Ìṣètò àti àwọn ohun-ìní ohun èlò ti sintered silicon carbide lábẹ́ ìfúnpá afẹ́fẹ́

Àwọn ohun èlò ìgbàlódé bíi C, N, B àti àwọn ohun èlò mìíràn tí kìí ṣe oxide, tí a fi ẹ̀rọ gíga ṣe, tí a fi ẹ̀rọ afẹ́fẹ́ ṣe, tí a fi irin ṣe, jẹ́ gbọ̀ngàn tó gbòòrò, a lè sọ pé ó jẹ́ iyanrìn emery tàbí iyanrìn tí kò ní àwọ̀. Ohun èlò carbide silicon mímọ́ jẹ́ kristal tí kò ní àwọ̀. Nítorí náà, kí ni ìṣètò àti àwọn ànímọ́ ohun èlò carbide silicon?

Silikoni carbide tí a ti fi omi ṣan lábẹ́ ìfúnpá afẹ́fẹ́

Ìṣètò ohun èlò ti ìfúnpá afẹ́fẹ́ tí a fi síntì sílíìkì carbide ṣe:

Agbára ìfúnpọ̀ afẹ́fẹ́ tí a fi ń lo ohun èlò irin silicon carbide tí a ń lò nínú ilé iṣẹ́ jẹ́ ofeefee fẹ́ẹ́rẹ́fẹ́, ewéko, búlúù àti dúdú gẹ́gẹ́ bí irú àti àkóónú àwọn ohun tí kò ní ìdọ̀tí, ìwẹ̀nùmọ́ sì yàtọ̀ síra, ìfarahàn sì yàtọ̀. A pín ìṣètò kristal silicon carbide sí plutonium oní-ọ̀rọ̀ mẹ́fà tàbí oní-orúkọ diamond àti cubic plutonium-sic. Plutonium-sic ń ṣe onírúurú ìyípadà nítorí ìtòlẹ́sẹẹsẹ onírúurú ti àwọn átọ̀mù carbon àti silicon nínú ìṣètò kristal, a sì ti rí oríṣiríṣi ìyípadà tó lé ní 70. beta-SIC ń yípadà sí alpha-SIC lókè 2100. A fi yanrìn quartz àti petroleum coke tó ga jùlọ nínú iná ààrò resistance ṣe àtúnṣe iṣẹ́ ilé iṣẹ́ ti silicon carbide. A ń fọ́ àwọn bulọọki silicon carbide tí a ti fọ̀ mọ́, a ń fọ acid-base cleaning, a ń yà wọ́n sọ́tọ̀, a ń yọ́ wọn tàbí a ń yan omi láti ṣe onírúurú àwọn ọjà tí ó tóbi sí i.

Àwọn ànímọ́ ohun èlò ti ìfúnpá afẹ́fẹ́ tí a fi síntì sílíìkì carbide ṣe:

Silikoni carbide ní ìdúróṣinṣin kẹ́míkà tó dára, ìfaradà ooru, ìfàsẹ́yìn ooru, àti ìfaradà aṣọ, nítorí náà, yàtọ̀ sí lílo abrasive, ọ̀pọ̀lọpọ̀ lílò ló wà: Fún àpẹẹrẹ, a fi ìlànà pàtàkì kan bo lulú carbide silicon lórí ògiri inú ti turbine impeller tàbí silinda, èyí tó lè mú kí ìfaradà aṣọ sunwọ̀n sí i, kí ó sì mú kí ọjọ́ ayé rẹ̀ gùn sí i ní ìgbà 1 sí 2. A fi àwọn ohun èlò tí kò ní ooru, ìwọ̀n kékeré, ìwọ̀n fẹ́ẹ́rẹ́fẹ́, agbára gíga ti àwọn ohun èlò tí kò ní agbára gíga ṣe é, agbára ṣíṣe dáadáa dára gan-an. Carbide silicon onípele kékeré (pẹ̀lú nǹkan bí 85% SiC) jẹ́ deoxidizer tó dára fún mímú kí iyàrá iṣẹ́ irin pọ̀ sí i, kí ó sì ṣàkóso ìṣètò kẹ́míkà tó rọrùn láti mú kí irin dára sí i. Ní àfikún, a tún ń lo carbide silicon onítẹ̀síwájú nínú ṣíṣe àwọn ẹ̀yà iná mànàmáná ti àwọn ọ̀pá carbon silicon.

