Hersteller von oberen Halbmonden aus mit TaC beschichtetem Graphit

Kurze Beschreibung:

Der VET Energy TaC-beschichtete Graphitoberhalbmond ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine konstante und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Es zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist somit die perfekte Lösung für die Waferverarbeitung.


Produktdetail

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TaC-beschichtet Graphitoberteile sind Teile für Hochtemperatur- und Spezialprozessanwendungen, mit einer Struktur aus Graphitsubstrat undTaC-Beschichtung. Sie verfügen über eine hohe Temperaturstabilität, ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und Korrosionsbeständigkeit, können Belastungen und Temperaturen unter extremen Bedingungen standhalten und gewährleisten die Stabilität und Effizienz des Prozesses.

Bei der TaC-Beschichtung handelt es sich um eine Art Tantalkarbid-Beschichtung (TaC), die durch physikalische Gasphasenabscheidung hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:

1. Hohe Härte: Die Härte der TaC-Beschichtung ist hoch und kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen. Es handelt sich um eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.

2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.

3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung behält auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen ihre hervorragende Leistung.

4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.

TaC-Beschichtung5
TaC-Beschichtung1

碳化钽涂层物理特性物理特性

Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung

密度/ Dichte

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad

0,3

热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Härte (HK)

2000 HK

电阻 / Widerstand

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Thermische Stabilität

<2500℃

石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen

-10~-20um

涂层厚度 / Schichtdicke

≥20 µm typischer Wert (35 µm±10 µm)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. ist ein Hightech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger, fortschrittlicher Materialien konzentriert. Die Materialien und Technologien umfassen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung usw. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, Halbleiterindustrie, erneuerbaren Energien, Metallurgie usw.

Unser technisches Team kommt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen professionellere Materiallösungen bieten.

Wir heißen Sie herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen. Lassen Sie uns das weiter besprechen!

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