반도체 실리콘 웨이퍼, SiC 코팅용 맞춤형 흑연 히터

반도체 실리콘 웨이퍼, SiC 코팅용 맞춤형 흑연 히터 (대표 이미지)

간략한 설명:

기술 사양	VET-M3
부피 밀도 (g/cm3)	≥1.85
회분 함량(PPM)	≤500
쇼어 경도	45세 이상
비저항(μΩ·m)	≤12
굽힘 강도(Mpa)	40세 이상
압축 강도(Mpa)	≥70
최대 입자 크기(μm)	≤43
열팽창 계수 mm/°C	≤4.4*10-6

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제품 상세 정보

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맞춤형반도체 실리콘 웨이퍼용 흑연 히터

기술 사양	VET-M3
부피 밀도 (g/cm3)	≥1.85
회분 함량(PPM)	≤500
쇼어 경도	45세 이상
비저항(μΩ·m)	≤12
굽힘 강도(Mpa)	40세 이상
압축 강도(Mpa)	≥70
최대 입자 크기(μm)	≤43
열팽창 계수 mm/°C	≤4.4*10-6

반도체 실리콘 웨이퍼용 맞춤형 흑연 히터

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