VET EnerzjyPECVD-proses grafytdrager is in konsumpsjemateriaal fan hege kwaliteit, oanpast foar it PECVD-proses (plasma-ferbettere gemyske dampôfsetting). Dizze grafytdrager is makke fan grafytmateriaal mei hege suverens en hege tichtheid, mei poerbêste hege temperatuerresistinsje, korrosjebestriding, dimensjonele stabiliteit en oare skaaimerken, en kin in stabyl dragerplatfoarm leverje foar it PECVD-proses, om de uniformiteit en flakheid fan tinne-filmôfsetting te garandearjen.
Grafytdragers foar PECVD-proses hawwe de folgjende skaaimerken:
▪ Hege suverens: ekstreem leech ûnreinheidsgehalte, wêrtroch fersmoarging fan 'e film foarkommen wurdt en de filmkwaliteit garandearre wurdt.
▪ Hege tichtheid: hege tichtheid, hege meganyske sterkte, by steat om hege temperatuer en hege druk PECVD-omjouwing te wjerstean.
▪ Goede dimensjonele stabiliteit: lytse dimensjonele feroaring by hege temperatuer, wêrtroch prosesstabiliteit garandearre wurdt.
▪ Uitstekende termyske geliedingsfermogen: waarmte effektyf oerdrage om oerferhitting fan wafers te foarkommen.
▪ Sterke korrosjebestriding: by steat om eroazje troch ferskate korrosive gassen en plasma te wjerstean.
▪ Oanpaste tsjinst: grafytdragers fan ferskate maten en foarmen kinne oanpast wurde neffens de behoeften fan 'e klant.
Grafytmateriaal fan SGL:
| Typyske parameter: R6510 | |||
| Yndeks | Teststandert | Wearde | Ienheid |
| Gemiddelde nôtgrutte | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdichtheid | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Iepen porositeit | DIN66133 | 10 | % |
| Middelgrutte poaren | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabiliteit | DIN 51935 | 0.06 | sm²/s |
| Rockwell-hurdens HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifike elektryske wjerstân | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bûgingssterkte | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Kompresjesterkte | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young's modulus | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Termyske útwreiding (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Termyske geliedingsfermogen (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje sinnesellenproduksje, en stipet de ferwurking fan grutte G12-wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochfier signifikant, wêrtroch hegere opbringsten en legere produksjekosten mooglik binne.
| Ûnderdiel | Type | Nûmer waferdrager |
| PEVCD Grephite-boat - De 156-searje | 156-13 grepytboat | 144 |
| 156-19 grepytboat | 216 | |
| 156-21 grepytboat | 240 | |
| 156-23 grafytboat | 308 | |
| PEVCD Grephite-boat - De 125-searje | 125-15 grepytboat | 196 |
| 125-19 grepytboat | 252 | |
| 125-21 grafytboat | 280 |