Carbide silikoni le gan-an. Agbara Morse jẹ 9.5, ni ikeji lẹhin diamond lile agbaye (10), o jẹ semiconductor pẹlu agbara ooru ti o dara julọ, o le koju oxidation ni awọn iwọn otutu giga. Carbide silikoni ni o kere ju awọn iru crystalline 70. Carbide Plutonium-silicon jẹ isomer ti o wọpọ ti o dagba ni awọn iwọn otutu ti o ju 2000 lọ ati pe o ni eto crystalline hexagonal (iru wurtzite). Carbide silikoni ti a fi sintered labẹ titẹ afẹfẹ

Lilo ti silikoni carbide ninu ile-iṣẹ semiconductor

Ẹ̀wọ̀n ilé iṣẹ́ semikondokitorin silikoni carbide ní pàtàkì pẹ̀lú lulú ìwẹ̀mọ́ silicon carbide gíga, ohun èlò ìpìlẹ̀ kristali kan ṣoṣo, ìwé epitaxial, àwọn èròjà agbára, àpótí module àti àwọn ohun èlò ìtẹ̀síwájú.

1. Ohun èlò ìpìlẹ̀ kristali kan ṣoṣo Ohun èlò ìpìlẹ̀ kristali kan ṣoṣo jẹ́ ohun èlò ìrànwọ́ semiconductor, ohun èlò ìdarí àti ohun èlò ìdàgbàsókè epitaxial. Lọ́wọ́lọ́wọ́, àwọn ọ̀nà ìdàgbàsókè ti kristali kan ṣoṣo SiC ní ọ̀nà ìyípadà vapor ti ara (ọ̀nà PVT), ọ̀nà ìpele omi (ọ̀nà LPE), àti ọ̀nà ìdènà vapor kemikali tí ó ga ní ìwọ̀n otútù (ọ̀nà HTCVD).

2. Ìwé Epitaxial Ìwé Silicon carbide epitaxial, ìwé silicon carbide, fíìmù kirisita kan ṣoṣo (ìpele epitaxial) pẹ̀lú ìtọ́sọ́nà kan náà gẹ́gẹ́ bí kristal substrate tí ó ní àwọn ohun kan pàtó fún substrate silicon carbide. Nínú àwọn ohun èlò ìṣe, gbogbo àwọn ẹ̀rọ semiconductor wide band gap ni a ṣe ní ìpele epitaxial, àti pé a lo chip silicon fúnrarẹ̀ gẹ́gẹ́ bí substrate nìkan, títí kan substrate ti GaN epitaxial layer.

3. Lúùlù kábíìdì sílíìkì tó mọ́ tónítóní. Lúùlù kábíìdì sílíìkì tó mọ́ tónítóní ni ohun èlò tó ń mú kí kíbíìdì kábíìdì sílíìkì tó mọ́ tónítóní nípa lílo ọ̀nà PVT dàgbà, ìwẹ̀nùmọ́ ọjà náà sì ní ipa lórí dídára ìdàgbàsókè àti àwọn ànímọ́ iná mànàmáná ti kíbíìdì kábíìdì sílíìkì tó mọ́ tónítóní.

4. Ẹ̀rọ agbára náà jẹ́ agbára ìpele-ìwọ̀n ...

5. Ibùdó Nínú àwọn ohun èlò semiconductor ìran kẹta, àwọn semiconductor silicon carbide ní àǹfààní láti jẹ́ àfikún sí àwọn semiconductor gallium nitride. Nítorí agbára ìyípadà gíga, àwọn ànímọ́ ìgbóná tí kò pọ̀, ìwọ̀nba àti àwọn àǹfààní mìíràn ti àwọn ẹ̀rọ SiC, ìbéèrè ti ilé iṣẹ́ ìsàlẹ̀ ń tẹ̀síwájú láti pọ̀ sí i, àti pé àṣà kan wà láti rọ́pò àwọn ẹ̀rọ SiO2.