Hege suverens kwartsboat foar waferferwurking

Kwartswaferboatis in wichtich draachark yn healgeleiderproduksje, fotovoltaïsche selproduksje en avansearre materiaalûndersyk en ûntwikkeling, ûntworpen foar stabile waferoerdracht en posysjonearring yn prosessen mei hege temperatuer. Dit produkt is makke fan ultra-hege suverens fusearre silika (SiO2), mei poerbêste temperatuerresistinsje, gemyske stabiliteit en ultra-lege metaalfersmoargingseigenskippen, geskikt foar diffúzjeovens, oksidaasjeovens, PECVD/LPCVD en oare apparatuer, breed brûkt yn wafercoating, ionymplantaasje, hege temperatuergloeien en oare kearnprosessen.

De kearnfoardielen fan 'e kwartsboat fan VET Energy:

• Materiaal mei ultra-hege suverens
  Suverens ≥99.99%: Unreinheidsgehalte (Na, K, Fe, ensfh.) <5ppm, wêrtroch waferfersmoarging foarkommen wurdt en chipopbringst garandearre wurdt.
  Lege delslach en adsorpsje: it oerflak is supergepolijst (Ra≤0.4μm) om dieltsjeadhesie en gasresidu te ferminderjen.
• Hege temperatuerstabiliteit
  Temperatuerlimyt: Lange-termyn wurktemperatuer fan 1100 ℃, koarte-termyn pyk fan 1300 ℃, gjin deformaasje, gjin kristal delslach.
  Lege termyske útwreidingskoëffisjint (5.5x10-7/℃), poerbêste termyske skokbestriding, oanpasber oan rappe temperatuerstiging en -daling (bygelyks RTP-rapid annealing).
• Presys struktureel ûntwerp
  Slotpresyzje ± 0,1 mm: oerienkommende wafers fan 2 ”oant 12”, ôfstânuniformiteitsflater < 0,05 mm, sadat wafers gjin offset hawwe.
  Hege laadkapasiteit: Maksimale lading fan 50 wafers (yn termen fan 12” wafers) yn ien boat, wêrtroch stabile oerdracht fan tinne wafers (≥100um) stipe wurdt.
• Gemyske inertheid
  Korrosjebestriding: Bestindich tsjin soere (útsein HF), alkaline en organyske oplosmiddelkorrosje, kompatibel mei it CMP-reinigingsproses.
  Uitstekende gasdichtheid: Leksnelheid <5x10-10 Pa.m3/s, geskikt foar fakuüm- en beskermjende gasomjouwings.
• Lange libbensdoer en ûnderhâldberens
  Libbensferwachting ≥ 5000 syklusen (normale wurkomstannichheden), it oerflak kin werhelle wurde skjinmakke en brûkt, wêrtroch't de totale kosten wurde fermindere.
  Modulêr ûntwerp: stipet dielde ferfanging (bygelyks ienige boattosk), wêrtroch downtime fermindere wurdt.

Wy biede sawol transparante as matte oerflakken oan neffens de easken fan 'e klant:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is in hightech-ûndernimming dy't him rjochtet op 'e produksje en ferkeap fan high-end avansearre materialen, de materialen en technology ynklusyf grafyt, silisiumkarbid, keramyk, oerflakbehanneling lykas SiC-coating, TaC-coating, glêzen koalstofcoating, pyrolytyske koalstofcoating, ensfh., dizze produkten wurde in soad brûkt yn fotovoltaïsche prosessen, healgeleiders, nije enerzjy, metallurgy, ensfh..

Us technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, en hat meardere patintearre technologyen ûntwikkele om produktprestaasjes en kwaliteit te garandearjen, en kin klanten ek profesjonele materiaaloplossingen leverje.