Isi ihe dị na graphite heater:
1. otu nhazi nke usoro kpo oku.
2. ezigbo ike eletriki na ibu ọkụ eletrik dị elu.
3. iguzogide nchara.
4. enweghị ike ikpochapụ ihe ọkụkụ.
5. ịdị ọcha kemịkalụ dị elu.
6. ike igwe dị elu.
Uru ya bụ na ọ na-arụ ọrụ nke ọma n'ike, ọ na-arụkwa ọrụ nke ọma, ọ na-arụkwa ọrụ nke ọma, ọ dịkwa obere n'ihi na anyị nwere ike ịmepụta ihe ndị na-egbochi oxidation na ihe ndị na-adịgide adịgide nke graphite crucible, graphite mold na akụkụ niile nke ihe na-ekpo ọkụ graphite.
Isi paramita nke ihe na-ekpo ọkụ graphite
| Nkọwapụta Nkà na ụzụ | Semicera-M3 |
| Njupụta buru ibu (g/cm3) | ≥1.85 |
| Ọdịnaya ntụ (PPM) | ≤500 |
| Ike nke Osimiri | ≥45 |
| Nguzogide Pụrụ Iche (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Ike Flexural (Mpa) | ≥40 |
| Ike Mkpakọ (Mpa) | ≥70 |
| Oke Nha Mkpụrụ (μm) | ≤43 |
| Ọnụọgụ nke Mgbasawanye Okpomọkụ Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
Ike VET bụ O nwere ike ịbụ na o meghị ihe ọbụla gbasara ya.ezigbo onye nrụpụta ngwaahịa graphite na silicon carbide ahaziri ahazi nwere mkpuchi CVD,ike inyedị iche icheakụkụ ahaziri ahazi maka ụlọ ọrụ semiconductor na photovoltaic. ONdị otu teknụzụ gị si n'ụlọ ọrụ nyocha kacha elu n'ime obodo, ha nwere ike inye azịza ihe ọkachamara karịamaka gị.
Anyị na-emepụta usoro dị elu mgbe niile iji nye ihe ndị ka elu,naAchọpụtala teknụzụ pụrụ iche nke nwere ikike pụrụ iche, nke nwere ike ime ka njikọ dị n'etiti mkpuchi ahụ na ihe mkpuchi ahụ sie ike ma ghara ịdị mfe ịgbawa.
Fnri nke ngwaahịa anyị:
1. Oke okpomọkụ na-eguzogide oxidation ruo 1700℃.
2. Ịdị ọcha dị elu naotu ihe dị n'otu okpomọkụ
3. Ezigbo nguzogide nchara: acid, alkali, nnu na ihe ndị sitere n'okike.
4. Ike siri ike, elu dị obere, obere ihe.
5. Ndụ ọrụ dị ogologo ma na-adịgide adịgide karịa
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Njirimara anụ ahụ bụ isi nke CVD SiCmkpuchi | |
| 性质 / Ihe onwunwe | 典型数值 / Uru nkịtị |
| 晶体结构 / Nhazi kristal | FCC β nkebi多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / Njupụta | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Ike siri ike | 2500 维氏硬度： (ibu 500g) |
| 晶粒大小 / SiZe ọka | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Ịdị ọcha nke kemịkalụ | 99.99995% |
| 热容 / Ike Okpomọkụ | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Okpomọkụ Sublimation | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Ike nke Flexural | 415 MPa RT isi ihe anọ |
| 杨氏模量 / Modulu Young | 430 GPA 4pt gbagọrọ agbagọ, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalNhazigharị | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Mgbasawanye Okpomọkụ (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
Nabata gị nke ọma ka ị bịa leta ụlọ ọrụ mmepụta ihe anyị, ka anyị nwee mkparịta ụka ọzọ!
