Ipò ìwádìí ti àwọn ohun èlò amọ̀ silikoni carbide tí a tún ṣe àtúnṣe

A tún ṣe àtúnṣeàwọn ohun èlò amọ̀ silikoni carbide (RSiC)jẹ́ohun elo seramiki ti o ni agbara gigaNítorí agbára ìdènà ooru gíga rẹ̀ tó ga, ìdènà oxidation, ìdènà ipata àti líle gíga rẹ̀, a ti lò ó ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ẹ̀ka, bíi iṣẹ́ semiconductor, ilé iṣẹ́ photovoltaic, àwọn ilé ìgbóná ooru gíga àti àwọn ohun èlò kẹ́míkà. Pẹ̀lú bí ìbéèrè fún àwọn ohun èlò tó ga jùlọ ṣe ń pọ̀ sí i ní ilé iṣẹ́ òde òní, ìwádìí àti ìdàgbàsókè àwọn ohun èlò amọ̀ silicon carbide tí a tún ṣe ń pọ̀ sí i.

1. Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìpalẹ̀mọ́àwọn ohun èlò amọ̀ silikoni carbide tí a tún ṣe àtúnṣe

Imọ-ẹrọ igbaradi ti a tun ṣe atunṣeàwọn ohun èlò amọ̀ silikoni carbideNí pàtàkì, ó ní ọ̀nà méjì: ìfọ́ lulú àti ìfọ́ ooru (CVD). Láàrin wọn, ọ̀nà ìfọ́ lulú ni láti fi ìfọ́ silicon carbide síta lábẹ́ àyíká ooru gíga kí àwọn èròjà silicon carbide lè ṣẹ̀dá ìpìlẹ̀ tó lágbára nípasẹ̀ ìtànkálẹ̀ àti ìfọ́ padà láàrín àwọn ọkà. Ọ̀nà ìfọ́ ooru ni láti fi silicon carbide sí ojú ilẹ̀ náà nípasẹ̀ ìfọ́ kemikali ní iwọ̀n otútù gíga, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń ṣe fíìmù silicon carbide tó mọ́ tónítóní tàbí àwọn ẹ̀yà ara ìpìlẹ̀. Àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ méjì yìí ní àwọn àǹfààní tiwọn. Ọ̀nà ìfọ́ lulú yẹ fún ìṣẹ̀dá ńlá, ó sì ní owó díẹ̀, nígbà tí ọ̀nà ìfọ́ ooru lè fúnni ní ìwẹ́ tó ga jù àti ìpìlẹ̀ tó nípọn jù, a sì ń lò ó ní gbogbogbòò ní pápá semiconductor.

2. Àwọn ohun ìní tiàwọn ohun èlò amọ̀ silikoni carbide tí a tún ṣe àtúnṣe

Ànímọ́ tó tayọ̀ jùlọ nínú àwọn ohun èlò amọ̀ silicon carbide tí a tún ṣe àtúnṣe ni iṣẹ́ rẹ̀ tó dára jùlọ ní àyíká igbóná gíga. Ibùdó yíyọ́ ohun èlò yìí ga tó 2700°C, ó sì ní agbára ẹ̀rọ tó dára ní àwọn igbóná gíga gíga. Ní àfikún, ohun èlò amọ̀ silicon carbide tí a tún ṣe àtúnṣe tún ní ìdènà oxidation àti ìdènà ipata tó dára, ó sì lè dúró ṣinṣin ní àwọn àyíká kemikali tó le koko. Nítorí náà, a ti lo àwọn ohun èlò amọ̀ RSiC ní àwọn pápá ìléru igbóná gíga, àwọn ohun èlò amọ̀ tí ó le koko, àti àwọn ohun èlò kemikali.

Ni afikun, carbide silikoni ti a tun ṣe atunṣe ni agbara giga ti o gbona ati pe o le ṣe ooru ni imunadoko, eyiti o jẹ ki o ni iye pataki ti a lo ninuÀwọn ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ MOCVDàti àwọn ohun èlò ìtọ́jú ooru nínú iṣẹ́ ṣíṣe wafer semiconductor. Ìgbékalẹ̀ ooru gíga rẹ̀ àti ìdènà ìkọlù ooru mú kí iṣẹ́ ẹ̀rọ náà ṣeé gbẹ́kẹ̀lé lábẹ́ àwọn ipò tí ó le koko.

3. Àwọn aaye ìlò ti àwọn ohun èlò amọ̀ amọ̀ silikoni carbide tí a tún ṣe àtúnṣe

Ṣíṣe Semiconductor: Nínú ilé iṣẹ́ semiconductor, a ń lo àwọn seramiki silicon carbide tí a tún ṣe láti ṣe àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ àti àwọn àtìlẹ́yìn nínú àwọn reactors MOCVD. Nítorí agbára ìdènà ooru gíga rẹ̀, ìdènà ipata, àti agbára ìgbóná gíga rẹ̀, àwọn ohun èlò RSiC lè ṣe iṣẹ́ tí ó dúró ṣinṣin ní àwọn àyíká ìṣe kẹ́míkà tí ó díjú, tí ó ń rí i dájú pé àwọn wafer semiconductor dára àti pé wọ́n ń ṣẹ́yọ.

