Ihe Mere Ụgbọ Mmiri Seramiiki SiC Ji Dị Mkpa Maka Mgbasa Semiconductor na Ọkụ Oxidation

Ka usoro mmepụta semiconductor na-aga n'ihu na-agbanwe gaa na nnukwu nha wafer, mmefu ego okpomọkụ siri ike, na obere nnabata ntụpọ, ihe eji eme ihe n'ime ngwa usoro okpomọkụ dị elu aghọọla ihe dị oke mkpa. N'ime ihe ndị a dị mkpa na ihe owuwu, ụgbọ mmiri seramiiki silicon carbide (SiC) apụtala dị ka otu n'ime teknụzụ kachasị mkpa na sistemụ ọkụ mgbasa na oxidation nke oge a.

N'ebe mmepụta semiconductor dị elu, ha na-emetụta kpọmkwem otu okpomọkụ, mmepụta ihe dị iche iche, nkesa nrụgide wafer, nkwụsi ike usoro, na n'ikpeazụ, mmepụta ngwaọrụ.

Karịsịa n'ime mmepụta wafer 300mm, imepụta semiconductor ike, na mmepụta semiconductor ọgbọ nke atọ, ụgbọ mmiri seramiiki silicon carbide na-anọchi sistemụ ebuga quartz ọdịnala ngwa ngwa n'ihi ihe onwunwe okpomọkụ na igwe ha dị elu.

Kedu ihe bụ ụgbọ mmiri seramiiki silicon carbide?

Ụgbọ mmiri seramiiki silicon carbide bụ ihe owuwu na-ebu wafer dị elu nke e ji seramiiki silicon carbide dị elu mee. Isi ihe kpatara ya bụ ịkwado na ibuga ọtụtụ wafer semiconductor n'enweghị nsogbu site na sistemụ ọkụ kwụ ọtọ ma ọ bụ kwụ ọtọ n'oge ọrụ ọgwụgwọ okpomọkụ.

Ụgbọ mmiri wafer nkịtị nwere ọtụtụ oghere wafer e ji aka rụọ nke e mere iji chekwaa oghere wafer nke ọma n'oge nhazi ya. Dabere na ojiji ya, ihe owuwu ahụ nwekwara ike ịgụnye ogwe nkwado, ogwe aka cantilever, geometry nke ikuku na-eme ka ọ dị mma, na ngalaba nkwado dị mfe nke e mere iji belata oke okpomọkụ.

N'ime sistemụ ọkụ semiconductor, ụgbọ mmiri wafer na-arụ ọrụ nke ọma dị ka njikọ dị n'etiti wafers na gburugburu ebe a na-ahazi okpomọkụ. Ka akụkụ ngwaọrụ na-aga n'ihu na-ebelata gaa na oghere teknụzụ dị elu, ọbụna obere nsogbu dị n'ime usoro nkwado wafer nwere ike imetụta mmegharị usoro na arụmọrụ ntụpọ.

Nke a bụ otu n'ime ihe mere ndị na-emepụta ọkụ ọgbara ọhụrụ ji na-anabata ihe seramiiki silicon carbide dị ọcha karịa sistemụ quartz a gwakọtara agwakọta.

Ọrụ ahụsna Sistemụ Ọkụ Mgbasa na Oxidation

Mgbasa na oxidation ka bụ otu n'ime usoro okpomọkụ kachasị mkpa na mmepụta semiconductor. A na-eji usoro ndị a eme ihe nke ukwuu maka mkpali dopant, uto oxide okpomọkụ, annealing, mgbasa mbanye-in, na nhazi dielectric.

Okpomọkụ ọrụ nkịtị dị site na ihe dịka 900°C ruo 1200°C dabere na kemistri usoro na ihe achọrọ maka ngwaọrụ. N'ụfọdụ ngwa semiconductor ike dị elu ma ọ bụ ngwaọrụ SiC, okirikiri okpomọkụ nwere ike ịgafe 1300°C.

N'ọnọdụ ndị a, ụgbọ mmiri wafer ga-anọgide na-akwụsi ike n'ogo n'oge usoro okpomọkụ agbatịkwuru ebe ọ na-ebelata mmetọ ma na-echekwa oghere otu wafer.

