ສະຖານະການຄົ້ນຄວ້າຂອງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ນຳມາໃຊ້ໃໝ່

ຣີໄຊຕ໌ສະຕາລເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ (RSiC)ແມ່ນວັດສະດຸເຊລາມິກປະສິດທິພາບສູງເນື່ອງຈາກມັນມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ທົນທານຕໍ່ການຜຸພັງ, ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມແຂງສູງ, ມັນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍໆຂົງເຂດ, ເຊັ່ນ: ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາ, ອຸດສາຫະກໍາແສງອາທິດ, ເຕົາອົບອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ອຸປະກອນເຄມີ. ດ້ວຍຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສໍາລັບວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ທັນສະໄຫມ, ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ການພັດທະນາເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ປັບໂຄງສ້າງຄືນໃໝ່ກໍາລັງເລິກເຊິ່ງຂຶ້ນ.

1. ເຕັກໂນໂລຊີການກະກຽມຂອງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ນຳມາໃຊ້ໃໝ່

ເຕັກໂນໂລຊີການກະກຽມຂອງ recrystallizedເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນມີສອງວິທີຄື: ການເຜົາຜົງ ແລະ ການວາງອາຍ (CVD). ໃນນັ້ນ, ວິທີການເຜົາຜົງແມ່ນການເຜົາຜົງຊິລິກອນຄາໄບພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ເພື່ອໃຫ້ອະນຸພາກຊິລິກອນຄາໄບສ້າງໂຄງສ້າງທີ່ໜາແໜ້ນຜ່ານການແຜ່ກະຈາຍ ແລະ ການຕົກແຕ່ງຄືນໃໝ່ລະຫວ່າງເມັດພືດ. ວິທີການວາງອາຍແມ່ນການວາງຊິລິກອນຄາໄບເທິງໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນຜ່ານປະຕິກິລິຍາໄອເຄມີທີ່ອຸນຫະພູມສູງ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງສ້າງຟິມຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ຫຼື ຊິ້ນສ່ວນໂຄງສ້າງ. ເຕັກໂນໂລຊີທັງສອງນີ້ມີຂໍ້ດີຂອງຕົນເອງ. ວິທີການເຜົາຜົງແມ່ນເໝາະສົມສຳລັບການຜະລິດຂະໜາດໃຫຍ່ ແລະ ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ຳ, ໃນຂະນະທີ່ວິທີການວາງອາຍສາມາດໃຫ້ຄວາມບໍລິສຸດສູງຂຶ້ນ ແລະ ໂຄງສ້າງທີ່ໜາແໜ້ນກວ່າ, ແລະ ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດເຄິ່ງຕົວນຳ.

2. ຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ນຳມາໃຊ້ໃໝ່

ລັກສະນະທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ປ່ຽນຮູບເປັນຮູບຜລຶກຄືປະສິດທິພາບທີ່ດີເລີດໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ຈຸດລະລາຍຂອງວັດສະດຸນີ້ແມ່ນສູງເຖິງ 2700°C, ແລະມັນມີຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມສູງ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຊິລິກອນຄາໄບທີ່ປ່ຽນຮູບຜລຶກຍັງມີຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດ, ແລະສາມາດຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. ດັ່ງນັ້ນ, ເຊລາມິກ RSiC ຈຶ່ງໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ວັດສະດຸທົນໄຟທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ແລະອຸປະກອນເຄມີ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ຊິລິກອນຄາໄບທີ່ປັບໂຄງສ້າງຄືນໃໝ່ມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະ ສາມາດນຳຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນມີຄຸນຄ່າໃນການນຳໃຊ້ທີ່ສຳຄັນໃນເຕົາປະຕິກອນ MOCVDແລະອຸປະກອນການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນໃນການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ. ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນສູງຂອງມັນຮັບປະກັນການເຮັດວຽກທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນພາຍໃຕ້ສະພາບທີ່ຮຸນແຮງ.

3. ຂົງເຂດການນຳໃຊ້ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ນຳມາໃຊ້ໃໝ່

ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ: ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ເຮັດດ້ວຍຜລຶກໃໝ່ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອຜະລິດຊັ້ນຮອງ ແລະ ວັດສະດຸຮອງຮັບໃນເຕົາປະຕິກອນ MOCVD. ເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ແລະ ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງ, ວັດສະດຸ RSiC ສາມາດຮັກສາປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມປະຕິກິລິຍາເຄມີທີ່ສັບສົນ, ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ.

