නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලදීසිලිකන් කාබයිඩ් (RSiC) සෙරමික්යනුඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත සෙරමික් ද්රව්ය. එහි විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය, ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය, විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ ඉහළ දෘඪතාව හේතුවෙන්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය, ඉහළ උෂ්ණත්ව උදුන් සහ රසායනික උපකරණ වැනි බොහෝ ක්ෂේත්රවල එය බහුලව භාවිතා වී ඇත. නවීන කර්මාන්තයේ ඉහළ කාර්ය සාධන ද්රව්ය සඳහා වැඩිවන ඉල්ලුමත් සමඟ, නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි පර්යේෂණ සහ සංවර්ධනය ගැඹුරු වෙමින් පවතී.
1. සකස් කිරීමේ තාක්ෂණයනැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික්
නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සකස් කිරීමේ තාක්ෂණයසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික්ප්රධාන වශයෙන් ක්රම දෙකක් ඇතුළත් වේ: කුඩු සින්ටර් කිරීම සහ වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD). ඒවා අතර, කුඩු සින්ටර් කිරීමේ ක්රමය වන්නේ ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයක් යටතේ සිලිකන් කාබයිඩ් කුඩු සින්ටර් කිරීමයි, එවිට සිලිකන් කාබයිඩ් අංශු ධාන්ය අතර විසරණය සහ නැවත ස්ඵටිකීකරණය හරහා ඝන ව්යුහයක් සාදයි. වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ ක්රමය වන්නේ ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී රසායනික වාෂ්ප ප්රතික්රියාවක් හරහා උපස්ථරයේ මතුපිට සිලිකන් කාබයිඩ් තැන්පත් කිරීම වන අතර එමඟින් ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් පටලයක් හෝ ව්යුහාත්මක කොටස් සාදයි. මෙම තාක්ෂණයන් දෙකටම තමන්ගේම වාසි ඇත. කුඩු සින්ටර් කිරීමේ ක්රමය මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය සඳහා සුදුසු වන අතර අඩු පිරිවැයක් ඇති අතර, වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ ක්රමයට ඉහළ සංශුද්ධතාවයක් සහ ඝන ව්යුහයක් ලබා දිය හැකි අතර අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්රයේ බහුලව භාවිතා වේ.
2. ද්රව්යමය ගුණාංගනැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික්
නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් වල කැපී පෙනෙන ලක්ෂණය වන්නේ ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල එහි විශිෂ්ට ක්රියාකාරිත්වයයි. මෙම ද්රව්යයේ ද්රවාංකය 2700°C තරම් ඉහළ වන අතර ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී එය හොඳ යාන්ත්රික ශක්තියක් ඇත. මීට අමතරව, නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් විශිෂ්ට ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධයක් සහ විඛාදන ප්රතිරෝධයක් ද ඇති අතර, ආන්තික රසායනික පරිසරවල ස්ථායීව පැවතිය හැකිය. එබැවින්, RSiC සෙරමික් ඉහළ උෂ්ණත්ව උදුන්, ඉහළ උෂ්ණත්ව පරාවර්තක ද්රව්ය සහ රසායනික උපකරණ යන ක්ෂේත්රවල බහුලව භාවිතා වී ඇත.
ඊට අමතරව, නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් ඉහළ තාප සන්නායකතාවක් ඇති අතර තාපය ඵලදායී ලෙස සන්නයනය කළ හැකි අතර, එමඟින් එය වැදගත් යෙදුම් වටිනාකමක් ඇත.MOCVD ප්රතික්රියාකාරකසහ අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදනයේ තාප පිරියම් කිරීමේ උපකරණ. එහි ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ තාප කම්පන ප්රතිරෝධය ආන්තික තත්වයන් යටතේ උපකරණවල විශ්වාසනීය ක්රියාකාරිත්වය සහතික කරයි.
3. නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් යෙදුම් ක්ෂේත්ර
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය: අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දී, MOCVD ප්රතික්රියාකාරකවල උපස්ථර සහ ආධාරක නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් භාවිතා කරයි. එහි ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය, විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ ඉහළ තාප සන්නායකතාවය හේතුවෙන්, RSiC ද්රව්ය සංකීර්ණ රසායනික ප්රතික්රියා පරිසරයන්හි ස්ථාවර කාර්ය සාධනයක් පවත්වා ගත හැකි අතර, අර්ධ සන්නායක වේෆර්වල ගුණාත්මකභාවය සහ අස්වැන්න සහතික කරයි.
ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය: ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තයේ දී, ස්ඵටික වර්ධන උපකරණවල ආධාරක ව්යුහය නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා RSiC භාවිතා කරයි. ප්රකාශ වෝල්ටීයතා සෛල නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී ස්ඵටික වර්ධනය ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී සිදු කළ යුතු බැවින්, නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් තාප ප්රතිරෝධය උපකරණවල දිගුකාලීන ස්ථාවර ක්රියාකාරිත්වය සහතික කරයි.
ඉහළ-උෂ්ණත්ව ඌෂ්මක: රික්ත ඌෂ්මකවල ලයිනිං සහ සංරචක, දියවන ඌෂ්මක සහ අනෙකුත් උපකරණ වැනි ඉහළ-උෂ්ණත්ව ඌෂ්මකවල RSiC සෙරමික් බහුලව භාවිතා වේ. එහි තාප කම්පන ප්රතිරෝධය සහ ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය එය ඉහළ-උෂ්ණත්ව කර්මාන්තවල ප්රතිස්ථාපනය කළ නොහැකි ද්රව්යයක් බවට පත් කරයි.
4. නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් පර්යේෂණ දිශාව
ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ද්රව්ය සඳහා වැඩිවන ඉල්ලුමත් සමඟ, නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් පර්යේෂණ දිශාව ක්රමයෙන් පැහැදිලි වී ඇත. අනාගත පර්යේෂණ පහත සඳහන් අංශ කෙරෙහි අවධානය යොමු කරනු ඇත:
ද්රව්ය සංශුද්ධතාවය වැඩි දියුණු කිරීම: අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා ක්ෂේත්රවල ඉහළ සංශුද්ධතා අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා, පර්යේෂකයන් වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ තාක්ෂණය වැඩිදියුණු කිරීමෙන් හෝ නව අමුද්රව්ය හඳුන්වා දීමෙන් RSiC හි සංශුද්ධතාවය වැඩි දියුණු කිරීමට ක්රම ගවේෂණය කරමින් සිටින අතර එමඟින් මෙම අධි තාක්ෂණික ක්ෂේත්රවල එහි යෙදුම් අගය වැඩි දියුණු කරයි.
ක්ෂුද්ර ව්යුහය ප්රශස්ත කිරීම: සින්ටර් කිරීමේ තත්ත්වයන් සහ කුඩු අංශු ව්යාප්තිය පාලනය කිරීමෙන්, නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් වල ක්ෂුද්ර ව්යුහය තවදුරටත් ප්රශස්ත කළ හැකි අතර, එමඟින් එහි යාන්ත්රික ගුණාංග සහ තාප කම්පන ප්රතිරෝධය වැඩි දියුණු වේ.
ක්රියාකාරී සංයුක්ත ද්රව්ය: වඩාත් සංකීර්ණ භාවිත පරිසරයන්ට අනුවර්තනය වීම සඳහා, පර්යේෂකයන් RSiC අනෙකුත් ද්රව්ය සමඟ ඒකාබද්ධ කර බහුකාර්ය ගුණාංග සහිත සංයුක්ත ද්රව්ය සංවර්ධනය කිරීමට උත්සාහ කරයි, උදාහරණයක් ලෙස ඉහළ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් සහ විද්යුත් සන්නායකතාවයක් සහිත නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් මත පදනම් වූ සංයුක්ත ද්රව්ය.
5. නිගමනය
ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ද්රව්යයක් ලෙස, ප්රතිස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි ඉහළ උෂ්ණත්වය, ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය සහ විඛාදන ප්රතිරෝධය තුළ ඇති විශිෂ්ට ගුණාංග නිසා බොහෝ ක්ෂේත්රවල බහුලව භාවිතා වේ. අනාගත පර්යේෂණ මගින් ද්රව්ය සංශුද්ධතාවය වැඩිදියුණු කිරීම, ක්ෂුද්ර ව්යුහය ප්රශස්ත කිරීම සහ වර්ධනය වන කාර්මික අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා සංයුක්ත ක්රියාකාරී ද්රව්ය සංවර්ධනය කිරීම කෙරෙහි අවධානය යොමු කෙරේ. මෙම තාක්ෂණික නවෝත්පාදනයන් හරහා, ප්රතිස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි වඩාත් අධි තාක්ෂණික ක්ෂේත්රවල විශාල කාර්යභාරයක් ඉටු කරනු ඇතැයි අපේක්ෂා කෙරේ.
පළ කිරීමේ කාලය: ඔක්තෝබර්-24-2024