A na-eji ụgbọ mmiri quartz wafer ọdịnala eme ihe kemgbe n'ime ọkụ mgbasa ozi n'ihi ịdị ọcha ha dị elu ma dịkwa ọnụ ala. Agbanyeghị, ihe ndị e ji quartz mee na-egosi obere ike okpomọkụ — nke na-abụkarị ihe dị ka 1.4 W/m·K n'oge okpomọkụ ụlọ.

Dịka e si tụnyere ya, seramiiki silicon carbide na-egosipụtakarị ụkpụrụ okpomọkụ nke na-agbanwe agbanwe site na ihe dịka 120 ~ 200 W/m·K dabere na ọkwa na nhazi obere.

Ọdịiche dị egwu a na-eme ka ịdị n'otu okpomọkụ dịkwuo mma nke ukwuu n'ofe ibu ọkụ ahụ.

Oke ike okpomọkụ na-enye ohere:

● Ịkpo ọkụ wafer ọzọ n'otu ụdị

● Mbelata nke okpomọkụ

● Nhazi dị mma site na wafer ruo wafer

● Mbelata mkpokọta nrụgide okpomọkụ

● Mbelata mmetụta dị n'akụkụ n'oge oxidation ma ọ bụ mgbasa

N'ime mmepụta semiconductor dị elu, ebe windo usoro na-aga n'ihu na-ebelata, mmezi ndị a na-emetụta kpọmkwem otu ihe nkiri ahụ na ịdị n'otu arụmọrụ eletriki.

Ụgbọ mmiri wafer SiC na-enyekwa ike igwe dị elu karịa ma e jiri ya tụnyere nhazi quartz. Nke a na-aghọ ihe dị mkpa na sistemụ ọkụ kwụ ọtọ na-edozi nnukwu ogbe wafers 300 mm, ebe ogologo ụgbọ mmiri na ibu igwe nwere ike ịdị oke mkpa.

Mbelata mgbanwe na-enyere aka ichekwa oghere wafer ziri ezi na omume ikuku gas kwụsiri ike n'oge okirikiri okpomọkụ.

Isi ihe dị mkpa nke ụgbọ mmiri seramiiki silicon carbide

Mmụba ewu ewu nke ụgbọ mmiri wafer silicon carbide bụ isi n'ihi njikọta pụrụ iche nke ihe ndị na-ekpo ọkụ, ihe ndị na-arụ ọrụ n'ime ígwè, na ihe ndị na-emepụta sịlịkọn carbide.

Àgwà Ahụ Dị Mkpa

Njirimara ndị a na-eme ka ihe owuwu seramiiki silicon carbide nwee ike ịnọgide na-enwe nkwụsi ike n'okpuru usoro okpomọkụ ogologo oge, ebe ihe ndị dị na quartz ọdịnala nwere ike ịmalite ịdị nro ma ọ bụ gbanwee.

Nnukwu ike siri ike nke silicon carbide na-ebelatakwa ịma jijiji na enweghị ike n'ime igwe n'oge ibu na ibupu wafers n'ime ọkụ.

Ụdị Ihe Ndị Dị Mkpa Maka Ụgbọ Mmiri Silicon Carbide Wafer

A na-eji ọtụtụ teknụzụ dị iche iche emepụta ụgbọ mmiri wafer silicon carbide nke oge a, nke ọ bụla ka mma maka gburugburu usoro na ihe achọrọ maka ọnụ ahịa dị oke ọnụ.

A na-ejikarị silicon carbide (RSiC) eme ihe n'ọtụtụ ebe n'ime ọkụ ọkụ dị elu n'ihi ịdị ọcha ya dị mma na nkwụsi ike okpomọkụ. Usoro mmepụta maka RSiC anaghị achọ mgbakwunye nke nnukwu ihe enyemaka sintering, nke na-enyere aka belata ihe ize ndụ nke mmetọ na gburugburu semiconductor.

Carbide silicon nke a na-esi n'ime ya (RBSC ma ọ bụ RBSiC) na-enye ike igwe dị elu ma na-ebelata ọnụ ahịa mmepụta. Agbanyeghị, silicon nke na-enweghị ihe fọdụrụ n'ime nhazi ahụ nwere ike ibelata iguzogide nchara ya n'ebe ụfọdụ usoro mmebi.

Maka ngwa semiconductor dị elu, sistemụ graphite nke ejiri silicon carbide kpuchie CVD silicon na-aghọ ihe a na-ahụkarị. N'ime usoro ndị a, ihe mejupụtara graphite na-enye nkwado igwe dị mfe, ebe mkpuchi silicon carbide nke nwere vapor dị elu (CVD) na-emepụta njikọ usoro ahụ.

