Susceptor de epitaxia MOCVD de grafito recubierto de SiC, fabricante chino

Breve descripción:

Pureza < 5 ppm
‣ Buena uniformidad en el dopaje
‣ Alta densidad y adhesión
‣ Buena resistencia anticorrosiva y al carbono

‣ Personalización profesional
‣ Plazo de entrega corto
‣ Suministro estable
‣ Control de calidad y mejora continua

Epitaxia de GaN sobre zafiro(LED RGB/Mini/Micro);
Epitaxia de GaN sobre sustrato de Si(UVC);
Epitaxia de GaN sobre sustrato de Si(Dispositivo electrónico);
Epitaxia de Si sobre sustrato de Si(Circuito integrado);
Epitaxia de SiC sobre sustrato de SiC(Sustrato);
Epitaxia de InP sobre InP

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

Compra online en China susceptores MOCVD de alta calidad.

Una oblea debe pasar por varias etapas antes de estar lista para su uso en dispositivos electrónicos. Un proceso importante es la epitaxia de silicio, en la que las obleas se depositan sobre soportes de grafito. Las propiedades y la calidad de estos soportes influyen decisivamente en la calidad de la capa epitaxial de la oblea.

Para las fases de deposición de películas delgadas, como la epitaxia o la MOCVD, VET suministra equipos de grafito ultrapuro que se utilizan para soportar los sustratos o "obleas". En el núcleo del proceso, estos equipos, susceptores de epitaxia o plataformas satélite para la MOCVD, se someten primero al entorno de deposición:

● Alta temperatura.
● Alto vacío.
● Uso de precursores gaseosos agresivos.
● Cero contaminación, ausencia de descamación.
● Resistencia a ácidos fuertes durante las operaciones de limpieza.

VET Energy es un fabricante líder de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con recubrimiento para la industria de semiconductores y fotovoltaica. Nuestro equipo técnico, formado por profesionales de las mejores instituciones de investigación nacionales, puede ofrecerle soluciones de materiales más especializadas.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más sofisticados y hemos desarrollado una tecnología patentada exclusiva que permite una unión más firme entre el recubrimiento y el sustrato, reduciendo la probabilidad de desprendimiento.

Características de nuestros productos:

1. Alta resistencia a la oxidación a temperaturas de hasta 1700℃.
2. Alta pureza y uniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

Enfermedad cardiovascular SiC Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	Fase β FCC policristalina, principalmente orientación (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers de 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10 μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de sublimación	2700℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
Módulo de Young	430 GPa, codo de 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300 W·m^-1·K^-1
Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1