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Soportes de grafito recubiertos de SiC

Mantenemos tolerancias muy estrictas al aplicar el recubrimiento de SiC, utilizando mecanizado de alta precisión para garantizar un perfil de susceptor uniforme. También fabricamos materiales con propiedades de resistencia eléctrica ideales para su uso en sistemas de calentamiento por inducción. Todos los componentes terminados incluyen un certificado de pureza y conformidad dimensional.

Nuestra empresa ofrece servicios de recubrimiento de SiC mediante el método CVD sobre superficies de grafito, cerámica y otros materiales. Mediante gases especiales que contienen carbono y silicio, se obtienen moléculas de SiC de alta pureza que se depositan sobre la superficie de los materiales recubiertos, formando una capa protectora de SiC. El SiC formado se adhiere firmemente a la base de grafito, otorgándole propiedades especiales. Esto se traduce en una superficie de grafito compacta, sin porosidad, resistente a altas temperaturas, a la corrosión y a la oxidación.

El proceso CVD ofrece una pureza y densidad teórica extremadamente altas en el recubrimiento de SiC, sin porosidad. Además, dado que el carburo de silicio es muy duro, se puede pulir hasta obtener una superficie similar a un espejo. El recubrimiento de carburo de silicio (SiC) CVD ofrece varias ventajas, incluyendo una superficie de ultra alta pureza y una resistencia al desgaste excepcional. Gracias a su excelente rendimiento en condiciones de alto vacío y alta temperatura, los productos recubiertos son ideales para aplicaciones en la industria de semiconductores y otros entornos ultra limpios. También ofrecemos productos de grafito pirolítico (PG).

Características principales:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas:

La resistencia a la oxidación sigue siendo muy buena incluso a temperaturas tan altas como 1600 °C.

2. Alta pureza: fabricado mediante deposición química de vapor bajo condiciones de cloración a alta temperatura.

3. Resistencia a la erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.

4. Resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.

Especificaciones principales de los recubrimientos CVD-SIC:

Aplicación: El recubrimiento de carburo de silicio CVD ya se ha aplicado en la industria de los semiconductores, por ejemplo en bandejas MOCVD, RTP y cámaras de grabado de óxido, ya que el nitruro de silicio tiene una gran resistencia al choque térmico y puede soportar plasma de alta energía.
-El carburo de silicio se utiliza ampliamente en la industria de semiconductores y recubrimientos.

Capacidad de suministro:

10.000 piezas al mes
Embalaje y entrega:
Embalaje: Embalaje estándar y resistente
Bolsa de polietileno + Caja + Cartón + Palé
Puerto:
Ningbo/Shenzhen/Shanghái
Plazo de entrega:

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