ອຸດສາຫະກຳໄຟຟ້າແສງອາທິດ: ໃນອຸດສາຫະກຳໄຟຟ້າແສງອາທິດ, RSiC ຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຜະລິດໂຄງສ້າງຮອງຮັບຂອງອຸປະກອນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ເນື່ອງຈາກການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ປະຕິບັດຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດຈຸລັງໄຟຟ້າແສງອາທິດ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນຂອງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ປັບປ່ຽນໃໝ່ຮັບປະກັນການເຮັດວຽກທີ່ໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວຂອງອຸປະກອນ.

ເຕົາອົບອຸນຫະພູມສູງ: ເຊລາມິກ RSiC ຍັງຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເຕົາອົບອຸນຫະພູມສູງ, ເຊັ່ນ: ຊັ້ນໃນ ແລະ ສ່ວນປະກອບຂອງເຕົາອົບສູນຍາກາດ, ເຕົາລະລາຍ ແລະ ອຸປະກອນອື່ນໆ. ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງຂອງມັນເຮັດໃຫ້ມັນເປັນໜຶ່ງໃນວັດສະດຸທີ່ບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້ໃນອຸດສາຫະກຳອຸນຫະພູມສູງ.

4. ທິດທາງການຄົ້ນຄວ້າຂອງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ນຳມາໃຊ້ໃໝ່

ດ້ວຍຄວາມຕ້ອງການວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ທິດທາງການຄົ້ນຄວ້າຂອງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ປຸງແຕ່ງຄືນໃໝ່ໄດ້ຄ່ອຍໆກາຍເປັນທີ່ຊັດເຈນ. ການຄົ້ນຄວ້າໃນອະນາຄົດຈະສຸມໃສ່ລັກສະນະຕໍ່ໄປນີ້:

ການປັບປຸງຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ: ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດທີ່ສູງຂຶ້ນໃນຂົງເຂດເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ພະລັງງານແສງອາທິດ, ນັກຄົ້ນຄວ້າກຳລັງຄົ້ນຫາວິທີການປັບປຸງຄວາມບໍລິສຸດຂອງ RSiC ໂດຍການປັບປຸງເຕັກໂນໂລຊີການວາງໄອນ້ຳ ຫຼື ການນຳສະເໜີວັດຖຸດິບໃໝ່, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເສີມຂະຫຍາຍມູນຄ່າການນຳໃຊ້ຂອງມັນໃນຂົງເຂດເຕັກໂນໂລຢີສູງເຫຼົ່ານີ້.

ການເພີ່ມປະສິດທິພາບໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກ: ໂດຍການຄວບຄຸມສະພາບການເຜົາຜະລຶກ ແລະ ການແຈກຢາຍຂອງອະນຸພາກຜົງ, ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຂອງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ຖືກປັບໂຄງສ້າງຄືນໃໝ່ສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບໄດ້ຕື່ມອີກ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກະແທກຄວາມຮ້ອນຂອງມັນ.

ວັດສະດຸປະສົມທີ່ເຮັດວຽກໄດ້: ເພື່ອປັບຕົວເຂົ້າກັບສະພາບແວດລ້ອມການນຳໃຊ້ທີ່ສັບສົນຫຼາຍຂຶ້ນ, ນັກຄົ້ນຄວ້າກຳລັງພະຍາຍາມລວມ RSiC ກັບວັດສະດຸອື່ນໆເພື່ອພັດທະນາວັດສະດຸປະສົມທີ່ມີຄຸນສົມບັດຫຼາຍໜ້າທີ່, ເຊັ່ນ: ວັດສະດຸປະສົມທີ່ອີງໃສ່ຊິລິກອນຄາໄບທີ່ປັບໂຄງສ້າງຄືນໃໝ່ທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ ແລະ ຄວາມນຳໄຟຟ້າສູງຂຶ້ນ.

5. ສະຫຼຸບ

ໃນຖານະເປັນວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ເຮັດດ້ວຍຜລຶກໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍຂົງເຂດຍ້ອນຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຂອງມັນໃນດ້ານອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ. ການຄົ້ນຄວ້າໃນອະນາຄົດຈະສຸມໃສ່ການປັບປຸງຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ, ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງໂຄງສ້າງຈຸລະພາກ ແລະ ການພັດທະນາວັດສະດຸທີ່ມີປະໂຫຍດປະສົມເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານອຸດສາຫະກຳທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ. ຜ່ານນະວັດຕະກໍາທາງເທັກໂນໂລຢີເຫຼົ່ານີ້, ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ເຮັດດ້ວຍຜລຶກຄາດວ່າຈະມີບົດບາດຫຼາຍຂຶ້ນໃນຂົງເຂດເຕັກໂນໂລຢີທີ່ກ້າວໜ້າຫຼາຍຂຶ້ນ.