Ilé iṣẹ́ fọ́tòvoltaic: Nínú ilé iṣẹ́ fọ́tòvoltaic, a ń lo RSiC láti ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ohun èlò ìdàgbàsókè kírísítà. Níwọ́n ìgbà tí ìdàgbàsókè kírísítà gbọ́dọ̀ wáyé ní iwọ̀n otútù gíga nígbà tí a bá ń ṣe àwọn sẹ́ẹ̀lì fọ́tòvoltaic, ìdènà ooru ti atúnṣe sílíkọ́nì kábídìdì mú kí ohun èlò náà ṣiṣẹ́ ní ìgbà pípẹ́.

Àwọn ilé ìgbóná ooru gíga: A tún ń lo àwọn ohun èlò seramiki RSiC nínú àwọn ilé ìgbóná ooru gíga, bíi àwọn ohun èlò ìbòrí àti àwọn ohun èlò ìgbóná ooru, àwọn ilé ìgbóná yo àti àwọn ohun èlò míràn. Àìfaradà ooru rẹ̀ àti àìfaradà oxidation rẹ̀ mú kí ó jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn ohun èlò tí a kò le yípadà ní àwọn ilé iṣẹ́ ooru gíga.

4. Ìtọ́sọ́nà ìwádìí ti àwọn ohun èlò amọ̀ silikoni carbide tí a tún ṣe àtúnṣe

Pẹ̀lú bí ìbéèrè fún àwọn ohun èlò tó ń ṣiṣẹ́ dáadáa ṣe ń pọ̀ sí i, ìtọ́sọ́nà ìwádìí ti àwọn ohun èlò amọ̀ silicon carbide tí a tún ṣe àtúnṣe ti di kedere díẹ̀díẹ̀. Ìwádìí ọjọ́ iwájú yóò dojúkọ àwọn apá wọ̀nyí:

Ṣíṣe àtúnṣe sí ìmọ́tótó ohun èlò: Láti lè mú àwọn ohun tí ó yẹ fún ìmọ́tótó tó ga jùlọ nínú àwọn ibi ìdáná-ẹ̀rọ semiconductor àti photovoltaic, àwọn olùwádìí ń ṣe àwárí àwọn ọ̀nà láti mú ìmọ́tótó RSiC sunwọ̀n síi nípa mímú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìpamọ́ èéfín sunwọ̀n síi tàbí ṣíṣe àgbékalẹ̀ àwọn ohun èlò tuntun, nípa bẹ́ẹ̀, wọ́n ń mú kí ìníyelórí ìlò rẹ̀ sunwọ̀n síi ní àwọn ibi ìmọ̀ ẹ̀rọ gíga wọ̀nyí.

Ṣíṣe àtúnṣe sí ìṣètò kékeré: Nípa ṣíṣàkóso àwọn ipò síntering àti pípín àwọn èròjà lulú, a lè túbọ̀ ṣe àtúnṣe sí ìṣètò kékeré ti silikoni carbide tí a tún ṣe àtúnṣe, nípa bẹ́ẹ̀ a lè mú kí àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ rẹ̀ àti ìdènà ooru rẹ̀ sunwọ̀n sí i.

Àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́: Láti lè bá àyíká lílo tí ó díjú mu, àwọn olùwádìí ń gbìyànjú láti darapọ̀ RSiC pẹ̀lú àwọn ohun èlò mìíràn láti ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ pẹ̀lú àwọn ohun-ìní oníṣẹ́-púpọ̀, bí àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ tí a ṣe àtúnṣe sí silicon carbide pẹ̀lú ìdènà ìṣiṣẹ́ gíga àti ìṣiṣẹ́ iná mànàmáná.

5. Ìparí

Gẹ́gẹ́ bí ohun èlò tó ní agbára gíga, a ti lo àwọn ohun èlò amọ̀ silicon carbide tí a tún ṣe àtúnṣe ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ibi nítorí àwọn ànímọ́ wọn tó dára nínú iwọ̀n otútù gíga, ìdènà oxidation àti ìdènà ipata. Ìwádìí ọjọ́ iwájú yóò dojúkọ sí mímú kí ìwẹ̀nùmọ́ ohun èlò dára síi, ṣíṣe àtúnṣe àwọn ohun èlò kékeré àti ṣíṣe àwọn ohun èlò iṣẹ́ àkójọpọ̀ láti bá àwọn àìní ilé-iṣẹ́ tó ń pọ̀ síi mu. Nípasẹ̀ àwọn ìṣẹ̀dá tuntun ìmọ̀-ẹ̀rọ wọ̀nyí, a retí pé àwọn ohun èlò amọ̀ silicon carbide tí a tún ṣe àtúnṣe yóò kó ipa tó pọ̀ síi nínú àwọn ibi ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga.