆን ንፁህነቱም የተለየ ሲሆን ግልጽነቱም የተለየ ነው። የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታል መዋቅር በስድስት ቃላት ወይም በአልማዝ ቅርጽ ፕሉቶኒየም እና ኩቢክ ፕሉቶኒየም-ሲክ ይከፈላል። ፕሉቶኒየም-ሲክ በክሪስታል መዋቅር ውስጥ ባለው የካርቦን እና የሲሊከን አቶሞች የተለያዩ የመደራረብ ቅደም ተከተል ምክንያት የተለያዩ የመበላሸት ሁኔታዎችን ይፈጥራል፣ እና ከ70 በላይ የሚሆኑ የመበላሸት ዓይነቶች ተገኝተዋል። ቤታ-ሲሲ ከ2100 በላይ ወደ አልፋ-ሲሲ ይቀየራል። የሲሊኮን ካርቦይድ የኢንዱስትሪ ሂደት በተከላካይ ምድጃ ውስጥ ከፍተኛ ጥራት ባለው የኳርትዝ አሸዋ እና ፔትሮሊየም ኮክ የተጣራ ነው። የተጣሩ የሲሊኮን ካርቦይድ ብሎኮች የተፈጨ፣ የአሲድ-ቤዝ ጽዳት፣ ማግኔቲክ መለያየት፣ ማጣሪያ ወይም የውሃ ምርጫ የተለያዩ የቅንጣት መጠን ምርቶችን ለማምረት ይዘጋጃሉ።

የከባቢ አየር ግፊት ያለው የሲሊን ካርቦይድ የቁሳቁስ ባህሪያት፡

የሲሊኮን ካርቦይድ ጥሩ የኬሚካል መረጋጋት፣ የሙቀት ማስተላለፊያ፣ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት፣ የመልበስ መቋቋም ስላለው፣ ከማጥላላት አጠቃቀም በተጨማሪ ብዙ አጠቃቀሞች አሉ፡ ለምሳሌ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ዱቄት በተርባይን ኢምፔለር ወይም በሲሊንደር ብሎክ ውስጠኛ ግድግዳ ላይ በልዩ ሂደት የተሸፈነ ሲሆን ይህም የመልበስ መቋቋምን ሊያሻሽል እና የ1 እስከ 2 ጊዜ ዕድሜን ሊያራዝም ይችላል። ከሙቀት መቋቋም፣ አነስተኛ መጠን፣ ቀላል ክብደት፣ ከፍተኛ ደረጃ መከላከያ ቁሳቁሶች ከፍተኛ ጥንካሬ የተሰራ ሲሆን የኃይል ቆጣቢነት በጣም ጥሩ ነው። ዝቅተኛ ደረጃ ያለው የሲሊኮን ካርቦይድ (ወደ 85% ሲሲ ጨምሮ) የብረት ሥራ ፍጥነትን ለመጨመር እና የብረት ጥራትን ለማሻሻል የኬሚካል ስብጥርን በቀላሉ ለመቆጣጠር በጣም ጥሩ ዲኦክሲዳይዘር ነው። በተጨማሪም፣ በከባቢ አየር ግፊት የተሰራው የሲንቴሬድ ሲሊኮን ካርቦይድ የሲሊኮን ካርቦን ዘንጎች የኤሌክትሪክ ክፍሎችን በማምረት በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል።

የሲሊኮን ካርቦይድ በጣም ጠንካራ ነው። የሞርስ ጥንካሬ 9.5 ሲሆን ከዓለም ጠንካራ አልማዝ (10) ቀጥሎ ሁለተኛ ሲሆን እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂ ኃይል ያለው ሴሚኮንዳክተር ሲሆን በከፍተኛ ሙቀት ኦክሳይድን መቋቋም ይችላል። የሲሊኮን ካርቦይድ ቢያንስ 70 ክሪስታላይን ዓይነቶች አሉት። የፕሉቶኒየም-ሲሊከን ካርቦይድ ከ2000 በላይ ባለው የሙቀት መጠን የሚፈጠር እና ባለ ስድስት ማዕዘን ቅርጽ ያለው ክሪስታላይን መዋቅር (ከዉርትዚት ጋር ተመሳሳይ) ያለው የተለመደ ኢሶመር ነው። በከባቢ አየር ግፊት ስር የሲንተርድ ሲሊከን ካርቦይድ

በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ አጠቃቀም

የሲሊኮን ካርቦይድ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ሰንሰለት በዋናነት የሲሊኮን ካርቦይድ ከፍተኛ ንፅህና ያለው ዱቄት፣ ነጠላ ክሪስታል ንጣፍ፣ ኤፒታክሲያል ሉህ፣ የኃይል ክፍሎች፣ የሞዱል ማሸጊያ እና የተርሚናል አፕሊኬሽኖችን ያካትታል።

1. ነጠላ ክሪስታል ንጣፍ ነጠላ ክሪስታል ንጣፍ ሴሚኮንዳክተር ደጋፊ ቁሳቁስ፣ አስተላላፊ ቁሳቁስ እና ኤፒታክሲያል የእድገት ንጣፍ ነው። በአሁኑ ጊዜ የሲሲ ነጠላ ክሪስታል የእድገት ዘዴዎች የፊዚካል ትነት ማስተላለፊያ ዘዴ (PVT ዘዴ)፣ የፈሳሽ ደረጃ ዘዴ (LPE ዘዴ) እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ ዘዴ (HTCVD ዘዴ) ያካትታሉ። በከባቢ አየር ግፊት ስር የተነጠፈ ሲሊኮን ካርቦይድ

2. የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ሉህ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ሉህ፣ ነጠላ ክሪስታል ፊልም (ኤፒታክሲያል ንብርብር) ከሲሊኮን ካርቦይድ ሉህ ጋር ተመሳሳይ አቅጣጫ ያለው ለሲሊኮን ካርቦይድ ሉህ የተወሰኑ መስፈርቶች ካሉት የንዑስ ክሪስታል ክሪስታል ጋር። በተግባራዊ አተገባበር፣ ሰፊ ባንድ ክፍተት ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ሁሉም ማለት ይቻላል በኤፒታክሲያል ንብርብር ውስጥ ይመረታሉ፣ እና የሲሊኮን ቺፕ ራሱ እንደ ንዑስ ክፍል ብቻ ጥቅም ላይ ይውላል፣ የ GaN ኤፒታክሲያል ንብርብር ንዑስ ክፍልን ጨምሮ።

3. ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሊኮን ካርቦይድ ዱቄት ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሊኮን ካርቦይድ ዱቄት በPVT ዘዴ የሲሊኮን ካርቦይድ ነጠላ ክሪስታል እድገትን የሚያበረታታ ጥሬ እቃ ሲሆን የምርቱ ንፅህና በቀጥታ የሲሊኮን ካርቦይድ ነጠላ ክሪስታል የእድገት ጥራት እና የኤሌክትሪክ ባህሪያትን ይነካል።

4. የኃይል መሣሪያው ከሲሊኮን ካርቦይድ ቁሳቁስ የተሰራ ሰፊ ባንድ ኃይል ሲሆን ከፍተኛ የሙቀት መጠን፣ ከፍተኛ ድግግሞሽ እና ከፍተኛ ቅልጥፍና ባህሪያት አሉት። በመሳሪያው የአሠራር ቅርፅ መሠረት የሲሲ የኃይል አቅርቦት መሳሪያው በዋናነት የኃይል ዳዮድ እና የኃይል ማብሪያ / ማጥፊያ ቱቦን ያካትታል።

5. ተርሚናል በሶስተኛ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ውስጥ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴሚኮንዳክተሮች ከጋሊየም ናይትራይድ ሴሚኮንዳክተሮች ጋር የሚጣጣሙ የመሆን ጥቅም አላቸው። ከፍተኛ የልወጣ ቅልጥፍና፣ ዝቅተኛ የማሞቂያ ባህሪያት፣ ቀላል ክብደት እና ሌሎች የSiC መሳሪያዎች ጥቅሞች ምክንያት፣ የታችኛው ኢንዱስትሪ ፍላጎት እየጨመረ መሄዱን ቀጥሏል፣ እና የSiO2 መሳሪያዎችን የመተካት አዝማሚያ አለ።