Hochtemperatur-Quarzofenrohr

Kurze Beschreibung:

VET Energy liefert reine Quarzrohre, die aus hochwertigem Quarzrohstoff hergestellt und durch fortschrittliche Rohrherstellungsverfahren veredelt werden. Die Produkte zeichnen sich durch hohe Reinheit, gute Transparenz, hohe Temperaturbeständigkeit, Thermoschockbeständigkeit und hohe chemische Stabilität aus. Sie finden breite Anwendung in der Wärmebehandlung von Halbleitern, Photovoltaik, Glasfasern, Spezialmaterialien und anderen Hightech-Bereichen.

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Produktdetail

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Produktbeschreibung

DerQuarzofenröhrensind zentrale Verbrauchsmaterialien in der Halbleiterfertigung, der Photovoltaikindustrie, der Materialwärmebehandlung und der Laborforschung. Sie bestehen aus hochreinem Quarzglas (SiO2) mit ausgezeichneter thermischer Stabilität, chemischer Inertheit und optischer Transparenz. Dieses Produkt ist für Hochtemperaturprozesse (wie Diffusion, Oxidation, CVD, Glühen usw.) konzipiert und kann an eine Vielzahl von Rohröfen und PECVD-Anlagen angepasst werden, die in der Waferverarbeitung, der Photovoltaikzellenbeschichtung, dem epitaktischen Wachstum von LEDs und anderen hochpräzisen Bereichen weit verbreitet sind.

Die Kernvorteile der VET Energy Quarzröhren:

-Ultrahochreines Material

Durch die Verwendung von hochreinem Quarzsand mit einer Reinheit von 99,99 % oder mehr und einem Verunreinigungsgehalt (Na, K, Fe usw.) von <10 ppm wird eine Kontamination der empfindlichen Prozessumgebung vermieden.

Oberflächengüte Ra ≤ 0,8 μm, wodurch die Partikelhaftung verringert und die Gleichmäßigkeit der Beschichtung gewährleistet wird.

-Hervorragende Temperaturbeständigkeit

Langfristige Betriebstemperatur: 1200 °C (Dauerbetrieb); kurzfristige Temperaturspitze: 1450 °C (≤ 2 Stunden).

Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient (5,5 x 10^-7/℃), ausgezeichnete Wärmeschockbeständigkeit, hält schnellem Temperaturanstieg und -abfall stand (≤10℃/min).

-Präzise Größenkontrolle

Toleranz des Innendurchmessers ±0,5 mm, Geradheitsfehler <1 mm/m, um eine enge Übereinstimmung mit dem Ofenkörper zu gewährleisten.

Unterstützt nicht standardmäßige Anpassungen, Innendurchmesserbereich 20 mm – 500 mm, Länge 100 mm – 3000 mm.

-Chemische Inertheit und Korrosionsbeständigkeit

Beständig gegen starke Säuren (außer HF), starke Laugen und die meisten organischen Lösungsmittel, was die Lebensdauer verlängert.

Ausgezeichnete Gasdichtheit, Leckrate <＜1x10^-9Pa.m³/s, geeignet für Vakuum- oder Schutzgasumgebung.

-Kundenspezifischer Service

Stützöffnungen, Flansche, Mehrkanäle, geformte Strukturen und andere Designs, um spezielle Prozessanforderungen zu erfüllen.

Kann zur Verbesserung der Kristallisationsbeständigkeit mit einer Siliziumkarbid-Beschichtung (SiC) vorbeschichtet werden.

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein Hightech-Unternehmen, das sich auf die Entwicklung und Produktion von hochmodernen High-End-Werkstoffen konzentriert. Zu den Werkstoffen und Technologien zählen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlungen wie SiC-Beschichtungen, TaC-Beschichtungen, Glaskohlenstoffbeschichtungen, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtungen usw. Diese Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, Halbleiterindustrie, neuen Energien, Metallurgie usw.

Unser technisches Team kommt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und hat mehrere patentierte Technologien entwickelt, um die Leistung und Qualität der Produkte sicherzustellen. Darüber hinaus können wir unseren Kunden professionelle Materiallösungen bieten.