Mkpuchi CVD silicon carbide nwere oke mmepụta ihe dị iche iche na ịdị ọcha pụrụ iche, na-eme ka ha mara mma nke ukwuu maka nrụpụta teknụzụ dị elu na ike semiconductor. Agbanyeghị, a ga-ejikwa nlezianya chịkwaa iguzosi ike n'ezi ihe mkpuchi na oke ndị na-adabaghị adaba nke mgbasawanye okpomọkụ iji gbochie mgbawa ma ọ bụ mmebi n'oge mmegharị okpomọkụ ugboro ugboro.

Ihe ịma aka Usoro Ndị A Na-ahụkarị

N'agbanyeghị uru arụmọrụ nke ụgbọ mmiri seramiiki wafer silicon carbide, ha ka na-eche ọtụtụ ihe ịma aka injinia ihu na gburugburu ebe mmepụta semiconductor n'ezie.

Mmetọ nke ihe ndị dị n'ime ha ka bụ otu n'ime nsogbu kachasị njọ. Ka nha ngwaọrụ na-ebelata, mfu mkpụrụ sitere na ihe ndị dị n'ime ha na-aghọwanye nke ukwuu. Ọbụna obere ihe ndị dị n'ime ha sitere na obere mgbawa, mmebi mkpuchi, ma ọ bụ mmebi elu nwere ike ibute nnukwu ntụpọ na wafers ndị dị elu.

Mgbawa nrụgide okpomọkụ bụ ihe ịma aka ọzọ dịte aka. Ọ bụ ezie na silicon carbide nwere ezigbo nkwụsi ike okpomọkụ, ọ ka bụ ihe seramiiki na-adịghị ike. Okpomọkụ ngwa ngwa ma ọ bụ enweghị otu ọnọdụ okpomọkụ nwere ike ibute mgbawa na nkuku ihe owuwu, oghere wafer, ma ọ bụ njikọ osisi.

Ịgbagharị okpomọkụ ogologo oge nwekwara ike ibute mgbanwe nwayọ nwayọ ma ọ bụ na-agagharị agagharị, ọkachasị n'ụgbọ mmiri wafer buru ibu nke ejiri na sistemụ ọkụ kwụ ọtọ. Ọbụna obere mgbanwe geometric nwere ike ịgbanwe oghere wafer na nha nhata nke gas, si otú a na-emetụta njikwa ọkpụrụkpụ oxide na ịdị n'otu nkesa dopant.

Mbelata mkpuchi CVD bụ nsogbu ọzọ dị oke mkpa na sistemụ SiC a kpụchara akpụcha. Ebe ọ bụ na ihe mejupụtara graphite na mkpuchi SiC na-egosipụta omume mgbasa okpomọkụ dị iche iche, ịgbagharị okpomọkụ ugboro ugboro na-emesịa na-eduga na mkpokọta nrụgide na interface ahụ.

Mmechi

N'ime sistemụ ọkụ semiconductor na oxidation, ụgbọ mmiri seramiiki silicon carbide na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịkwado nkwụsi ike okpomọkụ, ijikwa mmetọ, na ijide n'aka na usoro ahụ dị n'otu n'okpuru ọnọdụ ọrụ siri ike. Ọdịdị okpomọkụ ha dị elu, nkwụsi ike mekaniki dị mma, iguzogide okpomọkụ dị elu, na nkwụsi ike kemịkalụ na-eme ka ha dịkwuo mkpa na mmepụta semiconductor dị elu.

Ka teknụzụ usoro semiconductor na-aga n'ihu na-agbanwe, na-aghọwanye mgbagwoju anya, na ihe achọrọ maka njikwa ntụpọ na-akawanye njọ, mkpa nke sistemụ wafer seramiiki dị elu ga-anọgide na-abawanye. Na ákwà ọgbara ọhụrụ, ọtụtụ ihe ịma aka metụtara njikwa ihe, otu okpomọkụ, na ntụkwasị obi nwere ike ịchọtaghachi na mmekọrịta dị n'etiti omume ịgbagharị okpomọkụ, nkwụsi ike ihe, na nhazi nke sistemụ wafer.

N'ihi ya, ụgbọ mmiri seramiiki silicon carbide na-agbanwe ngwa ngwa site na ngwaike ọkụ inyeaka gaa na ihe dị mkpa maka mmepụta semiconductor ọgbọ na-abịa.