மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் ஆராய்ச்சி நிலை

மறுபடிகமாக்கப்பட்டதுசிலிக்கான் கார்பைடு (RSiC) மட்பாண்டங்கள்ஒருஉயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் பொருள். அதன் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக கடினத்தன்மை காரணமாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, ஒளிமின்னழுத்த தொழில், உயர் வெப்பநிலை உலைகள் மற்றும் இரசாயன உபகரணங்கள் போன்ற பல துறைகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. நவீன தொழில்துறையில் உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருட்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு ஆழமடைந்து வருகிறது.

1. தயாரிப்பு தொழில்நுட்பம்மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்

மறுபடிகமாக்கலின் தயாரிப்பு தொழில்நுட்பம்சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்முக்கியமாக இரண்டு முறைகளை உள்ளடக்கியது: தூள் சின்டரிங் மற்றும் நீராவி படிவு (CVD). அவற்றில், தூள் சின்டரிங் முறை என்பது அதிக வெப்பநிலை சூழலில் சிலிக்கான் கார்பைடு தூளை சின்டர் செய்வதாகும், இதனால் சிலிக்கான் கார்பைடு துகள்கள் தானியங்களுக்கு இடையில் பரவல் மற்றும் மறுபடிகமாக்கல் மூலம் அடர்த்தியான அமைப்பை உருவாக்குகின்றன. நீராவி படிவு முறை என்பது அதிக வெப்பநிலையில் ஒரு வேதியியல் நீராவி எதிர்வினை மூலம் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் கார்பைடை வைப்பதாகும், இதன் மூலம் உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு படம் அல்லது கட்டமைப்பு பாகங்களை உருவாக்குகிறது. இந்த இரண்டு தொழில்நுட்பங்களும் அவற்றின் சொந்த நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன. தூள் சின்டரிங் முறை பெரிய அளவிலான உற்பத்திக்கு ஏற்றது மற்றும் குறைந்த செலவைக் கொண்டுள்ளது, அதே நேரத்தில் நீராவி படிவு முறை அதிக தூய்மை மற்றும் அடர்த்தியான கட்டமைப்பை வழங்க முடியும், மேலும் குறைக்கடத்தி துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

2. பொருள் பண்புகள்மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்

மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் சிறப்பான பண்பு, அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் அதன் சிறந்த செயல்திறன் ஆகும். இந்த பொருளின் உருகுநிலை 2700°C வரை உள்ளது, மேலும் இது அதிக வெப்பநிலையில் நல்ல இயந்திர வலிமையைக் கொண்டுள்ளது. கூடுதலாக, மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு சிறந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் தீவிர வேதியியல் சூழல்களில் நிலையாக இருக்க முடியும். எனவே, RSiC மட்பாண்டங்கள் உயர் வெப்பநிலை உலைகள், உயர் வெப்பநிலை பயனற்ற பொருட்கள் மற்றும் வேதியியல் உபகரணங்கள் துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

கூடுதலாக, மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் வெப்பத்தை திறம்பட கடத்தும், இது முக்கியமான பயன்பாட்டு மதிப்பைக் கொண்டுள்ளது.MOCVD உலைகள்மற்றும் குறைக்கடத்தி வேஃபர் உற்பத்தியில் வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்கள். அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு ஆகியவை தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் உபகரணங்களின் நம்பகமான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கின்றன.

3. மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பயன்பாட்டு புலங்கள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி: குறைக்கடத்தித் தொழிலில், மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் MOCVD உலைகளில் அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் ஆதரவுகளை உற்பத்தி செய்யப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அதன் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக, RSiC பொருட்கள் சிக்கலான வேதியியல் எதிர்வினை சூழல்களில் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிக்க முடியும், இது குறைக்கடத்தி செதில்களின் தரம் மற்றும் மகசூலை உறுதி செய்கிறது.

ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்: ஒளிமின்னழுத்தத் தொழிலில், படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களின் ஆதரவு கட்டமைப்பை உற்பத்தி செய்ய RSiC பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஒளிமின்னழுத்த மின்கலங்களின் உற்பத்தி செயல்முறையின் போது படிக வளர்ச்சி அதிக வெப்பநிலையில் மேற்கொள்ளப்பட வேண்டியிருப்பதால், மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடின் வெப்ப எதிர்ப்பு, உபகரணங்களின் நீண்டகால நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

உயர்-வெப்பநிலை உலைகள்: RSiC மட்பாண்டங்கள் உயர்-வெப்பநிலை உலைகளிலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அதாவது வெற்றிட உலைகளின் புறணி மற்றும் கூறுகள், உருகும் உலைகள் மற்றும் பிற உபகரணங்கள். அதன் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு இதை உயர்-வெப்பநிலை தொழில்களில் ஈடுசெய்ய முடியாத பொருட்களில் ஒன்றாக ஆக்குகிறது.

4. மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் ஆராய்ச்சி திசை

உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருட்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் ஆராய்ச்சி திசை படிப்படியாக தெளிவாகியுள்ளது. எதிர்கால ஆராய்ச்சி பின்வரும் அம்சங்களில் கவனம் செலுத்தும்:

பொருள் தூய்மையை மேம்படுத்துதல்: குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த புலங்களில் அதிக தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக, நீராவி படிவு தொழில்நுட்பத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலமோ அல்லது புதிய மூலப்பொருட்களை அறிமுகப்படுத்துவதன் மூலமோ RSiC இன் தூய்மையை மேம்படுத்துவதற்கான வழிகளை ஆராய்ச்சியாளர்கள் ஆராய்ந்து வருகின்றனர். இதன் மூலம் இந்த உயர் தொழில்நுட்பத் துறைகளில் அதன் பயன்பாட்டு மதிப்பை மேம்படுத்துகின்றனர்.

நுண் கட்டமைப்பை மேம்படுத்துதல்: சின்டரிங் நிலைமைகள் மற்றும் தூள் துகள்களின் பரவலைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் நுண் கட்டமைப்பை மேலும் மேம்படுத்தலாம், இதன் மூலம் அதன் இயந்திர பண்புகள் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பை மேம்படுத்தலாம்.

செயல்பாட்டு கூட்டுப் பொருட்கள்: மிகவும் சிக்கலான பயன்பாட்டு சூழல்களுக்கு ஏற்ப, ஆராய்ச்சியாளர்கள் RSiC ஐ மற்ற பொருட்களுடன் இணைத்து, அதிக தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் மின் கடத்துத்திறன் கொண்ட மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு அடிப்படையிலான கூட்டுப் பொருட்கள் போன்ற பல செயல்பாட்டு பண்புகளைக் கொண்ட கூட்டுப் பொருட்களை உருவாக்க முயற்சிக்கின்றனர்.

5. முடிவுரை

உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருளாக, மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள், அதிக வெப்பநிலை, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றில் அவற்றின் சிறந்த பண்புகள் காரணமாக பல துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எதிர்கால ஆராய்ச்சி பொருள் தூய்மையை மேம்படுத்துதல், நுண் கட்டமைப்பை மேம்படுத்துதல் மற்றும் வளர்ந்து வரும் தொழில்துறை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய கூட்டு செயல்பாட்டு பொருட்களை உருவாக்குதல் ஆகியவற்றில் கவனம் செலுத்தும். இந்த தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகள் மூலம், மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் அதிக உயர் தொழில்நுட்ப துறைகளில் அதிக பங்கை வகிக்கும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.