Yarımkeçirici sənayesinin qrafit material tələblərinə olan tələbləri xüsusilə yüksəkdir, qrafitin incə hissəcik ölçüsü yüksək dəqiqliyə, yüksək temperatur müqavimətinə, yüksək möhkəmliyə, kiçik itkiyə və digər üstünlüklərə malikdir, məsələn: sinterlənmiş qrafit məhsulları qəlib.Yarımkeçirici sənayesində istifadə olunan qrafit avadanlıqlarının (qızdırıcılar və onların sinterləşdirilmiş qəlibləri daxil olmaqla) təkrarlanan isitmə və soyutma proseslərinə davam gətirməsi tələb olunduğundan, qrafit avadanlıqlarının xidmət müddətini uzatmaq üçün istifadə olunan qrafit materiallarının sabit işləmə qabiliyyətinə və istiliyədavamlı təsir funksiyasına malik olması tələb olunur.
01 Yarımkeçirici kristalların böyüməsi üçün qrafit aksesuarları
Yarımkeçirici kristalların yetişdirilməsi üçün istifadə olunan bütün proseslər yüksək temperatur və korroziyaya davamlı mühitdə işləyir. Kristal yetişdirmə sobasının isti zonası adətən qızdırıcı, potolka, izolyasiya silindri, istiqamətləndirici silindr, elektrod, potolka tutucusu, elektrod qozu və s. kimi istiliyədavamlı və korroziyaya davamlı yüksək təmizlikli qrafit komponentləri ilə təchiz olunur.
Biz kristal istehsal cihazlarının bütün qrafit hissələrini fərdi və ya dəst şəklində, yaxud müştəri tələblərinə uyğun olaraq müxtəlif ölçülü xüsusi hazırlanmış qrafit hissələri ilə istehsal edə bilərik. Məhsulların ölçüsü yerində ölçülə bilər və hazır məhsulların kül tərkibi daha az ola bilər.5ppm-dən çox.
02 Yarımkeçirici epitaksiya üçün qrafit aksesuarları
Epitaksial proses tək kristal substrat üzərində substratla eyni qəfəs düzülüşünə malik tək kristal material təbəqəsinin böyüməsinə aiddir. Epitaksial prosesdə lövhə qrafit diskə yüklənir. Qrafit diskin performansı və keyfiyyəti lövhənin epitaksial təbəqəsinin keyfiyyətində mühüm rol oynayır. Epitaksial istehsal sahəsində çoxlu sayda ultra yüksək təmizlikli qrafit və SIC örtüklü yüksək təmizlikli qrafit bazası tələb olunur.
Şirkətimizin yarımkeçirici epitaksiya üçün qrafit bazası geniş tətbiq sahəsinə malikdir, sənayedə ən çox istifadə olunan avadanlıqların əksəriyyətinə uyğundur və yüksək təmizliyə, vahid örtüyə, əla xidmət müddətinə, yüksək kimyəvi müqavimətə və istilik stabilliyinə malikdir.
03 İon implantasiyası üçün qrafit aksesuarları
İon implantasiyası, bor, fosfor və arsenin plazma şüasının müəyyən bir enerjiyə qədər sürətləndirilməsi və sonra səth təbəqəsinin material xüsusiyyətlərini dəyişdirmək üçün lövhə materialının səth təbəqəsinə yeridilməsi prosesinə aiddir. İon implantasiya cihazının komponentləri əla istilik müqavimətinə, istilik keçiriciliyinə, ion şüasının yaratdığı daha az korroziyaya və aşağı çirk tərkibinə malik yüksək təmizlikli materiallardan hazırlanmalıdır. Yüksək təmizlikli qrafit tətbiq tələblərinə cavab verir və ion implantasiya avadanlıqlarının uçuş borusu, müxtəlif yarıqlar, elektrodlar, elektrod örtükləri, borular, şüa terminatorları və s. üçün istifadə edilə bilər.
Biz yalnız müxtəlif ion implantasiya maşınları üçün qrafit qoruyucu örtük təmin etməklə kifayətlənmirik, həm də müxtəlif spesifikasiyalara malik yüksək korroziyaya davamlı yüksək təmizlikli qrafit elektrodları və ion mənbələri təmin edə bilərik. Tətbiq olunan modellər: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM və digər avadanlıqlar. Bundan əlavə, uyğun keramika, volfram, molibden, alüminium məhsulları və örtüklü hissələr də təmin edə bilərik.
04 Qrafit izolyasiya materialları və digərləri
Yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında istifadə olunan istilik izolyasiya materiallarına qrafit bərk keçə, yumşaq keçə, qrafit folqa, qrafit kağızı və qrafit ip daxildir.
Bütün xammallarımız idxal olunmuş qrafitdir və müştərinin tələblərinin xüsusi ölçüsünə uyğun olaraq kəsilə və ya bütövlükdə satıla bilər.
Karbon-karbon qabı günəş monokristal silikon və polikristal silikon elementlərinin istehsal prosesində film örtüyü üçün daşıyıcı kimi istifadə olunur. İş prinsipi belədir: silikon çipini CFC qabına daxil edin və film örtüyünü emal etmək üçün soba borusuna göndərin.
