Rekristallisiertes Siliziumkarbid-Waferboot mit CVD-Beschichtung

Kurze Beschreibung:

Das rekristallisierte Siliziumkarbid-Waferschiffchen von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine konstante und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Es zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist damit die perfekte Lösung für die Waferverarbeitung.


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Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid (R-SiC) ist ein Hochleistungswerkstoff mit der höchsten Härte nach Diamant. Es entsteht bei Temperaturen über 2000 °C. Es behält viele hervorragende Eigenschaften von SiC, wie z. B. hohe Temperaturfestigkeit, hohe Korrosionsbeständigkeit, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, gute Thermoschockbeständigkeit usw.

● Hervorragende mechanische Eigenschaften. Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine höhere Festigkeit und Steifigkeit als Kohlefaser, ist schlagzäh und bietet auch bei extremen Temperaturen eine gute Leistung. Es bietet in verschiedenen Situationen ein besseres Gegengewicht. Darüber hinaus ist es flexibel und lässt sich durch Dehnen und Biegen nicht so leicht beschädigen, was seine Leistung deutlich verbessert.

Hohe Korrosionsbeständigkeit. Rekristallisiertes Siliziumkarbid weist eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber verschiedenen Medien auf, verhindert Erosion durch verschiedene korrosive Medien, behält seine mechanischen Eigenschaften lange bei und verfügt über eine starke Haftung, wodurch eine längere Lebensdauer erreicht wird. Darüber hinaus weist es eine gute thermische Stabilität auf, passt sich an einen bestimmten Temperaturbereich an und verbessert so die Anwendungswirkung.

● Sintern schrumpft nicht. Da beim Sinterprozess kein Schrumpfen auftritt, entstehen keine Eigenspannungen, die zu Verformungen oder Rissen im Produkt führen. So können Teile mit komplexen Formen und hoher Präzision hergestellt werden.

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重结晶碳化硅物理特性

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

性质 / Eigentum

典型数值 / Typischer Wert

使用温度/ Arbeitstemperatur (°C)

1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)

SiC含量/ SiC-Gehalt

> 99,96 %

自由Si含量/ Kostenloser Si-Inhalt

< 0,1 %

体积密度/Schüttdichte

2,60–2,70 g/cm3

气孔率/ Scheinbare Porosität

< 16 %

抗压强度/ Druckfestigkeit

> 600MPa

常温抗弯强度/Kaltbiegefestigkeit

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Warmbiegefestigkeit

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Wärmeausdehnung bei 1500 °C

4,70 10-6/°C

导热系数/Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C

23W/m²K

杨氏模量/ Elastizitätsmodul

240 GPa

抗热震性/ Thermoschockbeständigkeit

Sehr gut

VET Energy ist Dieechter Hersteller von kundenspezifischen Graphit- und Siliziumkarbidprodukten mit CVD-Beschichtung,liefern kannverschiedenkundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. OUnser technisches Team kommt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen anbietenfür Sie.

Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Prozesse, um noch fortschrittlichere Materialien bereitzustellen,Undhaben eine exklusive patentierte Technologie entwickelt, die die Bindung zwischen der Beschichtung und dem Substrat fester und weniger anfällig für Ablösungen machen kann.

Herz-Kreislauf-Erkrankungen SiC薄膜基本物理性能

Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung

性质 / Eigentum

典型数值 / Typischer Wert

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC-β-Phase多晶, 主要为(111)取向

密度 / Dichte

3,21 g/cm³

硬度 / Härte

2500 U/min (500 g Ladung)

晶粒大小 / Korngröße

2 bis 10 μm

纯度 / Chemische Reinheit

99,99995 %

热容 / Wärmekapazität

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimationstemperatur

2700℃

抗弯强度 / Biegefestigkeit

415 MPa RT 4-Punkt

杨氏模量 / Elastizitätsmodul

430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃

导热系数 / ThermalLeitfähigkeit

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)

4,5 × 10-6K-1

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