ស្ថានភាពស្រាវជ្រាវនៃសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃដែលបានកែច្នៃឡើងវិញ

បានកែច្នៃគ្រីស្តាល់ឡើងវិញសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (RSiC)គឺជាសម្ភារៈសេរ៉ាមិចដំណើរការខ្ពស់ដោយសារតែភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម ភាពធន់នឹងការច្រេះ និងភាពរឹងខ្ពស់របស់វា វាត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យជាច្រើន ដូចជាការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ឧស្សាហកម្ម photovoltaic ឡដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងឧបករណ៍គីមី។ ជាមួយនឹងតម្រូវការកើនឡើងសម្រាប់វត្ថុធាតុដើមដែលមានដំណើរការខ្ពស់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មទំនើប ការស្រាវជ្រាវ និងការអភិវឌ្ឍសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃដែលបានកែច្នៃឡើងវិញកំពុងកាន់តែស៊ីជម្រៅ។

១. បច្ចេកវិទ្យារៀបចំសេរ៉ាមិច​ស៊ីលីកុន​កាប៊ីដ​ដែល​បាន​ធ្វើ​គ្រីស្តាល់​ឡើង​វិញ

បច្ចេកវិទ្យារៀបចំនៃគ្រីស្តាល់ឡើងវិញសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតភាគច្រើនរួមបញ្ចូលវិធីសាស្រ្តពីរគឺ៖ ការដុតម្សៅ និងការដាក់ចំហាយទឹក (CVD)។ ក្នុងចំណោមនោះ វិធីសាស្រ្តដុតម្សៅគឺការដុតម្សៅស៊ីលីកុនកាប៊ីតក្រោមបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដើម្បីឱ្យភាគល្អិតស៊ីលីកុនកាប៊ីតបង្កើតជារចនាសម្ព័ន្ធក្រាស់តាមរយៈការសាយភាយ និងការបង្កើតគ្រីស្តាល់ឡើងវិញរវាងគ្រាប់។ វិធីសាស្រ្តដាក់ចំហាយទឹកគឺការដាក់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈប្រតិកម្មចំហាយគីមីនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដោយហេតុនេះបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនកាប៊ីតបរិសុទ្ធខ្ពស់ ឬផ្នែករចនាសម្ព័ន្ធ។ បច្ចេកវិទ្យាទាំងពីរនេះមានគុណសម្បត្តិរៀងៗខ្លួន។ វិធីសាស្រ្តដុតម្សៅគឺសមរម្យសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ និងមានតម្លៃទាប ខណៈពេលដែលវិធីសាស្រ្តដាក់ចំហាយទឹកអាចផ្តល់នូវភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងរចនាសម្ព័ន្ធក្រាស់ជាង ហើយត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យស៊ីមីកុងដុកទ័រ។

2. លក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈនៃសេរ៉ាមិច​ស៊ីលីកុន​កាប៊ីដ​ដែល​បាន​ធ្វើ​គ្រីស្តាល់​ឡើង​វិញ

លក្ខណៈលេចធ្លោនៃសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃដែលបានកែច្នៃឡើងវិញគឺដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វានៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ចំណុចរលាយនៃសម្ភារៈនេះគឺខ្ពស់ដល់ 2700°C ហើយវាមានកម្លាំងមេកានិចល្អនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ លើសពីនេះ ស៊ីលីកុនកាបៃដែលបានកែច្នៃឡើងវិញក៏មានភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម និងភាពធន់នឹងការច្រេះដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ហើយអាចរក្សាស្ថេរភាពនៅក្នុងបរិយាកាសគីមីខ្លាំង។ ដូច្នេះ សេរ៉ាមិច RSiC ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យឡដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ សម្ភារៈធន់នឹងកំដៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងឧបករណ៍គីមី។

លើសពីនេះ ស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលបានកែច្នៃឡើងវិញមានចរន្តកំដៅខ្ពស់ និងអាចចម្លងកំដៅបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដែលធ្វើឱ្យវាមានតម្លៃអនុវត្តដ៏សំខាន់នៅក្នុងរ៉េអាក់ទ័រ MOCVDនិងឧបករណ៍ព្យាបាលកំដៅក្នុងការផលិតបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច។ ចរន្តកំដៅខ្ពស់ និងភាពធន់នឹងការឆក់កម្ដៅរបស់វាធានាបាននូវប្រតិបត្តិការដែលអាចទុកចិត្តបាននៃឧបករណ៍ក្រោមលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរ។

៣. វាលអនុវត្តនៃសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលបានកែច្នៃឡើងវិញ។

ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃដែលបានកែច្នៃឡើងវិញត្រូវបានប្រើដើម្បីផលិតស្រទាប់ខាងក្រោម និងទ្រទ្រង់នៅក្នុងរ៉េអាក់ទ័រ MOCVD។ ដោយសារតែភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ និងចរន្តកំដៅខ្ពស់ សម្ភារៈ RSiC អាចរក្សាបាននូវដំណើរការដែលមានស្ថេរភាពនៅក្នុងបរិយាកាសប្រតិកម្មគីមីស្មុគស្មាញ ដោយធានាបាននូវគុណភាព និងទិន្នផលនៃបន្ទះសៀគ្វីឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។

ឧស្សាហកម្ម​ថាមពល​ពន្លឺ​ព្រះអាទិត្យ៖ នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម​ថាមពល​ពន្លឺ​ព្រះអាទិត្យ RSiC ត្រូវបានប្រើដើម្បីផលិតរចនាសម្ព័ន្ធទ្រទ្រង់នៃឧបករណ៍លូតលាស់គ្រីស្តាល់។ ដោយសារតែការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ត្រូវការអនុវត្តនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផលិតកោសិកា​ពន្លឺ​ព្រះអាទិត្យ ភាពធន់នឹងកំដៅនៃកាបូនស៊ីលីកុនដែលបានកែច្នៃឡើងវិញធានានូវប្រតិបត្តិការដែលមានស្ថេរភាពរយៈពេលវែងនៃឧបករណ៍។

ឡចំហាយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖ សេរ៉ាមិច RSiC ក៏ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឡចំហាយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដូចជាស្រទាប់ខាងក្នុង និងសមាសធាតុនៃឡចំហាយបូមធូលី ឡចំហាយរលាយ និងឧបករណ៍ផ្សេងៗទៀត។ ភាពធន់នឹងការឆក់កម្ដៅ និងភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មរបស់វាធ្វើឱ្យវាក្លាយជាវត្ថុធាតុដើមដែលមិនអាចជំនួសបាននៅក្នុងឧស្សាហកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

៤. ទិសដៅស្រាវជ្រាវនៃសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃដែលបានកែច្នៃឡើងវិញ។

ដោយសារតម្រូវការសម្ភារៈដំណើរការខ្ពស់កំពុងកើនឡើង ទិសដៅស្រាវជ្រាវនៃសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃដែលបានកែច្នៃឡើងវិញបានក្លាយជាច្បាស់លាស់បន្តិចម្តងៗ។ ការស្រាវជ្រាវនាពេលអនាគតនឹងផ្តោតលើទិដ្ឋភាពដូចខាងក្រោម៖

ការកែលម្អភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈ៖ ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នៅក្នុងវិស័យអេឡិចត្រូនិចពាក់កណ្តាលចរន្ត និង photovoltaic អ្នកស្រាវជ្រាវកំពុងស្វែងរកវិធីដើម្បីកែលម្អភាពបរិសុទ្ធនៃ RSiC ដោយការកែលម្អបច្ចេកវិទ្យាដាក់ចំហាយទឹក ឬណែនាំវត្ថុធាតុដើមថ្មី ដោយហេតុនេះបង្កើនតម្លៃកម្មវិធីរបស់វានៅក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ទាំងនេះ។

ការធ្វើឱ្យមីក្រូស្ត្រុកទ័រប្រសើរឡើង៖ តាមរយៈការគ្រប់គ្រងលក្ខខណ្ឌស៊ីនធឺរ និងការចែកចាយភាគល្អិតម្សៅ មីក្រូស្ត្រុកទ័រនៃកាបូនស៊ីលីកុនដែលបានកែច្នៃឡើងវិញអាចត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរបន្ថែមទៀត ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងភាពធន់នឹងការឆក់កម្ដៅរបស់វា។

សម្ភារៈសមាសធាតុមុខងារ៖ ដើម្បីសម្របខ្លួនទៅនឹងបរិយាកាសប្រើប្រាស់ស្មុគស្មាញជាងមុន អ្នកស្រាវជ្រាវកំពុងព្យាយាមផ្សំ RSiC ជាមួយសម្ភារៈផ្សេងទៀតដើម្បីបង្កើតសម្ភារៈសមាសធាតុដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិពហុមុខងារ ដូចជាសម្ភារៈសមាសធាតុដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលមានភាពធន់នឹងការពាក់ និងចរន្តអគ្គិសនីខ្ពស់។

៥. សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

ក្នុងនាមជាសម្ភារៈដែលមានដំណើរការខ្ពស់ សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃដែលបានកែច្នៃឡើងវិញត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យជាច្រើនដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វានៅក្នុងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម និងភាពធន់នឹងការច្រេះ។ ការស្រាវជ្រាវនាពេលអនាគតនឹងផ្តោតលើការកែលម្អភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈ ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពមីក្រូស្ត្រុកទ័រ និងការអភិវឌ្ឍសម្ភារៈមុខងារសមាសធាតុដើម្បីបំពេញតម្រូវការឧស្សាហកម្មដែលកំពុងកើនឡើង។ តាមរយៈការច្នៃប្រឌិតបច្ចេកវិទ្យាទាំងនេះ សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃដែលបានកែច្នៃឡើងវិញត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងដើរតួនាទីកាន់តែធំនៅក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់បន្ថែមទៀត។