LED 에칭용 탄화규소 코팅 흑연 서셉터

간략한 설명:

LED 에칭용 탄화규소 서셉터(SiC 트레이)는 심층 실리콘 에칭(ICP 에칭 장비)에 사용되는 특수 액세서리입니다. 웨이퍼 캐리어, 실리콘 웨이퍼 캐리어, 포켓 웨이퍼라고도 불리는 이 제품은 반도체 CVD 및 진공 스퍼터링 공정에 널리 사용됩니다.

 


제품 상세 정보

제품 태그

탄화규소 코팅 서셉터는a 열쇠다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 부품.당사는 특허 기술을 사용하여 탄화규소 코팅 서셉터를 제조합니다.극도로 높은 순도,좋은코팅일률그리고 뛰어난 서비스 수명, 게다가높은 내화학성 및 열 안정성 특성을 지니고 있습니다.

VET Energy는 그만큼CVD 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품의 실제 제조업체입니다.공급 가능합니다다양한반도체 및 태양광 산업용 맞춤형 부품. O저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로 구성되어 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.당신을 위한.

우리는 더욱 우수한 소재를 제공하기 위해 첨단 공정을 지속적으로 개발하고 있습니다.그리고코팅과 기판 사이의 접착력을 강화하고 박리 가능성을 줄이는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.

F저희 제품의 특징:

1. 최대 1700℃의 고온 산화 저항성.
2. 높은 순도 및열 균일성
3. 뛰어난 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 강함.
4. 높은 경도, 치밀한 표면, 미세한 입자.
5. 더 긴 수명과 뛰어난 내구성

심혈관 질환 SiC薄膜基本식물리성能

CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅

성별 / 재산

典型数值 / 일반적인 값

晶体结构 결정 구조

FCC β상多晶,主要为(111) 取向

크기 / 밀도

3.21 g/cm³

정도 경도

2500 维氏硬도(500g 부하)

晶粒大小 / 곡물 크기

2~10μm

정도 화학적 순도

99.99995%

발열 / 열용량

640 J·kg-1·케이-1

升华温도 승화 온도

2700℃

抗弯强島 굽힘 강도

415 MPa RT 4점

杨氏模량 / 영률

430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃

导熭系数 / 써마전도도

300W·m-1·케이-1

热膨胀系数 열팽창(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

저희 공장 방문을 진심으로 환영합니다! 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다.

生产设备

 

공사客户

 

 


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